基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法技术

本发明专利技术的靶体的边缘位置示教方法包含：光电传感器的光轴向规定的初始位置移动，该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的靶体的边缘靠外侧、且比靶体靠上方或下方的位置；直到由光电传感器检测到靶体的边缘位置，反复进行光轴的规定的前进循环；以及基于在由光电传感器检测到靶体的边缘时的基板搬运机器人的姿势，求出靶体的边缘的被检测点的位置，并存储该位置。移动循环包含：通过靶体的高度位面进行上升或下降、向朝向靶体的水平的扫描方向前进第一移动量、通过靶体的高度位面进行下降或上升、以及向扫描方向前进第一移动量的一系列的移动。量的一系列的移动。量的一系列的移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法


[0001]本专利技术涉及在基板搬运机器人中，利用设置于基板保持手的光电传感器来示教基板的边缘位置的技术。

技术介绍

[0002]以往，公知有在基板保持手的末端部具备透射型的光电传感器的基板搬运机器人。该光电传感器例如为了检测收纳在基板载具的各插槽中的基板的有无而使用。光电传感器除了该原本的用途之外，还为了对基板搬运机器人自动示教基板、其载置部的位置而使用。在专利文献1中，公开有这种技术。
[0003]在专利文献1中，公开有如下内容：将沿上下排列具有与半导体晶片相同的外径的大圆板部、和与大圆板部共用中心轴的小圆板部而成的示教用夹具，设置在设置半导体晶片的位置，并利用设置于晶片把持部的末端部的透射式传感器检测该示教用夹具，由此自动示教半导体晶片的位置。
[0004]专利文献1所公开的小圆板部的定位方法如下。即，(1)通过作业者的操作使晶片把持部向小圆板部之上移动，(2)使晶片把持部下降，利用透射式传感器检测小圆板部的上表面，并记录此时的机器人的Z轴的坐标值，(3)使晶片把持部下降，用透射式传感器检测小圆板部的下表面，并记录此时的机器人的Z轴的坐标值，(4)将晶片把持部的高度设定在小圆板部的上表面与下表面的中间，(5)将臂收缩至透射式传感器无法检测小圆板部的位置为止，(6)改变晶片把持部的朝向，使晶片把持部缓慢地接近小圆板部，记录透射式传感器最早检测到小圆板部(即，透射式传感器的光轴与小圆板部的圆周接触)时的机器人的θ轴和R轴的坐标，(7)反复进行上述(5)和(6)，使晶片把持部从不同的方向接近小圆板部，求出多组光轴与小圆板部的圆周接触时的机器人的θ轴和R轴的坐标，并根据这些值，求出小圆板部的中心的位置并记录。
[0005]专利文献1：国际公开WO2003/022534
[0006]根据上述专利文献1的技术，为了检测光电传感器的光轴与圆形基板的边缘(圆周)接触时的机器人的位置，首先，使光轴沿Z轴移动来检测基板的上表面和下表面，由此确定基板的上表面和下表面的Z轴的位置，接下来，将基板的Z轴的位置设定在基板的上表面的Z轴的位置与下表面的Z轴的位置的中间，并在基板的Z轴的位置使光轴在与Z轴正交的平面内移动而检测基板的边缘。这样，为了确定真正需要的基板的在与Z轴正交的平面内的位置，必须进行确定基板的Z轴的位置的前阶段，处理需要时间。另外，为了确定基板的Z轴的位置，模拟基板的示教用夹具需要具有相当大的厚度，而难以在实际的基板中应用。

