对准装置以及对准方法制造方法及图纸

对准装置(4)具备第一旋转台(41b)、第二旋转台(42b)、以及检测装置(43)。第一旋转台(41b)载置基板(2)且以第一旋转轴线(L1)为旋转中心进行旋转。第二旋转台(42b)载置基板(2)且以位置与第一旋转轴线(L1)的位置不同的第二旋转轴线(L2)为旋转中心进行旋转。检测装置(43)包括检测基板(2)边缘的一个传感器，且传感器的检测范围包括载置于第一旋转台(41b)的基板(2)的边缘、以及载置于第二旋转台(42b)的基板(2)的边缘，用于检测2个基板(2)的边缘。用于检测2个基板(2)的边缘。用于检测2个基板(2)的边缘。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对准装置以及对准方法


[0001]本申请案涉及一种进行基板的对准的对准装置。

技术介绍

[0002]对准装置设在对基板进行处理的设施(半导体处理工厂等)。对准装置获取并调整基板的旋转相位而进行对准。专利文献1(专利第4255091号)以及专利文献2(专利第3988317号)公开一种对多张基板进行对准的装置。
[0003]专利文献1的基板位置对准装置，具备多个支撑销、马达、以及多个光学传感器。多个支撑销在铅垂方向上排列配置。每个支撑销支撑基板。马达使支撑在支撑销上的基板一起旋转。光学传感器配置在由支撑销支撑的基板的边缘附近。光学传感器在基板的旋转过程中检测基板的定向平面(orientation flat)或凹槽(notch)。由此，基板位置对准装置能够一次对多个基板进行对准。
[0004]专利文献2的基板定向装置，使用一个光学传感器对多个基板进行对准。多个基板最初配置在定向前位置。基板定向装置在使位于定向前位置的基板中的一张基板移动至定向后位置之后，使基板旋转至光学传感器的光线通过基板的凹槽的角度为止。通过对全部基板进行该工作，使用一个光学传感器对多个基板进行对准。

