一种载台顶升机械手避位组件制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，具体为一种载台顶升机械手避位组件，包括DD马达，所述DD马达的底部安装有安装座，所述安装座的底部安装有气缸，所述安装座的顶部设有底座，且所述气缸输出端连接有抬升组件，所述抬升组件设于安装座的顶部，并同时设于底座的内侧。本实用新型专利技术通过气缸的工作可推动固定板和顶杆抬升，使得顶杆抬升后可将晶圆原材料托起，继而随着气缸的收缩工作，使得顶杆上的晶圆能够放置在面板上，完成晶圆原材料的上料，解决原材料不易脱离料叉的问题，而通过DD马达根据CCD数据带动安装座和面板的旋转，使得面板旋转后切割道能够对应于晶圆角度，保证产品切割时切割道与载台光路的避位契合，避免了载台损坏的问题。坏的问题。坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种载台顶升机械手避位组件


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体涉及一种载台顶升机械手避位组件。

技术介绍

[0002]集成电路是指在一半导体基板上，利用氧化、蚀刻、扩散等方法，将众多电子电路组成各式二极管、晶体管等电子组件，做在一个微小面积上，以完成某一特定逻辑功能，达成预先设定好的电路功能要求的电路系统，而晶圆则是制作集成电路的基本原料。
[0003]目前晶圆在生产时需要经过多道工序，如晶圆原材料进行切割时，需要通过机械臂从硅片花篮中将原材料取出，然后在放置在晶圆吸附载台上，而因晶圆具有正面和背面之分，所以在晶圆原材料取放过程中，应避免触碰晶圆正面，触碰晶面的正面会造成晶圆污染或划伤，直接影响晶圆质量，因此在晶圆原材料的取放即通过机械手吸附料叉进行操作，而机械手吸附料叉在进行放料时，不易使原材料脱离料叉，并且放置后的原材料易发生角度偏差，导致激光光路根据产品切割时切割道与载台光路避位不够契合，造成载台因受切割激光而损坏，为此，需要我们设计了一种载台顶升机械手避位组件来解决此问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种载台顶升机械手避位组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0006]一种载台顶升机械手避位组件，包括DD马达，所述DD马达的底部安装有安装座，所述安装座的底部安装有气缸，所述安装座的顶部设有底座，且所述气缸输出端连接有抬升组件，所述抬升组件设于安装座的顶部，并同时设于底座的内侧，所述底座的顶部设置有面板；
[0007]所述抬升组件包括固定板，所述固定板的顶部连接有若干顶杆，若干所述顶杆的另一端可活动贯穿底座和面板。
[0008]优选的，所述底座的顶部设有若干导向块，所述顶杆设于导向块的内部。
[0009]优选的，所述面板的底部贯穿开设有导孔，所述顶杆的另一端设置在导孔的内部。
[0010]优选的，所述固定板的表面贯穿开设有限位孔，所述限位孔的内部设置有限位杆，所述限位杆的底端固定连接在安装座上。
[0011]优选的，所述面板的顶部设置有切割道，所述导孔的顶部与切割道的内部相通。
[0012]优选的，所述固定板呈十字型，且若干所述顶杆分别连接在固定板的四端侧。
[0013]通过采用上述技术方案，本技术所取得的有益效果为：
[0014]本技术中，通过气缸的工作可推动固定板和顶杆抬升，使得顶杆抬升后可将晶圆原材料托起，继而随着气缸的收缩工作，使得顶杆上的晶圆能够放置在面板上，完成晶圆原材料的上料，解决原材料不易脱离料叉的问题，而通过DD马达根据CCD数据带动安装座和面板的旋转，使得面板旋转后切割道能够对应于晶圆角度，保证产品切割时切割道与载
台光路的避位契合，避免了载台损坏的问题。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的导向块结构示意图；
[0017]图3为本技术的限位杆结构示意图；
[0018]图4为本技术的抬升组件结构示意图；
[0019]图5为本技术的整体剖面结构示意图。
[0020]图中：1、DD马达；2、安装座；3、气缸；4、底座；5、面板；6、固定板；7、顶杆；8、导向块；9、导孔；10、限位孔；11、限位杆；12、切割道。
具体实施方式
[0021]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0023]实施例一
[0024]如图1
‑
5所示，本技术提供了一种载台顶升机械手避位组件，包括DD马达1，DD马达1的底部安装有安装座2，安装座2的底部安装有气缸3，安装座2的顶部设有底座4，且气缸3输出端连接有抬升组件，抬升组件设于安装座2的顶部，并同时设于底座4的内侧，底座4的顶部设置有面板5；
[0025]抬升组件包括固定板6，固定板6的顶部连接有若干顶杆7，若干顶杆7的另一端可活动贯穿底座4和面板5。
[0026]在本实施例中，底座4的顶部设有若干导向块8，顶杆7设于导向块8的内部，面板5的底部贯穿开设有导孔9，顶杆7的另一端设置在导孔9的内部，面板5的顶部设置有切割道12，导孔9的顶部与切割道12的内部相通。
[0027]具体的，借助导向块8的设计，使得顶杆7能够稳定的升降在导孔9内，利于顶杆7对晶圆产品进行稳定托举，实现晶圆原材料精准放置于面板5上，保证产品切割道12与外界光路的避位契合。
[0028]在本实施例中，固定板6的表面贯穿开设有限位孔10，限位孔10的内部设置有限位杆11，限位杆11的底端固定连接在安装座2上，具体的，采用限位孔10和限位杆11的设计，使得固定板6能够跟随气缸3稳定升降。
[0029]在本实施例中，固定板6呈十字型，且若干顶杆7分别连接在固定板6的四端侧，具体的，借助矩形分布的顶杆7，使得顶杆7在对产品进行托举时，能够保证产品的稳定性。
[0030]本技术的工作原理及使用流程：使用时，机械手吸附料叉将晶圆原材料托起移至面板5上方时，气缸3的工作可推动固定板6和顶杆7抬升，顶杆7的抬升可在导孔9内冒出，从而将晶圆原材料托起，继而随着气缸3的收缩工作，使得顶杆7上的晶圆能够放置在面
板5上，完成晶圆原材料的上料，基于上述工作原理，因晶圆原材料取出时直边角角度位置不够精准，外界激光切割设备上的CCD装置可进行拍照保存数据，并将该数据传输至DD马达1上，从而促使DD马达1根据数据带动安装座2和面板5旋转，保证面板5旋转后切割道12能够对应于晶圆角度，保证产品切割时切割道12与光路的避位契合，避免了载台损坏的问题。
[0031]在本技术中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]需要说明的是，当元件被称为“装配于”、“安装于”、“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载台顶升机械手避位组件，包括DD马达(1)，其特征在于：所述DD马达(1)的底部安装有安装座(2)，所述安装座(2)的底部安装有气缸(3)，所述安装座(2)的顶部设有底座(4)，且所述气缸(3)输出端连接有抬升组件，所述抬升组件设于安装座(2)的顶部，并同时设于底座(4)的内侧，所述底座(4)的顶部设置有面板(5)；所述抬升组件包括固定板(6)，所述固定板(6)的顶部连接有若干顶杆(7)，若干所述顶杆(7)的另一端可活动贯穿底座(4)和面板(5)。2.根据权利要求1所述的一种载台顶升机械手避位组件，其特征在于，所述底座(4)的顶部设有若干导向块(8)，所述顶杆(7)设于导向块(8)的内部。3.根据权利要求1所述的一种载台...

【专利技术属性】
技术研发人员：王森光，
申请(专利权)人：苏州市超越研创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：