基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法制造方法及图纸

本发明专利技术的基板搬运装置(1)具备：机器人(10)，其具备保持基板(W)的手(12)、和使手(12)移动的臂(11)；机器人控制装置(15)，其设定手(12)的移动路径(T)，并控制臂(11)以使得手(12)在移动路径(T)上朝向目标位置(Py)移动；以及照相机(6)，其配置成能够对位于规定的确认位置(Px)的手(12)所保持的基板(W)进行拍摄，机器人控制装置(15)以通过确认位置(Px)的方式设定移动路径(T)，取得在手(12)位于确认位置(Px)时照相机(6)所拍摄到的图像(G)，计算图像(G)中拍到的基板(W)与规定的环境的距离，并基于距离来计算基板(W)的从基准位置(S)起的位置偏移量(L)。的位置偏移量(L)。的位置偏移量(L)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法


[0001]本专利技术涉及基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法。

技术介绍

[0002]以往，公知有一种基板的自动位置对准装置。例如专利文献1的基板的自动位置对准装置具备两个传感器、两个光源、以及搬运基板的搬运夹头。传感器和光源设置为隔着基板在上下且相对于基板的搬运方向成为对称的位置，基板的周缘部横穿两个传感器和光源间。而且，搬运夹头吸引固定基板而使其移动，基于两个传感器被遮光时的传感器输出来计算基板的中心位置，并在此基础上计算基板的从基准点坐标起的偏移量。
[0003]专利文献1：日本特开昭63
‑
94653号公报
[0004]然而，在日本特开昭63
‑
94653号公报中记载的自动位置对准装置在计算位置偏移量时，需要使基板朝向搬运方向在一条直线上大幅移动，存在装置容易大型化的问题。

