基板搬运机器人制造技术

一种基板搬运机器人，相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体，经由装载口从与第一侧相反的第二侧通过开口部来进行基板的交接，其中，基板搬运机器人具备：手部，其保持基板；机器人臂，其与手部连结并使该手部位移；拍摄装置，其安装于手部或者机器人臂；以及控制器，其控制机器人臂和拍摄装置的动作。控制器获取由拍摄装置从第二侧拍摄到的包含开口部的周缘和与该开口部结合的载体的拍摄图像，并对拍摄图像进行图像处理，由此检测载体的结合位置相对于规定的基准结合位置的偏差。置的偏差。置的偏差。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运机器人


[0001]本专利技术涉及对与装载口结合的基板的载体进行基板的交接的基板搬运机器人。

技术介绍

[0002]以往，已知有一种进行基板的载体的夹紧、载体的对接及脱离对接、以及进行载体的门的开闭等的装载口。这种装载口例如设置于作为载体与基板处理装置的接口的EFEM(Equipment Front End Module：设备前端模块)。
[0003]专利文献1中，公开了一种向设备的盒体载置台自动搬运盒体(载体)的自动搬运系统。该自动搬运系统具备：自动搬运车，其具备照相机和手部；图像识别单元，其通过利用照相机获取载置台的图像并对其进行处理来检测载置台上有无盒体；以及控制单元，其在没有盒体及其他障碍物的情况下使手部向载置台移载盒体。
[0004]专利文献1：日本特开2000
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195924号公报
[0005]如上述专利文献1记载的那样，若向装载口的载置台自动搬运载体，则存在载置台上的规定的载置基准位置与实际的载体的载置位置产生差异的情况。若在这种状态下使载体与装载口开口部对接，则存在规定的基准结合位置与实际的载体的结合位置产生差异的情况。与载体进行的基板的交接由基板搬运机器人进行。基板搬运机器人为了对载体准确地交接基板，需要预先识别载体的结合位置的偏移。

