低温流体供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其包含一储存单元、一传输单元、一侦测单元，及一控制单元；储存单元包括数个储存槽体，用以储存该流体；该传输单元包括数个分别与该数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于该数个储存槽体的流体输出至该装置；侦测单元包括数个测压组件，用以分别侦测储存于该数个储存槽体的流体的压力；控制单元包括一与该数个测压组件电连接的控制器，及数个与该控制器电连接的阀体构件，该数个阀体构件分别设置于该数个传输管件，以控制该数个传输管件中的流体是否对外输出；通过本技术方案，可维持该流体的供应量，使该装置不间断地接收该流体。

【技术实现步骤摘要】
低温流体供应装置
本技术是有关于一种流体供应装置，尤其是关于一种低温流体供应装置。
技术介绍
半导体产品出货前，会进行许多测试，以确认半导体产品转交给消费者后，能否正常工作。其中，环境测试是不可避免的测试项目。上述环境测试项目中，具有一低温环境测试，是将环境温度大幅降低，甚至将温度降低至零下50～100度以下，再对该半导体产品进行电子测试、外观检测等多种测试，以确认该半导体产品是否耐寒。上述产生低温技术如使用压缩机来降低温度，将会耗费大量电力，甚至无法将环境温度下降至所需温度。因此目前都以注入液态氮(LN2，LiquidNitrogen)的方式，来快速产生低温的环境温度，以使测试装置于低温环境对该半导体产品进行测试制程。但是液态氮的使用会产生更换空瓶的问题，当空的容器卸下，再设置装填液态氮的容器的期间，是无法产生低温环境，并且无法对该半导体产品进行低温测试，对于制程紧凑的半导体制程，无疑是一项制程的损失。因此，如何将低温环境持续维持，进一步提升半导体产品的低温测试的产量，避免造成半导体制程的损失，是相关技术人员亟需努力的目标。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的一目的是在于提供一种低温流体供应本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其特征在于，包含：一储存单元，包括数个储存槽体，用以储存所述流体；一传输单元，包括数个分别与所述数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于所述数个储存槽体的流体输出至所述装置；一侦测单元，包括数个测压组件，用以分别侦测储存于所述数个储存槽体的流体的压力；及一控制单元，包括一与所述数个测压组件电连接的控制器，及数个与所述控制器电连接的阀体构件，所述数个阀体构件分别设置于所述数个传输管件，以控制所述数个传输管件中的流体是否对外输出。

【技术特征摘要】
1.一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其特征在于，包含：一储存单元，包括数个储存槽体，用以储存所述流体；一传输单元，包括数个分别与所述数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于所述数个储存槽体的流体输出至所述装置；一侦测单元，包括数个测压组件，用以分别侦测储存于所述数个储存槽体的流体的压力；及一控制单元，包括一与所述数个测压组件电连接的控制器，及数个与所述控制器电连接的阀体构件，所述数个阀体构件分别设置于所述数个传输管件，以控制所述数个传输管件中的流体是否对外输出。2.依据权利要求1所述的低温流体供应装置，其特征在于，还包含一移动单元，包括一移动平台，用以承载所述数个储存槽体。3.依据权利要求2所述的低温流体供应装置，其特征在于，其中，所述移动单元还包括一加热构件，用以对所述数个储存槽体加热。4.依据权利要求3所述的低温流体供应装置，其特征在于，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯盈甫，
申请(专利权)人：侯盈甫，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71