技术实现思路

[0005]专利技术所要解决的技术问题
[0006]在专利文献1的装置中，在进行对准的每个基板上设置有传感器。因此，对准装置的成本增加。在专利文献2的装置中，需要用于将基板自定向前位置移动至定向后位置的机构，因此结构变得复杂，其结果，造成对准装置的成本增高。
[0007]有鉴于此，本申请案的目的，在于以低成本提供一种对多个基板进行对准的对准装置。
[0008]解决问题所使用的技术方案
[0009]本申请案所欲解决的问题诚如上面的说明，下面对用以解决该问题的手段及其功效进行说明。
[0010]根据本申请案的第一观点，提供以下结构的对准装置。也就是说，对准装置具备第一旋转台、第二旋转台、以及检测装置。所述第一旋转台载置基板且以第一旋转轴线为旋转中心而旋转。该第二旋转台载置基板且以位置与第一旋转轴线的位置不同的第二旋转轴线为旋转中心而旋转。所述检测装置包括检测基板的边缘的一个传感器，且所述传感器的检测范围，包括载置于所述第一旋转台的基板的边缘、以及载置于所述第二旋转台的基板的边缘，用于检测2个所述基板的边缘。
[0011]根据本申请案的第二观点，提供以下的对准方法。也就是说，对准方法，包括第一检测工序以及第二检测工序。在所述第一检测工序中，通过传感器检测载置于第一旋转台的基板的边缘，该第一旋转台以第一旋转轴线为旋转中心而旋转。在所述第二检测工序中，
与所述第一检测工序同时进行或在所述第一检测工序后进行，且所述传感器的位置与所述第一检测工序相同，通过传感器检测载置于第二旋转台的基板的边缘，该第二旋转台以位置与第一旋转轴线的位置不同的第二旋转轴线为旋转中心而旋转。
[0012]专利技术的功效
[0013]根据本申请案，能够以低成本实现对多个基板进行对准的对准装置。
附图说明
[0014]图1是具备本申请案的一实施方式的对准装置的机器人系统的立体图；
[0015]图2是机器人系统的框图；
[0016]图3是对准装置的俯视图；
[0017]图4是对准装置的侧视图；
[0018]图5是显示进行基板的对准的流程的流程图；
[0019]图6是第一变形例的对准装置的俯视图；
[0020]图7是第一变形例的对准装置的侧视图；
[0021]图8是第二变形例的对准装置的俯视图；
[0022]图9是第二变形例的对准装置的侧视图；
[0023]图10是显示在第二变形例中进行基板的对准的流程的流程图。
具体实施方式
[0024]下面，参照附图说明本申请案的实施方式。图1是显示机器人系统100的结构的立体图。
[0025]图1所示的机器人系统100是使机器人1在无尘室等工作空间内进行工作的系统。机器人系统100具备机器人1、对准装置4、以及控制器20。
[0026]机器人1，例如是输送保管在保管容器6内的基板2的晶圆移载机器人。在本实施方式中，机器人1是由SCARA(平面关节型机械手臂)型水平多关节机器人实现。SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm(选择顺应性关节机械手臂)的缩写。
[0027]机器人1输送的基板2是半导体晶圆。基板2形成为圆形的薄板状。基板2也能够为玻璃基板，而非半导体晶圆。
[0028]如图1所示，机器人1包括基台10、臂11以及手部12。
[0029]基台10固定在工厂的地板等。但不限于此，基台10例如也能够固定在适宜的处理设备。
[0030]如图1所示，臂11隔着能够沿上下方向移动的升降轴15而被安装在基台10。臂11能够相对于升降轴15旋转。
[0031]臂11是水平多关节型的臂。臂11具备第一臂11a以及第二臂11b。
[0032]第一臂11a是水平的直线状延伸的细长部件。第一臂11a的长边方向的一端安装在升降轴15的上端部。第一臂11a以升降轴15的轴线(铅垂轴)为中心而能够旋转地被支撑。在第一臂11a的长边方向的另一端安装有第二臂11b。
[0033]第二臂11b是水平的直线状延伸的细长部件。第二臂11b的长边方向的一端安装在第一臂11a的前端。第二臂11b以与升降轴15平行的轴线(铅垂轴)为中心而能够旋转地被支
撑。
[0034]手部12隔着腕部13而被连接在第二臂11b。腕部13安装在第二臂11b的前端。腕部13以与升降轴15平行的轴线(铅垂轴)为中心而能够旋转地被支撑。腕部13通过未图示的适宜的致动器旋转驱动。该致动器例如为电动马达。在腕部13连结有手部12。
[0035]手部12是具有分支结构的边缘夹持式的手。在手部12上被分支的每个前端部分设置有省略图示的边缘引导。在腕部13附近设置有省略图示的按压部件。按压部件能够通过省略图示的致动器(例如，气压缸)沿手部12的表面滑动。通过在将基板2载置于手部12的状态下使按压部件滑动，能够在边缘引导与按压部件之间夹持且保持基板2。
[0036]手部12不限于边缘夹持式。手部12也能够为被动夹持式或吸附式。被动夹持式是指不将载置于手部的基板固定的构成(不具有按压部件的构成)。吸附式是指以负压吸附基板2的表面进行输送的构成(例如伯努利吸盘)。
[0037]在本实施方式中，在臂11上设置有一个手部12。也能够代替该构成，而在臂11上设置2个以上的手部12。例如，在臂11的第二臂11b的前端设置2个手部12。2个手部12，能够以铅垂轴为旋转中心独立地旋转。由此，机器人1能够同时输送例如2个基板2。
[0038]升降轴15、第一臂11a以及第二臂11b，分别通过图2的框图所示的致动器16驱动。致动器16例如为电动马达。
[0039]在位于升降轴15与第一臂11a之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对准装置，其特征在于具备：第一旋转台，其载置基板且以第一旋转轴线为旋转中心而旋转；第二旋转台，其载置基板且以位置与第一旋转轴线的位置不同的第二旋转轴线为旋转中心而旋转；以及检测装置，其包括检测基板的边缘的一个传感器，且所述传感器的检测范围，包括载置于所述第一旋转台的基板的边缘、以及载置于所述第二旋转台的基板的边缘，用于检测2个所述基板的边缘。2.根据权利要求1所述的对准装置，其中，所述传感器是获取所述基板的边缘的图像的图像传感器、或光学检测所述基板的边缘的位置的传感器。3.根据权利要求2所述的对准装置，其中，在所述第一旋转台以及所述第二旋转台两者旋转的期间，所述传感器同时检测载置于所述第一旋转台的所述基板的边缘、以及载置于所述第二旋转台的所述基板的边缘。4.根据权利要求1所述的对准装置，其中，所述传感器是具有投光部以及受光部的光量计测传感器，所述投光部照射检查光，所述受光部接收所述检查光的由所述基板反射的光、或者所述检查光的被所述基板遮挡了一部分检查光的光。5.根据权利要求4所述的对准装置，其中，在使所述第一旋转台旋转且停止所述第二旋转台的旋转的期间，所述传感器检测载置于所述第一旋转台的所述基板的边缘，在使所述第二旋转台旋转且停止所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹治彦，中原一，富永翔太，吉田浩之，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：