工作台装置、定位装置、平板显示器制造装置以及精密机械制造方法及图纸

工作台装置包括对工作台施加第1轴线方向上的力的第1驱动装置和对工作台施加第2轴线方向上的力的第2驱动装置。第1驱动装置具有：第1驱动器，其能产生用于使工作台沿第1轴线方向移动的动力；以及第1可动构件，其通过第1驱动器的工作而沿着与第1轴线平行的第1驱动轴线移动。第1可动构件包含：第1直线轴承，其沿着第1驱动轴线移动；第1旋转轴承，其配置在固定于第1直线轴承的第1杆构件的周围，并能够相对于第1杆构件相对旋转；以及第2直线轴承，其连接于第1旋转轴承，并被固定于工作台的第1轴线方向上的端部的第2引导构件沿第2轴线方向引导。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工作台装置、定位装置、平板显示器制造装置以及精密机械
本专利技术涉及工作台装置、定位装置、平板显示器制造装置以及精密机械。
技术介绍
在器件的制造工序或器件的测量工序中，使用具有用于支承工件的工作台的工作台装置。工作台装置使工作台移动而对支承于工作台的工件进行定位。公知有一种如专利文献1和专利文献2所公开那样的、能够使工作台沿X轴方向、Y轴方向、以及θZ方向这3个方向移动的工作台装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012－112715号公报专利文献2：日本特开2015－117958号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在能够沿3个方向移动的工作台中，若该工作台的定位精度不足，则所制造的器件的性能有可能降低。因此，希望一种能够抑制可沿3个方向移动的工作台的定位精度的不足的技术。本专利技术的技术方案的目的在于提供能够抑制定位精度的不足的工作台装置、定位装置、平板显示器制造装置以及精密机械。用于解决问题的方案根据本专利技术的第1技术方案，提供一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：基座构件，其具有引导面；工作台，其支承于所述基座构件，能够以第1轴线方向、第2轴线方向、工作台中心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：基座构件，其具有引导面；工作台，其支承于所述基座构件，能够以第1轴线方向、第2轴线方向、工作台中心轴线为中心旋转，该第1轴线方向平行于与所述引导面平行的规定面内的第1轴线，该第2轴线方向平行于所述规定面内的与所述第1轴线正交的第2轴线，该工作台中心轴线平行于与所述规定面正交的第3轴线；第1驱动装置，其用于对所述工作台施加所述第1轴线方向上的力；以及第2驱动装置，其用于对所述工作台施加所述第2轴线方向上的力，所述第1驱动装置具有：第1驱动器，其支承于所述基座构件，能产生用于使所述工作台沿所述第1轴线方向移动的动力；以及第1可动构件，其与所述工作台相连结，通...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.30 JP 2015-150568;2016.01.12 JP 2016-003421.一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：基座构件，其具有引导面；工作台，其支承于所述基座构件，能够以第1轴线方向、第2轴线方向、工作台中心轴线为中心旋转，该第1轴线方向平行于与所述引导面平行的规定面内的第1轴线，该第2轴线方向平行于所述规定面内的与所述第1轴线正交的第2轴线，该工作台中心轴线平行于与所述规定面正交的第3轴线；第1驱动装置，其用于对所述工作台施加所述第1轴线方向上的力；以及第2驱动装置，其用于对所述工作台施加所述第2轴线方向上的力，所述第1驱动装置具有：第1驱动器，其支承于所述基座构件，能产生用于使所述工作台沿所述第1轴线方向移动的动力；以及第1可动构件，其与所述工作台相连结，通过所述第1驱动器的工作而沿着与所述第1轴线平行的第1驱动轴线移动，所述第2驱动装置具有：第2驱动器，其支承于所述基座构件，能产生用于使所述工作台沿所述第2轴线方向移动的动力；以及第2可动构件，其与所述工作台相连结，通过所述第2驱动器的工作而沿着与所述第2轴线平行的第2驱动轴线移动，所述第1驱动装置以所述工作台中心轴线的所述第2轴线方向上的位置和所述第1驱动轴线的所述第2轴线方向上的位置一致的方式仅设置有1个，所述第2驱动装置以所述工作台中心轴线的所述第1轴线方向上的位置和所述第2驱动轴线的所述第1轴线方向上的位置不同的方式设置有至少两个，所述第1可动构件包含：第1直线轴承，其被设于所述基座构件的第1引导构件引导而沿着所述第1驱动轴线移动；第1旋转轴承，其配置在固定于所述第1直线轴承的第1杆构件的周围，并能够以与所述第3轴线平行的第1杆中心轴线为中心相对于所述第1杆构件相对旋转；以及第2直线轴承，其连接于所述第1旋转轴承，并被固定于所述工作台的所述第1轴线方向上的端部的第2引导构件沿所述第2轴线方向引导。2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，所述第2可动构件包含：第3直线轴承，其被设于所述基座构件的第3引导构件引导而沿着所述第2驱动轴线移动；第2旋转轴承，其配置在固定于所述第3直线轴承的第2杆构件的周围，并能够以与所述第3轴线平行的第2杆中心轴线为中心相对于所述第2杆构件相对旋转；以及第4直线轴承，其连接于所述第2旋转轴承，并被固定于所述工作台的所述第2轴线方向上的端部的第4引导构件沿所述第1轴线方向引导。3.根据权利要求1或2所述的工作台装置，其中，所述第2驱动装置连接于所述工作台的所述第2轴线方向上的一个端部，所述工作台装置具有：第5直线轴承，其被设于所述基座构件的第5引导构件引导而沿所述第2轴线方向移动；第3旋转轴承，其配置在固定于所述第5直线轴承的第3杆构件的周围，并能够以与所述第3轴线平行的第3杆中心轴线为中心相对于所述第3杆构件相对旋转；以及第6直线轴承，其连接于...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村刚，仓持尚史，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP