机器人系统以及滑动判定方法技术方案

一种机器人系统，其具备机器人以及控制部。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。在所述机器人通过所述保持部保持所述晶圆进行运送的情况下，所述控制部根据与所述电动马达相关的信息，进行是否在所述保持部与所述晶圆之间产生滑动的判定、以及对所述晶圆相对于所述保持部的滑动量的估计中的至少一个。部的滑动量的估计中的至少一个。部的滑动量的估计中的至少一个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】机器人系统以及滑动判定方法


[0001]本公开涉及一种在通过机器人运送晶圆的情况下用于检测晶圆与机器人的保持部之间产生的滑动的技术。

技术介绍

[0002]过往，已知一种能够在通过机器人运送半导体晶圆的过程中检测半导体晶圆的位置的构成。专利文献1公开有这种系统。
[0003]专利文献1公开有用于处理基体(晶圆)的系统。系统具备用于运送基体的运送单元。在通过运送单元运送的基体(晶圆)的运送位置与运送目的地位置之间的位置设置有位置检测传感器。在运送基体的情况下，通过位置检测传感器检测运送过程中的位置。根据检测的基体的位置，对基体的运送开始时设定的运送目的地位置进行校正。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006]专利文献1：日本专利第5600703号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]然而，专利文献1的构成需要特别设置位置检测传感器，造成结构复杂化以及成本增加的原因。另外，专利文献1的构成，虽然能够在晶圆通过位置检测传感器时检测晶圆的偏移，但却不能立即检测晶圆的偏移(滑动)的产生。
[0009]有鉴于此，本公开的目的在于提供一种机器人系统，其不需要另外设置的检测装置，即能够立即判定晶圆与机器人的保持部之间的滑动的产生。
[0010]解决问题所使用的技术方案
[0011]本公开所欲解决的问题诚如上面的说明，下面说明用于解决该问题的手段及其功效。
[0012]根据本公开的第一方面，提供以下结构的机器人系统。也就是说，该机器人系统具备机器人以及控制部。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。在所述机器人通过所述保持部保持所述晶圆进行运送的情况下，所述控制部根据与所述电动马达相关的信息，进行是否在所述保持部与所述晶圆之间产生滑动的判定、以及对所述晶圆的相对于所述保持部的滑动量的估计中的至少一个。
[0013]由此，既不需要特殊的检测装置，也不需要机器人的特殊的动作，能够立即判定机器人的保持部与保持的晶圆之间的滑动的产生、以及/或能够即时估计滑动量。
[0014]根据本公开的第二方面，提供以下结构的机器人系统。也就是说，该机器人具备控制部以及位置偏移检测装置。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。所述位置偏移检测
装置能够检测所述晶圆的位置偏移。所述控制部能够在所述晶圆的运送期间，根据是否在所述晶圆与所述保持部之间产生滑动的判定结果、或者根据滑动量，在不经由所述位置偏移检测装置的第一路径、与经由所述位置偏移检测装置的第二路径之间切换所述晶圆的运送路径。
[0015]由此，能够根据晶圆的运送状态，以能够有效地运送晶圆的方式合理地规划运送路径。
[0016]根据本公开的第三方面，提供以下的滑动判定方法。也就是说，该滑动判定方法，用于在机器人系统中判定所述晶圆与所述保持部之间的滑动的产生，该机器人系统具备机器人以及控制部。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。该滑动判定方法包括第一工序以及第二工序。在所述第一工序中，在通过所述保持部保持晶圆进行运送的情况下，取得与所述电动马达相关的信息。在所述第二工序中，根据所述信息判断是否有产生所述滑动。
[0017]由此，既不需要特殊的检测装置，也不需要机器人的特殊的动作，能够即时在机器人的保持部与保持的晶圆之间判定滑动的产生。
[0018]专利技术的功效
[0019]根据本公开，不需要另外设置的检测装置，即能够即时判定晶圆与机器人的保持部之间的滑动的产生。
附图说明
[0020]图1是显示本公开的一实施方式的机器人系统的构成的立体图；
[0021]图2是详细显示机器人的构成的立体图；
[0022]图3是显示机器人系统的一部分构成的框图；
