【技术实现步骤摘要】
正位装置
本技术是有关于一种正位装置,尤其是一种以敲击震动的方式,将一物体正确放置于一承载盘的正位装置。
技术介绍
集成电路使用于多种电子产品的中,例如个人电脑、手机、数位相机、以及其它电子设备。上述集成电路为半导体晶圆切割而成的多个晶粒,在经过半导体封装制程后,可以使用于不同的电子产品中。当半导体晶圆切割成多个晶粒时,通常会利用具有真空吸嘴的机器手臂,将多个晶粒进行搬移并放置于晶粒承载盘上,在移动至其它的制程设备。参阅图1,为一物体A放置于一承载盘2的态样,该承载盘2包括一主体21,及多个设置于该主体21的凹槽22。一般设置于机器手臂上的真空吸嘴(图中未示出),是以真空吸力将物体A吸住,以达到搬移的作用。其中,置入该承载盘2的凹槽22中,但以吸嘴吸取物体A时有机会发生位置偏移的状态,造成该承载盘2上会有因为放置的位置偏移,而导致该物体A与该承载盘2表面产生碰触或接触,而产生无法正确置入该凹槽22的物体B。当该承载盘2上具有未正确置入该凹槽22的物体B时,将影响后续半导体的制造流程,例如无法再将该物体B由该凹槽22拿取的情况,甚至可能产生无法预期的损失。由上述说明 ...
【技术保护点】
一种正位装置,其特征在于,包含:一正位单元,包括一用以产生震动的正位组件,该正位组件具有一可产生一冲程的气压缸、一提供该气压缸的气压的高压气瓶,及一控制该气压缸的电磁阀。
【技术特征摘要】
1.一种正位装置,其特征在于,包含:一正位单元,包括一用以产生震动的正位组件,该正位组件具有一可产生一冲程的气压缸、一提供该气压缸的气压的高压气瓶,及一控制该气压缸的电磁阀。2.依据权利要求1所述的正位装置,其特征在于,该正位组件还具有一与该电磁阀连接的消音器。3.依据权利要求2所述的正位装置,其特征在于,还包含一承载单元,该承载单元包括一承载主体,该正位组件具有一用以震动该承载主体的磁动式马达。4.依据权利要求3所述的正位装置,其特征在于,该正位组件还具有一控制该磁动式马达震动的马达控制器。5.依据权利要求4所述的正位装置,其特征在于,该承载单元包括至少一用以放置一物体的承载凹槽,该承载主体具有一主体表面,该承载凹槽具有一自该主体表面向下延伸的凹槽侧面、一将该...
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