低温流体供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其包含一储存单元、一传输单元、一侦测单元，及一控制单元；储存单元包括数个储存槽体，用以储存该流体；该传输单元包括数个分别与该数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于该数个储存槽体的流体输出至该装置；侦测单元包括数个测压组件，用以分别侦测储存于该数个储存槽体的流体的压力；控制单元包括一与该数个测压组件电连接的控制器，及数个与该控制器电连接的阀体构件，该数个阀体构件分别设置于该数个传输管件，以控制该数个传输管件中的流体是否对外输出；通过本技术方案，可维持该流体的供应量，使该装置不间断地接收该流体。

【技术实现步骤摘要】
低温流体供应装置
本技术是有关于一种流体供应装置，尤其是关于一种低温流体供应装置。
技术介绍
半导体产品出货前，会进行许多测试，以确认半导体产品转交给消费者后，能否正常工作。其中，环境测试是不可避免的测试项目。上述环境测试项目中，具有一低温环境测试，是将环境温度大幅降低，甚至将温度降低至零下50～100度以下，再对该半导体产品进行电子测试、外观检测等多种测试，以确认该半导体产品是否耐寒。上述产生低温技术如使用压缩机来降低温度，将会耗费大量电力，甚至无法将环境温度下降至所需温度。因此目前都以注入液态氮(LN2，LiquidNitrogen)的方式，来快速产生低温的环境温度，以使测试装置于低温环境对该半导体产品进行测试制程。但是液态氮的使用会产生更换空瓶的问题，当空的容器卸下，再设置装填液态氮的容器的期间，是无法产生低温环境，并且无法对该半导体产品进行低温测试，对于制程紧凑的半导体制程，无疑是一项制程的损失。因此，如何将低温环境持续维持，进一步提升半导体产品的低温测试的产量，避免造成半导体制程的损失，是相关技术人员亟需努力的目标。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的一目的是在于提供一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其包含一储存单元、一传输单元、一侦测单元，及一控制单元。该储存单元包括数个储存槽体，用以储存该流体。该传输单元包括数个分别与该数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于该数个储存槽体的流体输出至该装置。该侦测单元包括数个测压组件，用以分别侦测储存于该数个储存槽体的流体的压力。该控制单元包括一与该数个测压组件电连接的控制器，及数个与该控制器电连接的阀体构件，该数个阀体构件分别设置于该数个传输管件，以控制该数个传输管件中的流体是否对外输出。本技术的又一技术手段，是在于上述的低温流体供应装置还包含一移动单元，该移动单元包括一移动平台，用以承载该数个储存槽体。本技术的另一技术手段，是在于上述的移动单元还包括一加热构件，用以对该数个储存槽体加热。本技术的再一技术手段，是在于上述的控制单元还包括一与该控制器电连接的警示构件，以显示该数个储存槽体储存该流体的状态。本技术的又一技术手段，是在于上述的传输单元还包括数个压力调整构件，用以分别控制该数个传输管件对外输出的流体的压力。本技术的另一技术手段，是在于上述的移动单元还包括一设置于该移动平台的手握构件。本技术的再一技术手段，是在于上述的移动单元还包括至少一与该移动平台连接的承载台。本技术的又一技术手段，是在于上述的移动单元还包括至少一设置于该移动平台与该承载台之间的管路通孔。本技术的另一技术手段，是在于上述的控制器具有一信息收发模块。本技术的再一技术手段，是在于上述的传输管件的材质为黄铜。本技术的有益功效在于，该数个测压组件以压力来侦测该数个储存槽体中的流体的储存量，自动将空的储存槽体切换成装满该流体的储存槽体，以维持该流体的供应量，使该装置不间断地接收该流体。附图说明图1是本技术低温流体供应装置的一较佳实施例的连接形态的示意图；图2是图1所示的较佳实施例的一控制单元的示意图；图3是图1所示的较佳实施例的一移动单元的示意图。图中符号表示：2流体；3装置；4储存单元；41储存槽体；5传输单元；51传输管件；52压力调整构件；6侦测单元；61测压组件；7控制单元；71控制器；711信息收发模块；72阀体构件；73警示构件；8移动单元；81移动平台；82加热构件；83手握构件；84承载台；85管路通孔。具体实施方式有关本技术的相关申请专利特色与
技术实现思路
，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将清楚地呈现。参阅图1、2、3所示，为本技术一种低温流体供应装置的一较佳实施例，包含一储存单元4、一传输单元5、一侦测单元6、一控制单元7，及一移动单元8。该较佳实施例适用于持续供应一流体2至一装置3，其中，该流体2为液态氮(LN2，LiquidNitrogen)，该装置3为使用该流体2的设备机台。较佳地，该装置3可以是半导体低温环境的测试设备，具有温控及流控的技术。实际实施时，该流体2及该装置3可以使用其它的低温流体设备，不应以此为限。该储存单元4包括数个储存槽体41，用以储存该流体2，在该较佳实施例中，该数个储存槽体41的数量为3个，实际实施时，应以实际状况来设定该数个储存槽体41的数量，不应以此为限。该传输单元5包括数个分别与该数个储存槽体41连接的传输管件51，及数个压力调整构件52。该传输管件51的材质为黄铜，可以抵抗低温的流体2，避免该传输管件51的结构改变，进一步将储存于该数个储存槽体41的流体2输出至该装置3。该传输管件51伸入该数个储存槽体41的容置空间的底端，以使输出的流体2为液体形态。该数个压力调整构件52为一种压力调压阀，用以分别控制该数个传输管件51对外输出的流体2的压力，进一步控制进入该装置3的流体2的压力。该侦测单元6包括数个测压组件61，用以分别侦测储存于该数个储存槽体41的流体2的压力，为液态氮的流体2会吸收温度转变成气体，而气态氮体积会增加，造成填充有该流体2的储存槽体41内的压力大于外界压力，当该数个储存槽体41中所储存的流体2输出后，该储存槽体41的流体2的压力降低，因此侦测该数个储存槽体41的流体2的压力，即可了解该数个储存槽体41所储存流体2的存量。该控制单元7包括一与该数个测压组件61电连接的控制器71、数个与该控制器71电连接的阀体构件72，及一与该控制器71电连接的警示构件73。该数个阀体构件72为低温电磁阀，分别设置于该数个传输管件51，以控制该数个传输管件51中的流体2是否对外输出。该控制器71可以分析该数个测压组件61的信息，判断该数个储存槽体41中的流体2的储存量，再控制该数个阀体构件72，以控制该数个储存槽体41的输出状况。举例来说，当其中的一储存槽体41的流体2用光时，用以侦测该储存槽体41的测压组件61因该流体2用光而侦测到压力下降，该控制器71将控制该储存槽体41的阀体构件72关闭，再开启另一压力值符合的储存槽体41的阀体构件72，以持续供应该装置3的流体2。该警示构件73用以显示该数个储存槽体41储存该流体2的状态。较佳地，该警示构件73是以数个灯号分别显示该数个储存槽体41的储存量，其中，可以使用数个绿灯来分别表示该数个储存槽体41的内部压力正常，再以数个红灯来分别表示该数个储存槽体41的内部压力过小，已无该流体2储存于其中，并以数个黄灯来分别表示目前供应该装置3的储存槽体41。实际实施时，可以面板来加以显示，不应以此为限。除此之外，当切换供应的储存槽体41时，可以蜂鸣器对外发出警示信息，以提醒技术人员，该控制器71设有复归按钮，以解除警示信息。该移动单元8包括一移动平台81、一加热构件82、一设置于该移动平台81的手握构件83、至少一与该移动平台81连接的承载台84，及至少一设置于该移动平台81与该承载台84之间的管路通孔85。该移动平台81可具有数个支撑杆，及数个设置于移动平台81底端的移动轮，该数个支撑杆一体成形，用以承载该数个储存槽体41。该加热构件82设置于该移动平台81中，用以对放置于该移动平台81的数个储存本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其特征在于，包含：一储存单元，包括数个储存槽体，用以储存所述流体；一传输单元，包括数个分别与所述数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于所述数个储存槽体的流体输出至所述装置；一侦测单元，包括数个测压组件，用以分别侦测储存于所述数个储存槽体的流体的压力；及一控制单元，包括一与所述数个测压组件电连接的控制器，及数个与所述控制器电连接的阀体构件，所述数个阀体构件分别设置于所述数个传输管件，以控制所述数个传输管件中的流体是否对外输出。

【技术特征摘要】
1.一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其特征在于，包含：一储存单元，包括数个储存槽体，用以储存所述流体；一传输单元，包括数个分别与所述数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于所述数个储存槽体的流体输出至所述装置；一侦测单元，包括数个测压组件，用以分别侦测储存于所述数个储存槽体的流体的压力；及一控制单元，包括一与所述数个测压组件电连接的控制器，及数个与所述控制器电连接的阀体构件，所述数个阀体构件分别设置于所述数个传输管件，以控制所述数个传输管件中的流体是否对外输出。2.依据权利要求1所述的低温流体供应装置，其特征在于，还包含一移动单元，包括一移动平台，用以承载所述数个储存槽体。3.依据权利要求2所述的低温流体供应装置，其特征在于，其中，所述移动单元还包括一加热构件，用以对所述数个储存槽体加热。4.依据权利要求3所述的低温流体供应装置，其特征在于，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯盈甫，
申请(专利权)人：侯盈甫，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71