【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体吹扫单元和装载口装置
[0001]本专利技术涉及将气体导入容器内或将气体从容器内排出的气体吹扫单元(也可称为气体吹扫装置)和具有气体吹扫单元的装载口装置(也可称为装载端口装置)。
技术介绍
[0002]在半导体工厂等中，提出了对于收纳硅晶片等基板(基片)的容器，提高容器内的清洁度的气体吹扫单元。另外，作为气体吹扫单元，提出有使与形成于容器的底部的吹扫口连通的吹扫嘴相对于载置台如活塞那样上下移动的装置(参照专利文献1等)。
[0003]现有的气体吹扫单元中，例如公开有在气缸状的保持架内配置筒状的嘴(nozzle，嘴部件)，形成被嘴的凸缘、嘴外周面、气缸的内周面和气缸的底壁包围的密闭空间，调节密闭空间内的压力的嘴的上下移动机构。
[0004]但是，在现有的气体吹扫单元中，在上下移动机构的维修时、故障时，需要分解(拆卸)嘴周边的机构，在维护性方面存在问题。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2017
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139486号公报
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体吹扫单元，其特征在于，具有：第一吹扫嘴，其在内部形成有气体的流路，与设置在容器的底部的第一吹扫口连通，用于将气体导入所述容器内或将气体从所述容器排出；第一连结部，其在一个端部具有保持所述第一吹扫嘴的第一保持部；和第一致动器，其与所述第一连结部连接，可使所述第一连结部和所述第一吹扫嘴上下移动。2.根据权利要求1所述的气体吹扫单元，其特征在于：还具有第二吹扫嘴，其在内部形成有气体的流路，与设置在所述容器的所述底部的第二吹扫口连通，用于将气体导入所述容器内或将气体从所述容器排出，所述第一连结部在另一端部具有保持所述第二吹扫嘴的第二保持部，并具有将所述第一保持部与所述第二保持部连结的臂部，所述第一连结部经所述臂部与所述第一致动器连接，所述第一致动器可使所述第一连结部、所述第一吹扫嘴和所述第二吹扫嘴上下移动。3.根据权利要求2所述的气体吹扫单元，其特征在于：具有向所述第一吹扫嘴和所述第二吹扫嘴两者供给气体或供从两者排出的气体流入其中的共用气体流路，所述第一吹扫嘴和所述第二吹扫嘴都将气体导入所述容器内，或者都将气体从所述容器排出。4.根据权利要求3所述的气体吹扫单元，其特征在于：流路从所述共用气体流路向所述第一吹扫嘴和第二吹扫嘴分叉的分叉部，配置在比所述第一吹扫...
【专利技术属性】
技术研发人员：小番达裕，江本淳，工藤拓哉，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：
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