技术实现思路

[0005]为了解决上述课题决，本专利技术的一个形态所涉及的基板搬运装置具备：机器人，其具备保持基板的手、和使上述手移动的臂；机器人控制装置，其设定上述手的移动路径，并控制臂以使得上述手在上述移动路径上朝向目标位置移动；以及照相机，其配置成能够对位于规定的确认位置的上述手所保持的基板进行拍摄，上述机器人控制装置以通过上述确认位置的方式设定上述移动路径，取得在上述手位于上述确认位置时上述照相机所拍摄到的图像，计算上述图像中拍到的上述基板与规定的环境的距离，并基于上述距离计算上述基板的从基准位置起的位置偏移量。
[0006]根据该结构，可以使能够在确认位置测定基板的位置偏移，并且能够补偿基板的位置偏移的基板搬运装置小型化。
[0007]本专利技术起到能够使基板搬运装置小型化的效果。
附图说明
[0008]图1是表示具备实施方式所涉及的基板搬运装置的基板处理设备的结构例的立体图。
[0009]图2是表示图1的基板处理设备的结构例的俯视图。
[0010]图3是表示图1的基板处理设备的动作例的俯视图，且表示手位于确认位置的状态的图。
[0011]图4是表示图1的基板处理设备的动作例的图，且表示照相机对位于确认位置的手进行拍摄的图像的图。
[0012]图5是表示图1的基板处理设备的动作例的俯视图，且表示对手的移动路径进行了修正的状态的图。
[0013]图6是表示图1的基板搬运装置的变形例的图。
具体实施方式
[0014]以下，参照附图对实施方式进行说明。此外，本专利技术并不限定于以下实施方式。另外，以下，在所有的图中，对相同或相当的要素标注相同的参照附图标记，并省略其重复的说明。
[0015]图1是表示具备实施方式所涉及的基板搬运装置1的基板处理设备100的结构例的立体图。图2是表示基板处理设备100的结构例的俯视图。
[0016]如图1以及图2所示，基板处理设备100是用于对基板W实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理以及平坦处理等各种工序处理的设备。在本实施方式中，基板W为半导体晶片，可例示硅晶片、蓝宝石(单晶氧化铝)晶片、其他各种晶片。此外，基板W也可以为玻璃基板，作为玻璃晶片，例如可例示FPD(Flat Panel Display，平板显示器)用玻璃基板、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统)用玻璃基板。
[0017]而且，基板处理设备100具备腔室3以及搬运腔室4，腔室3经由闸门5与搬运腔室4连接。在搬运腔室4的搬运室41设置有基板搬运装置1。基板W在多个被收容于被称为FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)的载体110的状态下，被搬运到基板处理设备100，并与搬运腔室4连接。然后，基板搬运装置1将收容于载体110的基板W取出，经由搬运腔室4的搬运室41，移送到腔室3的空间31的基板载置位置Pp。在基板载置位置Pp例如设置有用于载置基板W的载台32。空间31例如是用于对基板W实施各种工序处理的处理室、或者用于进一步将基板W搬运到另外的腔室3的搬运室。然后，从搬运腔室4搬运到腔室3的基板W通过设置于腔室3的空间31与搬运腔室4的搬运室41之间的闸门5的开口51。闸门5划分空间31以及搬运室41。开口51是朝向空间31以及搬运室41开口，并将空间31与搬运室41连接的通路。该开口51的开口周缘52例如形成为大致横向长四边形，开口51具有比基板W的直径大的宽度尺寸。另外，基板载置位置Pp在俯视时，被定位在从闸门5朝向空间31的进深方向延伸的直线上。由此，能够通过从闸门5(具体而言，后述的确认位置Px)比笔直地插入基板W，而使基板W位于基板载置位置Pp。
[0018]然后，移送到基板载置位置Pp的基板W在腔室3等中，被施加预先决定的处理。然后，通过基板搬运装置1，从基板载置位置Pp移送到载体110，再次被收容于载体110。为了防止在上述过程中的微粒向基板W的附着等，基板处理设备100包含用于将空间31以及搬运室41的清洁度保持得高的未图示的装置。另外，闸门5作为用于将腔室3侧的清洁度保持得高的间隔壁发挥功能。
[0019]基板搬运装置1是搬运基板W的装置，包含机器人10、机器人控制装置15、以及照相机6。
[0020]机器人10例如是SCARA型水平多关节机器人。机器人10通过臂11而三维地、即在相互正交的3个轴向上移动。机器人10包含设置于搬运室41的基台14、臂11、手12、以及臂驱动部13。
[0021]手12是被动手，包含托板23、和与托板23的基端部相连的腕24。托板23整体上为平板状，通过臂11而保持为上表面保持水平。然后，托板23经由设置于上表面的3个衬垫23a，通过摩擦力保持载置于其上的基板W。此外，手12并不局限于被动手，也可以是在伯努利手等工件中吸引保持基板W的吸附手、把持基板W的边缘的边缘握持手。
[0022]臂11是包含多个关节的多关节构造，基端部与基台14连结，前端部与腕24连结。臂
11具备在从基端部朝向前端部的方向上经由关节依次连结的多个连杆(升降轴20、下臂21、上臂22)。
[0023]升降轴20以能够相对于基台14沿上下方向移动的方式连接。下臂21以基端部能够经由关节绕在上下方向上延伸的转动轴线转动的方式与升降轴20的上端连结。上臂22以基端部能够经由关节绕在上下方向上延伸的转动轴线转动的方式与下臂21的前端部连结。而且，腕24以基端部能够经由关节在上下方向上延伸的转动轴线转动的方式与上臂22的前端部连结。
[0024]臂驱动部13是使下臂21、上臂22以及托板23在关节中转动而使手12沿水平方向移动的机构。另外，臂驱动部13是通过使升降轴20升降而使臂11整体沿上下方向移动，并且使手12沿上下方向移动的机构。
[0025]机器人控制装置15按照规定的动作程序，设定指示点P的移动路径T。在本实施方式中，移动路径T是包含用于进行手12在载体110中提起搬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板搬运装置，其中，具备：机器人，其具备保持基板的手、和使所述手移动的臂；机器人控制装置，其设定所述手的移动路径，并控制所述臂以使得所述手在所述移动路径上朝向目标位置移动；以及照相机，其配置成能够对位于规定的确认位置的所述手所保持的基板进行拍摄，所述机器人控制装置以通过所述确认位置的方式设定所述移动路径，取得在所述手位于所述确认位置时所述照相机所拍摄到的图像，计算所述图像中拍到的所述基板与规定的环境的距离，并基于所述距离来计算所述基板的从基准位置起的位置偏移量。2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中，所述机器人控制装置基于所述位置偏移量来修正所述目标位置。3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中，所述手允许从所述基准位置向位置偏移方向的位置偏...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田雅也，阿维什，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：