下载气体吹扫单元和装载口装置的技术资料

文档序号:37993890

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本发明提供具有维护性良好的嘴的上下移动机构的气体吹扫单元等。气体吹扫单元具有:第一吹扫嘴,其在内部形成有气体的流路,与设置在容器的底部的第一吹扫口连通,用于将气体导入所述容器内或将气体从所述容器排出;第一连结部,其在一个端部具有保持所述第一...
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