一种芯片点压机及芯片巨量转移方法技术

本发明专利技术公开了一种芯片点压机及芯片巨量转移方法，包括固定座、水平活动座、竖直活动座、音圈电机、压电陶瓷促动器和柔性顶针，水平活动座与固定座滑动连接，竖直活动座与水平活动座滑动连接，音圈电机设在固定座的一端，音圈电机的输出端与水平活动座连接，压电陶瓷促动器设在竖直活动座上，柔性顶针的顶端设在压电陶瓷促动器伸缩端相抵，柔性顶针的底端延伸至竖直活动座的下方。采用音圈电机和压电陶瓷促动器分别作为控制柔性顶针x轴方向和z轴方向运动的动力源，使得整体系统具有良好的系统灵敏度、快速性和适应性，能更好的实现高速高精度的传动控制，并使z轴方向的巨量转移Micro

【技术实现步骤摘要】
一种芯片点压机及芯片巨量转移方法


[0001]本专利技术涉及Micro
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LED芯片巨量转移领域，尤其涉及一种一种芯片点压机及芯片巨量转移方法。

技术介绍

[0002]Micro
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LED是指以自发光的微米量级的LED为发光像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度LED阵列的显示技术。要制成显示器，其晶片表面须加工成LED显示器相似的阵列结构，且每一个点画素必须可定址控制、单独驱动点亮。若透过互补式金属氧化物半导体电路驱动则为主动定址驱动架构，Micro
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LED阵列晶片与CMOS间可透过封装技术。
[0003]Micro
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LED的显示原理，是将LED在结构设计上进行微小化、阵列化、薄膜化，尺寸可达到1~10μm等级左右；而后将Micro
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LED批量式的转移至电路基板上，其接收基板可为硬性或软性的透明或不透明基板上；最后利用物理沉积方法制出保护层与加上电极，进行封装，即可完成结构简单的Micro
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LED显示。由于其采用CMO本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片点压机，其特征在于，包括固定座、水平活动座、竖直活动座、音圈电机、压电陶瓷促动器和柔性顶针，所述水平活动座与所述固定座滑动连接，所述竖直活动座与所述水平活动座滑动连接，所述音圈电机设在所述固定座的一端，所述音圈电机的输出端与所述水平活动座连接，所述压电陶瓷促动器设在所述竖直活动座上，所述柔性顶针的顶端设在所述压电陶瓷促动器伸缩端相抵，所述柔性顶针的底端延伸至所述竖直活动座的下方；所述音圈电机用于带动所述水平活动座沿着x轴进行往复运动，所述压电陶瓷促动器用于驱动所述柔性顶针沿着z轴进行往复运动；当所述水平活动座沿x轴方向运动时，所述竖直活动座同步沿z轴方向运动。2.根据权利要求1所述的一种芯片点压机，其特征在于，还包括随动摇杆，所述随动摇杆的一端与所述固定底座的另一端相铰接，所述随动摇杆的另一端与所述竖直活动座的底部相铰接，所述随动摇杆的一端与另一端之间具有高度差。3.根据权利要求1所述的一种芯片点压机，其特征在于，还包括柔性放大机构、运动输出端和顶针固定板，所述柔性放大机构和所述运动输出端均设在所述竖直滑动座的底部，所述运动输出端的两侧均与所述柔性放大机构的一端连接，所述运动输出端的顶端与所述压电陶瓷促动器的伸缩端相抵，所述柔性顶针通过所述顶针固定板连接于所述运动输出端。4.根据权利要求1所述的一种芯片点压机，其特征在于，还包括管状滑轨，所述管状滑轨竖直设置在所述水平活动座上，所述竖直活动座的一侧设有滑动座，所述滑动座与所述管状滑轨滑动连接。5.根据权利要求1所述的一种芯片点压机，其特征在于，还包括水平滑轨和滑块，所述水平滑轨水平设置在所述固定座上，所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：包艺亮，陈桪，姚敬松，林镇培，林健，梁杰，熊金刚，郑和辉，郭建，董凌志，刘茂林，刘子扬，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：