技术实现思路

[0006]本专利技术是鉴于以上情况而提出的，其目的在于提供一种由基板搬运机器人检测与装载口结合的载体的结合位置的偏移的技术。
[0007]本专利技术的一个方式所涉及的基板搬运机器人相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体，经由上述装载口从与上述第一侧相反的第二侧通过上述开口部来进行上述基板的交接，其特征在于，具备：
[0008]手部，其保持上述基板；
[0009]机器人臂，其与上述手部连结并使该手部位移；
[0010]拍摄装置，其安装于上述手部或者上述机器人臂；以及
[0011]控制器，其控制上述机器人臂和上述拍摄装置的动作，
[0012]上述控制器获取由上述拍摄装置从上述第二侧拍摄到的包含上述开口部的周缘和与该开口部结合的上述载体的拍摄图像，并对上述拍摄图像进行图像处理，由此检测上述载体的结合位置相对于规定的基准结合位置的偏差。
[0013]根据上述基板搬运机器人，能够基于由搭载于机器人本身的拍摄装置拍摄到的图像，来检测载体的结合位置相对于装载口的偏移。该检测结果能够反映至基板搬运机器人相对于载体进行的基板的交接的动作中。另外，通过一台基板搬运机器人，能够同样地对多个装载口检测载体的结合位置的偏移。进一步，不论装载口、载体的规格如何，都能够同样地检测载体的结合位置相对于装载口的偏移。
[0014]根据本专利技术，能够由基板搬运机器人检测与装载口结合的载体的结合位置的偏移。
附图说明
[0015]图1是表示包含本专利技术的一实施方式所涉及的基板搬运机器人的基板处理设备的简要结构的图。
[0016]图2是表示图1所示的装载口的简要结构的图。
[0017]图3是表示图1所示的基板搬运机器人的控制系统的结构的图。
[0018]图4是表示拍摄图像的例1的图。
[0019]图5是表示拍摄图像的例2的图。
具体实施方式
[0020]〔基板处理设备100的简要结构〕
[0021]以下，参照附图对本专利技术的实施方式详细地进行说明。图1是表示包含本专利技术的一实施方式所涉及的基板搬运机器人7的基板处理设备100的简要结构的图，图2是表示图1所示的装载口2的简要结构的图。图1所示的基板处理设备100具备装载口2、基板移载装置3以及基板处理装置4。
[0022]基板移载装置3是基板的载体16与基板处理装置4的接口。载体16具备：在内部收容基板6的箱状的容器15；和将容器15的开口部密闭的盖17。在载体16的内部壁面沿铅垂方向以隔开规定的间隔的方式设置有多个用于载置基板6的架板18。
[0023]基板移载装置3具有：在内部形成有移载室30的框体31；和设置于框体31的顶板的风扇过滤单元5。从风扇过滤单元5被供给至移载室30的内部的清新的空气在移载室30内向下流动，并从移载室30的地面向装置外部被排出。通过这样的清新空气的供给，移载室30内被维持为相比外部环境高压，并被保持为高清新环境。
[0024]在基板移载装置3的框体31内设置有基板搬运机器人7，基板搬运机器人7从载体16接收基板6并将基板6交付到基板处理装置4，并且从基板处理装置4接收基板6并将基板6交付到载体16。关于基板搬运机器人7之后详细叙述。
[0025]在基板移载装置3的框体31的侧面连接有基板处理装置4。基板处理装置4可以是对基板实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理以及平坦化处理中的至少一个以上的工艺处理的装置。基板处理装置4例如具有将基板6向真空空间导入的负载锁定腔室41、对基板6进行处理的处理腔室43、以及在负载锁定腔室41与处理腔室43之间接收基板6来进行搬入/搬出的转移腔室42的多个真空腔室。基板移载装置3相对于负载锁定腔室41进行基板的交接。但是，基板处理装置4的结构并不限于上述内容。
[0026]在基板移载装置3的框体31的与连接有基板处理装置4的侧面相反一侧的侧面，设置有至少一个装载口2。装载口2形成框体31的侧面的一部分。
[0027]如图1和图2所示，装载口2具备：载置台21，其供载体16载置；板23，其设置有作为基板6的交接口的端口开口部22；门24，其对端口开口部22进行开闭；载置台驱动装置29，其使载置台21相对于端口开口部22进行前进/后退移动；以及门驱动装置28，其使门24进行升降动作。
[0028]在载置台21设置有将载体16定位于规定的载置基准位置的定位销211。该定位销211通过嵌入于设置于载体16的底部的定位孔而将载体16定位于载置台21。但是，定位孔是长孔，存在载体16相对于载置台21产生些许位置偏移的情况。
[0029]通过载置台驱动装置29使载置台21往复移动。载置台驱动装置29例如具备马达291和被马达291驱动的进给丝杠292。通过进给丝杠292正转/反转，从而载置台21相对于端口开口部22进行前进/后退移动。当伴随着载置台21的前进移动，载体16朝向端口开口部22(门24)前进移动，则载体16的盖17与门24抵接。由此，形成于载体16的开口缘的凸缘19与设置于端口开口部22的周围的凸缘面板27抵接，载体16与板23结合(对接)。
[0030]门24具有：用于对盖17进行基于吸附力的一体化与定位的对位销241；和闩锁钥匙242。通过使闩锁钥匙242与盖17所具备的闩锁钥匙孔(图示略)嵌合并向锁定解除方向旋转，从而盖17切换为锁定解除状态，并且盖17与门24被一体化。另外，通过使闩锁钥匙242与盖17所具备的闩锁钥匙孔(图示略)嵌合并向锁定方向旋转，从而盖17切换为锁定状态，并且盖17与门24的一体化被解除。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板搬运机器人，相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体，经由所述装载口从与所述第一侧相反的第二侧通过所述开口部来进行所述基板的交接，所述基板搬运机器人的特征在于，具备：手部，其保持所述基板；机器人臂，其与所述手部连结并使该手部位移；拍摄装置，其安装于所述手部或者所述机器人臂；以及控制器，其控制所述机器人臂和所述拍摄装置的动作，所述控制器获取由所述拍摄装置从所述第二侧拍摄到的包含所述开口部的周缘和与该开口部结合的所述载体的拍摄图像，并对所述拍摄图像进行图像...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田哲也，曾铭，中原一，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：