一种用于光谱设备的光束精确校准辅助装置制造方法及图纸

技术编号:8531006 阅读:234 留言:0更新日期:2013-04-04 13:00
本发明专利技术公开了一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置,它由一个能适应多种光路的空间调整机构和反射镜支撑装置组成空间位置调整机构,由两块可旋转角度反射镜和一块可变光程固定角度反射镜组成V型光路调整机构。该装置能保证不改变原光路传播方向,增加样品表面反射光到达探测器之间的光程,从而提高光谱设备光路校准的准确度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学仪器校准辅助装置,特别是反射式光谱设备检测前的光强校准。
技术介绍
目前,各类光谱设备成为各类光学性能检测重要手段之一,这些检测设备包含傅里叶变换光谱仪、椭偏仪等。它们都是由光源、分光设备、探测器等几个部分构成。反射式光谱设备基本原理如图1所示,光束经过光源和分束器之后,与被检测样品作用之后进入到探测器中。检测前后光强变化为数据检测的依据。图1中光路2的检测器响应与光束覆盖图示由图2给出。通常情况下,入射光束光斑形状不可能与探测器光阑完全重合,此外样品的大小和厚度均会对入射光束光斑与探测器光阑重合度造成影响,因此需要在每次使用前进行准直,尽量保证检测器响应相应最大化。各类检测器响应与光束覆盖探测器探头面积有关,光束覆盖检测器上面积越大,则检测器所响应的光强越大,测试准确度越高。而现今某些光谱设备日益趋向集成化、小型化,导致光源与检测器之间有效距离(图1中光路2)过短,人眼和手动校准操作时产生的准确度下降。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述技术上的不足,提供了 一种用于提高光谱检测设备光束校准准确度辅助装置。用于保证各种光路情况下,不改变入射光束的传播方向,仅仅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置,包括第一竖直方向调节机构(1),第二竖直方向调节机构(2),第一水平方向调整机构(10),第二水平方向上调整机构(11)和用于放置整个反射镜光路元件和滑轨的反射镜支撑装置(9),其特征在于:在所述第一竖直方向调节机构(1)和第二竖直方向调节机构(2)上垂直放置第一水平调节机构(10)和第二水平调节机构(11),其上下高度位置可调,以满足不同光路高度位置调整的需要;在所述第一水平调节机构(10)和第二水平调节机构(11)上放置所述反射镜支撑装置(9),所述反射镜支撑装置(9)在第一水平调节机构(10)和第二水平调节机构(11)上水平位置可调,以满足不同光路...

【技术特征摘要】
1.一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置,包括第一竖直方向调节机构(I),第二竖直方向调节机构(2),第一水平方向调整机构(10),第二水平方向上调整机构(11)和用于放置整个反射镜光路元件和滑轨的反射镜支撑装置(9),其特征在于在所述第一竖直方向调节机构(I)和第二竖直方向调节机构(2 )上垂直放置第一水平调节机构(10)和第二水平调节机构(11 ),其上下高度位置可调,以满足不同光路高度位置调整的需要;在所述第一水平调节机构(10)和第二水平调节机构(11)上放置所述反射镜支撑装置 (9),所述反射镜支撑装置(9)在第一水平调节机构(10)和第二水平调节机构(11)上水平位置可调,以满足不同光路水平位置调整需要;在所述反射镜支撑装置(9 )...

【专利技术属性】
技术研发人员:周明刘定权蔡清元张莉
申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
类型:发明
国别省市:

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