基板夹持组件及基板夹持机构制造技术

技术编号:38592202 阅读:11 留言:0更新日期:2023-08-26 23:30
本发明专利技术提供一种基板夹持组件和基板夹持机构,基板夹持组件包括底板、滑动块、转动件、压板、限位件、拉簧和直线驱动装置。转动件与滑动块转动连接,转动件包括抵接块。压板与转动件连接。限位件用于对抵接块进行限位。拉簧连接转动件,用于提供弹力使得转动件及压板具有张开的趋势。直线驱动装置与滑动块连接,用于驱动滑动块、转动件及压板滑动,当滑动块向靠近限位件的方向滑动、限位件与抵接块抵接时,转动件转动,使得压板闭合,当滑动块向远离限位块的方向滑动时,拉簧带动压板张开。基板夹持机构包括上述基板夹持组件。本发明专利技术提供的基板夹持组件及基板夹持机构,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。止基板损伤。止基板损伤。

【技术实现步骤摘要】
基板夹持组件及基板夹持机构


[0001]本专利技术涉及夹持组件
,特别涉及一种基板夹持组件及基板夹持机构。

技术介绍

[0002]通常,显示装置、太阳电池(Solar Cell)、半导体元件等通过对基板实施多种处理工序而制成。例如,有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes,OLED)、液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)、等离子显示板(Plasma Display Panel,PDP)、电泳显示器(Electrophoretic Display,EPD)等显示装置通过对由硅、玻璃(Glass)等形成的基板实施诸如蒸镀工序、光刻工序、蚀刻工序等处理工序而制成。这些处理工序中,有的需要通过基板夹持组件将基板处于固定状态下进行处理。现有技术中的基板夹持组件,当其夹持基板时,其夹块不断对基板过度施加压力,导致基板有破损的风险。
[0003]故需要提供一种基板夹持组件及基板夹持机构来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种基板夹持组件及基板夹持机构,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。
[0005]本专利技术的技术方案为:
[0006]一种基板夹持组件,其包括:
[0007]底板;
[0008]滑动块,其滑动设置于所述底板上;
[0009]转动件,其与所述滑动块转动连接,所述转动件包括抵接块;
[0010]压板,其与所述转动件连接;
[0011]限位件,其设置于所述底板,用于对所述抵接块进行限位;
[0012]拉簧,其连接所述转动件和所述底板,用于提供弹力使得所述转动件及所述压板具有张开的趋势;以及,
[0013]直线驱动装置,其与所述滑动块连接,用于驱动所述滑动块、所述转动件及所述压板滑动,当所述滑动块向靠近所述限位件的方向滑动、所述限位件与所述抵接块抵接时,所述转动件转动,使得所述压板闭合,当所述滑动块向远离所述限位件的方向滑动时,所述拉簧带动所述压板张开。
[0014]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述基板夹持组件还包括托板,其设置于所述底板上,所述托板上设置有多个挡块,多个所述挡块沿垂直于所述滑动块滑动的方向分布,所述压板上设置有多个避位槽,当所述压板闭合时,多个所述挡块位于多个所述避位槽中。
[0015]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述底板上设置有长条形的转动孔,所述转动孔的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述抵接块活动设置在所述转动孔中。
[0016]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述底板背对所述滑动块的一侧设置有安装槽,所述安装槽与所述转动孔连通,所述限位件包括限位块及安装板,所述安装板可拆卸安装
在所述安装槽中,所述限位块穿设于所述转动孔,并凸出于所述安装板,所述限位块用于对所述抵接块进行限位。
[0017]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述底板、所述压板、所述转动件和所述滑动块均为长条形,其长度方向均垂直于所述滑动块的滑动方向;
[0018]所述转动件还包括连接片和两个转动块,所述连接片为长条形,其长度方向垂直于所述滑动块的滑动方向,所述连接片与所述压板连接;两个所述转动块分别连接于所述连接片的两端,两个所述转动块分别与所述滑动块的两端转动连接,所述抵接块设置为两个,分别与两个所述转动块连接;所述限位件为两个,分别与两个所述抵接块对应。
[0019]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述连接片的中部与所述拉簧的一端连接,所述拉簧的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述滑动块背对所述底板的一侧中部设置有长条形的凹槽,所述凹槽的长度方向与所述拉簧的长度方向一致,所述拉簧穿设于所述凹槽。
