一种激光设备中相机精确校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种激光设备中相机精确校准装置，包括相机组件、晶圆、光掩膜、平面光源、相机组件固定板、后滑轨、前滑轨、前滑块和后滑块，八个相机组件均安装在相机组件固定板上，相机组件设置在平面光源上侧，晶圆设置在平面光源与相机组件之间，光掩膜通过安装机构设置在晶圆上侧，后滑轨设置在平面光源上端面后侧，后滑轨前端面开设有后滑槽，前滑轨设置在平面光源上端面前侧，前滑轨后端面开设有前滑槽，光掩膜前端面设置有前滑块，光掩膜后端面设置有后滑块，前滑块位于前滑槽内部，后滑块位于后滑槽内部，本实用新型专利技术将光掩膜准确放置于相机拍照工位，通过相机成像来判断及调整相机位置知道调节正确。

An accurate calibration device for the camera in a laser device

The utility model relates to a laser device camera precise calibration device, including camera assembly, wafer, photomask, planar light source, camera module fixed plate and a rear slide, slide, slide before and after the slider, eight camera components are installed on the camera component fixed plate, the camera assembly is arranged on the upper plane light source the wafer is arranged between the plane light source, and the camera component, the photomask is arranged at the wafer side by the mounting mechanism, after sliding rails arranged in planar light source of rear end, rear end surface is provided with a slide rail before after, before the end of the rail is equipped on the front plane light source, before the slide after the end surface is provided with a front runner, a mask before the end is provided with a front slider, photomask after end is provided with a rear slider, the slider is located in the front runner before, after the slider at the back sliding groove inside, the utility model will mask the quasi It is placed in the camera position, and it is correct to judge and adjust the position of the camera by camera imaging.

