晶圆翘曲毛刷修正组件制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，具体为晶圆翘曲毛刷修正组件，包括组立板，所述组立板的内侧固定安装有底板，所述底板的顶部设置有硅片花篮，所述组立板的外壁连接有护罩，所述护罩的内侧设置有升降机构，所述升降机构上安装有中连板，所述中连板滑动于组立板的一侧，且所述中连板的另一端固定连接有固定臂。本实用新型专利技术通过气缸工作推动压紧板，使得压紧板将硅片花篮进行压制固定，以此在利用伺服电机带动主动同步带轮的转动，使得同步带能够带动其连接的中连板进行上下移动，进而使连接的拨片毛刷板向上或向下移动对晶圆片进行拨动，促使晶圆片朝一个方向翘曲，避免相邻两片晶圆边缘相互靠近，造成晶圆机械手无法取料的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
晶圆翘曲毛刷修正组件


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体涉及一种晶圆翘曲毛刷修正组件。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在经过研磨工艺之后放入硅片花篮中时，由于自身的厚度减薄，尤其是边缘的厚度特别小，易导致花篮中的晶圆片发生翘曲现象，进而存在相邻两片晶圆出现上片朝下翘曲，下片朝上翘曲，造成晶圆机械手无法取料进行送至后续加工的问题，为此，需要提出一种晶圆翘曲毛刷修正组件。

技术实现思路

[0003]本技术提供晶圆翘曲毛刷修正组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0005]晶圆翘曲毛刷修正组件，包括组立板，所述组立板的内侧固定安装有底板，所述底板的顶部设置有硅片花篮，所述组立板的外壁连接有护罩，所述护罩的内侧设置有升降机构，所述升降机构上安装有中连板，所述中连板滑动于组立板的一侧，且所述中连板的另一端固定连接有固定臂，所述固定臂的另一端固定连接有拨片毛刷板，所述拨片毛刷板设于硅片花篮开口端的前方处。
[0006]优选的，所述升降机构包括固定安装于组立板上的伺服电机以及活动安装于组立板上的从动同步带轮，所述伺服电机的输出轴固定连接有主动同步带轮，所述主动同步带轮和从动同步带轮上套设有用于两者传动的同步带，且所述中连板的一端固定连接在同步带上。
[0007]优选的，所述组立板的外壁固定安装有导轨，所述导轨的外壁滑动配合有滑动座，所述中连板固定连接在滑动座上。
[0008]优选的，所述组立板的内顶壁固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有压紧板，所述压紧板设于硅片花篮的正上方。
[0009]通过采用上述技术方案，本技术所取得的有益效果为：
[0010]本技术中，通过气缸工作推动压紧板，使得压紧板将硅片花篮进行压制固定，以此在利用伺服电机带动主动同步带轮的转动，使得同步带能够带动其连接的中连板进行上下移动，进而使连接的拨片毛刷板向上或向下移动对晶圆片进行拨动，促使晶圆片朝一个方向翘曲，避免相邻两片晶圆边缘相互靠近，造成晶圆机械手无法取料的问题。
附图说明
[0011]图1为本技术的整体结构示意图；
[0012]图2为本技术的升降机构示意图。
[0013]图中：1、组立板；2、底板；3、硅片花篮；4、护罩；5、中连板；6、固定臂；7、拨片毛刷板；8、伺服电机；9、从动同步带轮；10、主动同步带轮；11、同步带；12、导轨；13、滑动座；14、
气缸；15、压紧板。
具体实施方式
[0014]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0015]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0016]实施例
[0017]如图1
‑
2所示，本技术提供了晶圆翘曲毛刷修正组件，包括组立板1，组立板1的内侧固定安装有底板2，底板2的顶部设置有硅片花篮3，组立板1的外壁连接有护罩4，护罩4的内侧设置有升降机构，升降机构上安装有中连板5，中连板5滑动于组立板1的一侧，且中连板5的另一端固定连接有固定臂6，固定臂6的另一端固定连接有拨片毛刷板7，拨片毛刷板7设于硅片花篮3开口端的前方处。
[0018]在本实施例中，升降机构包括固定安装于组立板1上的伺服电机8以及活动安装于组立板1上的从动同步带轮9，伺服电机8的输出轴固定连接有主动同步带轮10，主动同步带轮10和从动同步带轮9上套设有用于两者传动的同步带11，且中连板5的一端固定连接在同步带11上。
[0019]具体的，通过伺服电机8带动主动同步带轮10的转动，使得主动同步带轮10可在与从动同步带轮9的配合下完成同步带11的转动，以此同步带11转动时可带动中连板5进行升降调节，从而促使拨片毛刷板7上下移动，完成硅片花篮3内的晶圆片朝一个方向翘曲，利于机械手进行取料。
[0020]在本实施例中，组立板1的外壁固定安装有导轨12，导轨12的外壁滑动配合有滑动座13，中连板5固定连接在滑动座13上。
[0021]具体的，利用导轨12和滑动座13的设计，使得同步带11带动中连板5进行上下移动时，能够保证一定的稳定性，利于拨片毛刷板7对晶圆片的拨动。
[0022]在本实施例中，组立板1的内顶壁固定安装有气缸14，气缸14的输出端固定连接有压紧板15，压紧板15设于硅片花篮3的正上方，其设计的作用是气缸14工作后可推动压紧板15将硅片花篮3压紧固定，从而保证硅片花篮3及晶圆片的稳定性。
[0023]本技术的工作原理及使用流程：使用时，将存放晶圆片的硅片花篮3放置在底板2上，并利用气缸14工作推动压紧板15，使得压紧板15将硅片花篮3进行压制固定，以此在对晶圆片翘曲进行处理时，利用伺服电机8带动主动同步带轮10的转动，使得同步带11能够带动其连接的中连板5进行上下移动，进而使连接的拨片毛刷板7向上或向下移动对晶圆片进行拨动，促使晶圆片朝一个方向翘曲，避免相邻两片晶圆边缘相互靠近，造成晶圆机械手无法取料的问题，基于上述原理，此技术在实际使用时，主要配合器组立板1一侧安装的机械手对硅片花篮3内的晶圆进行取料及送料，利于晶圆片进行后续的加工。
[0024]在本技术中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。术语“安装”、
“
相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]需要说明的是，当元件被称为“装配于”、“安装于”、“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0026]在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0027]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆翘曲毛刷修正组件，其特征在于，包括组立板(1)，所述组立板(1)的内侧固定安装有底板(2)，所述底板(2)的顶部设置有硅片花篮(3)，所述组立板(1)的外壁连接有护罩(4)，所述护罩(4)的内侧设置有升降机构，所述升降机构上安装有中连板(5)，所述中连板(5)滑动于组立板(1)的一侧，且所述中连板(5)的另一端固定连接有固定臂(6)，所述固定臂(6)的另一端固定连接有拨片毛刷板(7)，所述拨片毛刷板(7)设于硅片花篮(3)开口端的前方处。2.根据权利要求1所述的晶圆翘曲毛刷修正组件，其特征在于，所述升降机构包括固定安装于组立板(1)上的伺服电机(8)以及活动安装于组立板(1)上的从动同步带轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：王森光，
申请(专利权)人：苏州市超越研创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：