[0020]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述直线驱动装置为气缸,且为两个,两个所述直线驱动装置分别位于所述滑动块的两端,所述基板夹持组件还包括两个推块,各所述推块分别连接两个所述直线驱动装置和所述滑动块的两端,各所述推块包括相连接的第一段和第二段,所述第一段沿所述滑动块的滑动方向延伸,所述第一段位于所述滑动块与所述直线驱动装置的缸筒之间,并与所述滑动块的一端连接,所述第二段倾斜设置在所述滑动块和所述直线驱动装置之间,所述第二段远离所述第一段的一端设置有开口背对所述底板的卡槽,所述直线驱动装置的活塞杆卡接在所述卡槽中。
[0021]本专利技术所述的基板夹持组件中,所述基板夹持组件还包括两个直线导轨,两个所述直线导轨沿垂直于所述滑动块的滑动方向排布,并位于底板与滑动块之间;两个所述直线导轨的轨道设置在所述底板上,两个所述直线导轨的滑块分别与所述滑动块的两端连接。
[0022]本专利技术的另一技术方案为:
[0023]一种基板夹持机构,其包括:
[0024]上述的基板夹持组件,所述基板夹持组件设置为平行分布的两组,各所述基板夹持组件还包括连接板和两个安装块,所述连接板与所述底板平行,且两者连接,两个所述安装块分别与所述连接板的两端连接;
[0025]两个左右旋丝杆,两个所述左右旋丝杆的四个螺母分别与四个所述安装块连接;
[0026]两个同步轮,分别与两个所述左右旋丝杆的螺纹杆连接;
[0027]同步带,其套设在两个所述同步轮上;以及,
[0028]电机,其转动轴与其中一个所述左右旋丝杆的螺纹杆连接,所述电机用于带动两个左右旋丝杆的螺纹杆同步旋转,以使得两个所述的夹持组件互相靠近或互相远离。
[0029]本专利技术所述的基板夹持机构中,所述基板夹持机构还包括两组支撑组件,两组支撑组件位于基板夹持组件的下方,且沿所述滑动块滑动的方向平行排布,各所述支撑组件包括:
[0030]支撑架,用于支撑基板;以及,
[0031]驱动组件,与所述支撑架相连,用于驱动所述支撑架沿竖直方向移动。
[0032]本专利技术相较于现有技术,其有益效果为:本专利技术的基板夹持组件及基板夹持机构,
其通过直线驱动装置驱动滑动块向靠近限位件的方向滑动,同时带动转动件及压板同方向移动,当滑动块滑动至抵接块与限位件抵接时,抵接块在直线驱动装置的驱动下给限位件施加作用力,此时限位件给抵接块的反作用力大于拉簧的拉力,迫使转动件转动,使得压板压向底板,从而夹住基板。当滑动块向远离限位件的方向滑动时,转动件远离基板移动,抵接块与限位件分离,限位件不再给转动件施加反作用力,拉簧带动转动件反方向转动,从而带动压板张开,此时可以取出基板。其中,在滑动块向靠近限位件的方向滑动时,当转动件与限位件沿竖直方向贴合时,转动件无法再转动,同时压板不再继续向靠近底板的方向移动,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,下面描述中的附图仅为本专利技术的部分实施例相应的附图。
[0034]图1为本专利技术优选实施例提供的基板夹持组本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板夹持组件,其特征在于,包括:底板;滑动块,其滑动设置于所述底板上;转动件,其与所述滑动块转动连接,所述转动件包括抵接块;压板,其与所述转动件连接;限位件,其设置于所述底板,用于对所述抵接块进行限位;拉簧,其连接所述转动件和所述底板,用于提供弹力使得所述转动件及所述压板具有张开的趋势;以及,直线驱动装置,其与所述滑动块连接,用于驱动所述滑动块、所述转动件及所述压板滑动,当所述滑动块向靠近所述限位件的方向滑动、所述限位件与所述抵接块抵接时,所述转动件转动,使得所述压板闭合,当所述滑动块向远离所述限位件的方向滑动时,所述拉簧带动所述压板张开。2.根据权利要求1所述的基板夹持组件,其特征在于,所述基板夹持组件还包括托板,其设置于所述底板上,所述托板上设置有多个挡块,多个所述挡块沿垂直于所述滑动块滑动的方向分布,所述压板上设置有多个避位槽,当所述压板闭合时,多个所述挡块位于多个所述避位槽中。3.根据权利要求1所述的基板夹持组件,其特征在于,所述底板上设置有长条形的转动孔,所述转动孔的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述抵接块活动设置在所述转动孔中。4.根据权利要求3所述的基板夹持组件,其特征在于,所述底板背对所述滑动块的一侧设置有安装槽,所述安装槽与所述转动孔连通,所述限位件包括限位块及安装板,所述安装板可拆卸安装在所述安装槽中,所述限位块穿设于所述转动孔,并凸出于所述安装板,所述限位块用于对所述抵接块进行限位。5.根据权利要求1所述的基板夹持组件,其特征在于,所述底板、所述压板、所述转动件和所述滑动块均为长条形,其长度方向均垂直于所述滑动块的滑动方向;所述转动件还包括连接片和两个转动块,所述连接片为长条形,其长度方向垂直于所述滑动块的滑动方向,所述连接片与所述压板连接;两个所述转动块分别连接于所述连接片的两端,两个所述转动块分别与所述滑动块的两端转动连接,所述抵接块设置为两个,分别与两个所述转动块连接;所述限位件为两个,分别与两个所述抵接块对应。6.根据权利要求5所述的基板夹持组件,其特征在于,所述连接片的中部与所述拉簧的一端连接,所述拉簧的长度方向与所...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈炳元林咏华
申请(专利权)人:深圳市凯码时代科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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