[0023]图4是显示驱动机器人的每个部分的电动马达的各个电流值的曲线图；和
[0024]图5是驱动机器人的每个部分的电动马达的各个位置偏移的曲线图。
具体实施方式
[0025]下面，参照附图说明本公开的实施方式。图1是显示本公开的一实施方式的机器人系统100的构成的立体图。图2是详细显示机器人1的构成的立体图。图3是显示机器人系统100的一部分构成的框图。图4是显示驱动机器人1的每个部分的电动马达的各个电流值的曲线图。图5为驱动机器人1的每个部分的电动马达的各个位置偏移的曲线图。
[0026]图1所示的机器人系统100是使机器人1在无尘室等工作空间内进行工作的系统。
[0027]机器人系统100应用于省略图示的半导体处理系统。在半导体处理系统中，对作为处理对象的基板的晶圆2实施预先设定的各种处理。机器人系统100用于在半导体处理系统具备的各种装置等之间运送晶圆2。
[0028]机器人系统100具备机器人1、控制装置(控制部)5以及位置偏移检测装置8。
[0029]机器人1作为用于运送保管在保管装置6的晶圆2的晶圆移载机器人发挥作用。在本实施方式中，机器人1由SCARA(平面关节型机械手臂)型水平多关节机器人实现。SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm(选择顺应性关节机械手臂)的缩写。
[0030]如图2所示，机器人1具备手部(保持部)10、机械手臂11以及姿势检测单元12。
[0031]手部10是末端效应器的一种，通常在俯视时形成为V字形或U字形。手部10被支撑在机械手臂11(具体为后述的第二连杆16)的前端。手部10以上下方向延伸的第四轴c4为中心相对于第二连杆16旋转。
[0032]机械手臂11主要具有基座13、升降轴14、以及多个连杆(在此，第一连杆15以及第二连杆16)。
[0033]基座13固定于地面(例如，无尘室的地板)。基座13具有作为支撑升降轴14的基座构件的功能。
[0034]升降轴14沿上下方向相对于基座13移动。通过其升降能够变更第一连杆15、第二连杆16以及手部10的高度。升降轴14以上下方向延伸的第一轴c1为中心相对于基座13旋转。由此，能够在水平平面内变更通过升降轴14支撑的第一连杆15(乃至第二连杆以及手部10)的姿势。
[0035]第一连杆15被支撑在升降轴14的上部。第一连杆15以上下方向延伸的第二轴c2为中心相对于升降轴14旋转。由此，能够在水平平面内变更第一连杆15的姿势。
[0036]第二连杆16被支撑在第一连杆15的前端。第二连杆16以上下方向延伸的第三轴c3为中心相对于第一连杆15旋转。由此，能够在水平平面内变更第二连杆16的姿势。
[0037]本实施方式的机器人1具备致动器，该致动器使机器人1具备的各个部分(升降轴14、第一连杆15、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种机器人系统，其特征在于包括：机器人，其具有由通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆；以及控制部，其对该机器人发出指令进行控制，在所述机器人通过用所述保持部保持所述晶圆进行运送的情况下，所述控制部根据与所述电动马达相关的信息，进行是否在所述保持部与所述晶圆之间产生滑动的判定、以及对所述晶圆的相对于所述保持部的滑动量的估计中的至少一个。2.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，所述控制部根据在所述保持部取出所述晶圆时的规定期间取得的与所述电动马达相关的信息，判定所述滑动的产生。3.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，该信息包括所述电动马达的电流值、位置偏差、速度偏差以及加速度偏差中的至少一个。4.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，具备能够检测所述晶圆的位置偏移的位置偏移检测装置，在判定为未产生滑动的情况下，所述控制部以在不经由所述位置偏移检测装置的第一路径运送所述晶圆的方式控制所述机器人，在判断为产生了滑动的情况下，以在经由所述位置偏移检测装置的第二路径...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田雅也，阿维什，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：