技术实现思路

[0007]本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提出一种对具备保持基板的手、使该手位移的机器人臂、以及设置于手的末端部的光电传感器的基板搬运机器人示教板状的靶体的边缘的位置的技术，无论板状的靶体的厚度如何，都能够对机器人示教靶体的边缘
的位置。
[0008]本专利技术的一个形态所涉及的靶体的边缘位置示教方法，是对具备保持基板的手、使该手位移的机器人臂、以及设置于上述手的末端部的光电传感器的基板搬运机器人，示教板状的靶体的边缘的位置的方法，其中，包含：
[0009]使上述光电传感器的光轴向规定的初始位置移动，该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的上述靶体的边缘靠外侧、且比上述靶体靠上方或下方的位置；
[0010]直到由上述光电传感器检测到上述靶体的边缘为止，反复进行上述光轴的规定的前进循环；以及
[0011]基于在由上述光电传感器检测到上述靶体的边缘时的上述基板搬运机器人的姿势，求出上述靶体的边缘的被检测点的位置，并存储该位置，
[0012]上述前进循环包含：通过上述靶体的高度位面进行上升或下降、向朝向上述靶体的水平的规定的扫描方向前进规定的第一移动量、通过上述靶体的高度位面进行下降或上升、以及向上述扫描方向前进上述第一移动量的一系列的移动。
[0013]本专利技术的一个形态所涉及的基板搬运机器人具备：机器人主体，其具有保持基板的手、使上述手位移的机器人臂、以及设置于上述手的末端部的光电传感器；和控制器，其具有存储边缘位置示教程序的存储器、以及执行上述边缘位置示教程序的处理器。
[0014]上述边缘位置示教程序构成为，
[0015]上述控制器使上述机器人主体动作，以使得上述光电传感器的光轴向规定的初始位置移动，该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的板状的靶体的边缘靠外侧、且比上述靶体靠上方或下方的位置，
[0016]使上述机器人主体动作，以直到由上述光电传感器检测到上述靶体的边缘为止，反复进行上述光轴的规定的前进循环，
[0017]基于在由上述光电传感器检测到上述靶体的边缘时的上述机器人主体的姿势，求出上述靶体的边缘的被检测点的位置，并存储该位置，
[0018]上述前进循环包含：通过上述靶体的高度位面进行上升或下降、向朝向上述靶体的水平的规定的扫描方向前进规定的第一移动量、通过上述靶体的高度位面进行下降或上升、以及向上述扫描方向前进上述第一移动量的一系列的移动。
[0019]根据上述基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法，在反复进行光轴的移动的循环的过程中检测出靶体的边缘的上下方向以及水平方向的位置，因此不存在确定靶体的上下方向的位置(即，厚度方向的位置)的前阶段。因此，通过省略该前阶段的处理，能够缩短处理所需要的时间。另外，通过省略该前阶段的处理，使得靶体的厚度不受限定。
[0020]根据本专利技术，能够提供对具备保持基板的手、使该手位移的机器人臂、以及设置于手的末端部的光电传感器的基板搬运机器人示教板状的靶体的边缘的位置的技术，无论板状的靶体的厚度如何，都能够对机器人示教靶体的边缘的位置。
附图说明
[0021]图1是本专利技术的一个实施方式所涉及的基板搬运机器人的简要侧视图。
[0022]图2是基板保持手的俯视图。
[0023]图3是表示基板搬运机器人的控制系统的结构的框图。
[0024]图4是说明靶体的边缘位置示教方法的图。
[0025]图5是靶体的边缘位置示教处理的流程图。
[0026]图6是说明靶体的边缘位置示教方法的图。
具体实施方式
[0027]〔基板搬运机器人1的简要结构〕
[0028]图1是本专利技术的一个实施方式所涉及的基板搬运机器人1的简要侧视图，图2是图1所示的基板搬运机器人1所具备的手5的俯视图。图1以及图2所示的基板搬运机器人1具备机器人主体10、和控制机器人主体10的动作的控制器6。基板搬运机器人1用于对未图示的基板载置部进行基板3的搬入(装载)以及搬出。也可以在例如EFEM(Equipment Front End Module：设备前端模块)、分类器、基板处理系统等搬运各种基板3的系统中具备基板搬运机器人1。
[0029]〔机器人主体10的结构〕
[0030]机器人主体10具有：基台73；水平多关节型机器人臂(以下称为“臂7”)，其支承于基台73；基板保持手(以下，称为“手5”)，其与臂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种靶体的边缘位置示教方法，是对具备保持基板的手、使该手位移的机器人臂、以及设置于所述手的末端部的光电传感器的基板搬运机器人，示教板状的靶体的边缘的位置的方法，其中，包含：使所述光电传感器的光轴向规定的初始位置移动，该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的所述靶体的边缘靠外侧、且比所述靶体靠上方或下方的位置；直到由所述光电传感器检测到所述靶体的边缘为止，反复进行所述光轴的规定的前进循环；以及基于在由所述光电传感器检测到所述靶体的边缘时的所述基板搬运机器人的姿势，求出所述靶体的边缘的位置，并存储该位置，所述前进循环包含：通过所述靶体的高度位面进行上升或下降、向朝向所述靶体的水平的规定的扫描方向前进规定的第一移动量、通过所述靶体的高度位面进行下降或上升、以及向所述扫描方向前进所述第一移动量的一系列的移动。2.根据权利要求1所述的边缘位置示教方法，其中，还包含：在由所述光电传感器检测到所述靶体的边缘后，使所述光轴向所述扫描方向前进规定量，之后直到变得无法由所述光电传感器检测到所述靶体的边缘为止，反复进行所述光轴的规定的后退循环；和基于在变得无法由所述光电传感器检测到所述靶体的边缘时的所述基板搬运机器人的姿势，求出所述靶体的边缘的位置，并存储该位置，所述后退循环包含：通过所述靶体的高度位面进行上升或下降、向所述扫描方向后退规定的第二移动量、通过所述靶体的高度位面进行下降或上升、以及向所述扫描方向后退所述第二移动量的一系列的移动。3.根据权利要求2所述的边缘位置示教方法，其中，所示第二移动量比所述第一移动量小。4.一种基板搬运机器人，其中，该基板搬运机器人具备：机器人主体，其具有保持基板的手、使所述手位移的机器人臂、以及设...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田哲也，汤运欣，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：