硅片上片自动预定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片上片自动预定位装置，所述定位夹具沿传送带两侧均匀间隔设置，且相对于该传送带对称分布；每个定位夹具包括托板以及垂直设置于该托板上的上下边定位夹块和左右边定位夹块，所述上下边定位夹块和左右边定位夹块的设置方向分别与硅片的上下边及左右边平行，所述托板、上下边定位夹块和左右边定位夹块围成一个或左右对称的一对定位槽，所述定位槽槽壁均为斜面，用于承载硅片四角；所述升降机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做垂直升降动作，所述平移机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做靠近或远离的平移动作。本实用新型专利技术可实现待吸取硅片的精确稳定预定位，自动化程度高，节省了等待时间，缩短了工艺流程。

Automatic pre positioning device for silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
硅片上片自动预定位装置
本技术涉及硅片定位装置，特别涉及一种用于硅片上片自动预定位装置，属于太阳能硅片生产自动化设备领域。
技术介绍
为了提高晶体硅太阳电池的效率，通常需要减少太阳电池表面的反射，还需要对硅片表面进行钝化处理，以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。板式PECVD系统即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上(碳框载板)，放入板式PECVD主工艺机内将SiNx分子沉积到硅片表面，SiNx膜被制备在硅表面上起到钝化作用，以减少表面对可见光的反射。未经PECVD工艺处理的硅片需通过吸盘自传送带准确转移并放入碳框载板，以实现硅片的自动上片。而硅片在传送带上是否处于正确位置，将极大地影响吸盘能否正确吸住吸盘，并精准地放入装入碳框。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本申请人进行研究及改进，提供一种硅片上片自动预定位装置，该装置可实现待吸取硅片的精确稳定预定位，自动化程度高，可节省等待时间，缩短工艺流程。为了解决上述问题，本技术采用如下方案：硅片上片自动预定位装置，包括定位夹具、升降机构和平移机构，所述定位夹具沿传送带两侧均匀间隔设置，且相对于该传送带对称分布；每个定位夹具包括托本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅片上片自动预定位装置，包括定位夹具、升降机构和平移机构，其特征在于：所述定位夹具沿传送带两侧均匀间隔设置，且相对于该传送带对称分布；每个定位夹具包括托板以及垂直设置于该托板上的上下边定位夹块和左右边定位夹块，所述上下边定位夹块和左右边定位夹块的设置方向分别与硅片的上下边及左右边平行，所述托板、上下边定位夹块和左右边定位夹块围成一个或左右对称的一对定位槽，所述定位槽槽壁均为斜面，用于承载硅片四角；所述升降机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做垂直升降动作，所述平移机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做靠近或远离的平移动作。

【技术特征摘要】
1.硅片上片自动预定位装置，包括定位夹具、升降机构和平移机构，其特征在于：所述定位夹具沿传送带两侧均匀间隔设置，且相对于该传送带对称分布；每个定位夹具包括托板以及垂直设置于该托板上的上下边定位夹块和左右边定位夹块，所述上下边定位夹块和左右边定位夹块的设置方向分别与硅片的上下边及左右边平行，所述托板、上下边定位夹块和左右边定位夹块围成一个或左右对称的一对定位槽，所述定位槽槽壁均为斜面，用于承载硅片四角；所述升降机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做垂直升降动作，所述平移机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做靠近或远离的平移动作。2.如权利要求1所述的硅片上片自动预定位装置，其特征在于：用于同一片硅片四角定位的四个所述定位槽槽底边连线形成的正方形边长比硅片边长短1mm。3.如权利要求1所述的硅片上片自动预定位装置，其特征在于：所述斜面与槽底面之间的夹角为120°。4.如权利要求1所述的硅片上片自动预定位装置，其特征在于：所述定位槽斜面连接处开设有让位孔，用于容纳硅片的四角顶端部分。...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32