【技术实现步骤摘要】
一种激光设备中相机精确校准装置
本技术涉及晶圆加工领域，具体为一种激光设备中相机精确校准装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。目前常规太阳能激光设备中晶圆定位用的相机为一片晶圆用一台相机拍照，加工精度无法提高，综上所述，现急需一种激光设备中相机精确校准装置来解决上述出现的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种激光设备中相机精确校准装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术使用方便，操作简单，系统性高，实用性强。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种激光设备中相机精确校准装置，包括装置主体和安装机构，所述装置主体包括相机组件、晶圆、光掩膜、平面光源和相机组件固定板，所述相机组件设有八个，八个所述相机组件均安装在相机组件固定板上，所述相机组件设置在平面光源上侧，所述晶圆设置在平面光源与相机组件之间，所述光掩膜通过安装机构设置在晶圆上侧，所述安装机构设置在平面光源上侧，所述安装机构包括后滑轨、前滑轨、前滑块和后滑块，所述后滑轨设置在平面光源上端面后侧，所述后滑轨前端面开设有后滑槽，所述前滑轨设置在平面光源上端面前侧，所述前滑轨后端面开设有前滑槽，所述光掩膜前端面设置有前滑块，所述光掩膜后端面设置有后滑块，所述前滑块位于前滑槽内部，所述后滑块位于后滑槽内部。进一步地，所述前滑块与后滑块之间规格相同。进一步地，所述晶圆设有两个，两个所述晶圆对称设置在平面光源上侧。进一步地，所述光掩膜上设置有200×200个长度为1mm方块。与现有技术相比，本技术的有益效果是：因本技术添加了后滑轨、前滑轨、前滑块和后滑块，该设计可以调节光掩膜遮光的大小，同时防止光掩膜与晶圆接触；因本技术光掩膜上有200*200个长度为1mm方块，将光掩膜准确放置于相机拍照工位，通过相机成像来判断及调整相机位置知道调节正确，解决了目前常规太阳能激光设备中晶圆定位用的相机为一片晶圆用一台相机拍照，加工精度无法提高的问题。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的局部结构示意图；图3为本技术中光掩膜的结构示意图；附图标记中：1.相机组件；2.晶圆；3.光掩膜；4.平面光源；5.相机组件固定板；61.后滑轨；62.前滑轨；63.前滑块；64.后滑块；a.后滑槽；b.前滑槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种激光设备中相机精确校准装置，包括装置主体和安装机构，装置主体包括相机组件1、晶圆2、光掩膜3、平面光源4和相机组件固定板5，相机组件1设有八个，八个相机组件1均安装在相机组件固定板5上，相机组件1设置在平面光源4上侧，晶圆2设置在平面光源4与相机组件1之间，光掩膜3通过安装机构设置在晶圆2上侧。安装机构设置在平面光源4上侧，安装机构包括后滑轨61、前滑轨62、前滑块63和后滑块64，后滑轨61设置在平面光源4上端面后侧，后滑轨61前端面开设有后滑槽a，前滑轨62设置在平面光源4上端面前侧，前滑轨62后端面开设有前滑槽b，光掩膜3前端面设置有前滑块63，光掩膜3后端面设置有后滑块64，前滑块63位于前滑槽b内部，后滑块64位于后滑槽a内部，本技术将光掩膜3准确放置于相机拍照工位，通过相机成像来判断及调整相机位置知道调节正确。前滑块63与后滑块64之间规格相同，晶圆2设有两个，两个晶圆2对称设置在平面光源4上侧，光掩膜3上设置有200×200个长度为1mm方块。本技术在工作时：八相机用高密度校准工具分别校准完成后，两片晶圆2分别用四台相机独立定位，四台相机拍晶圆2四个角，经过计算确定晶圆2摆放角度，相机视野小像素高，晶圆2角度可以计算的更加准确，同时推拉光掩膜3，调节光掩膜3与晶圆2的贴合面积，从而解决了目前常规太阳能激光设备中晶圆2定位用的相机为一片晶圆2用一台相机拍照，加工精度无法提高的问题。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光设备中相机精确校准装置，包括装置主体和安装机构，其特征在于：所述装置主体包括相机组件（1）、晶圆（2）、光掩膜（3）、平面光源（4）和相机组件固定板（5），所述相机组件（1）设有八个，八个所述相机组件（1）均安装在相机组件固定板（5）上，所述相机组件（1）设置在平面光源（4）上侧，所述晶圆（2）设置在平面光源（4）与相机组件（1）之间，所述光掩膜（3）通过安装机构设置在晶圆（2）上侧；所述安装机构设置在平面光源（4）上侧，所述安装机构包括后滑轨（61）、前滑轨（62）、前滑块（63）和后滑块（64），所述后滑轨（61）设置在平面光源（4）上端面后侧，所述后滑轨（61）前端面开设有后滑槽（a），所述前滑轨（62）设置在平面光源（4）上端面前侧，所述前滑轨（62）后端面开设有前滑槽（b），所述光掩膜（3）前端面设置有前滑块（63），所述光掩膜（3）后端面设置有后滑块（64），所述前滑块（63）位于前滑槽（b）内部，所述后滑块（64）位于后滑槽（a）内部。

【技术特征摘要】
1.一种激光设备中相机精确校准装置，包括装置主体和安装机构，其特征在于：所述装置主体包括相机组件（1）、晶圆（2）、光掩膜（3）、平面光源（4）和相机组件固定板（5），所述相机组件（1）设有八个，八个所述相机组件（1）均安装在相机组件固定板（5）上，所述相机组件（1）设置在平面光源（4）上侧，所述晶圆（2）设置在平面光源（4）与相机组件（1）之间，所述光掩膜（3）通过安装机构设置在晶圆（2）上侧；所述安装机构设置在平面光源（4）上侧，所述安装机构包括后滑轨（61）、前滑轨（62）、前滑块（63）和后滑块（64），所述后滑轨（61）设置在平面光源（4）上端面后侧，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张亚运，
申请(专利权)人：常州雷射激光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32