The invention provides a wafer testing system, including a probe station, used to get the current position coordinates, and the test results are displayed; workstation for the current position and start the test instructions sent to the testing machine, test results and acceptance testing machine; testing machine, according to the current position coordinate test probe station; receiver for receiving test results; probe station transmitter for transmitting location coordinates to the workstation workstation; receiver for receiving test results of position coordinates of probe station and testing machine; work station transmitter for transmitting position coordinates to the testing machine, testing machine to send test start command and sending probe test results test machine for testing; the transmitter to send the test machine station; receiver for receiving test means It saves space and reduces wiring difficulty.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试系统
本专利技术涉及半导体领域,尤其涉及一种晶圆测试系统。
技术介绍
集成电路在晶圆测试时,工作站、测试机和探针台是一个整体,工作站、测试机和探针台之间需要接收对方发来的指令并且还需发送指令给对方,它们之间需要通过各自的连线达到通讯的目的,工作站和测试机之间需要通过PCI接口相互连接,工作站和探针台之间需要通过GPIO接口相互连接,它们都是通过实体的线在两者之间连接,实体线必然会受到线本身长度的影响,太短可能无法接上相应的接口,太长又容易被外力影响导致松动等问题,并且需要考虑生产车间的实际布局需求。现有技术一:工作站和测试机通过PCI接口连接参考图1,工作站全程控制测试程序的运作,测试机进行测试并且返还给工作站检测的结果,所以它们之间需要通讯。测试机上都有一块专门的硬件板是负责通讯的,上面有PCI接口,通过实体线连接到工作站上,达到两者之间的通讯。一旦在测试工程中这个线脱落了或损坏了,操作人员很难发现问题,造成测试时间的浪费,并且线的长度决定了两者的空间布局。现有技术二:工作站和探针台通过GPIO接口连接继续参考图1,工作站需要控制探针台的移动,并且探针台也需要告诉工作站测试的芯片坐标,来完成数据,所以它们之间需要通过GPIB线来达到通讯的目的。GPIB线不宜过长,不宜弯曲,否则会导致通讯不上的问题,一旦损坏,更换比较麻烦,因为探针台的GPIB接口是比较隐蔽的。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种晶圆测试系统,节省空间和降低了布线难度。一种晶圆测试系统,包括:探针台,用于得到当前位置坐标,并将测试结果进行显示;工作站,用于将所述 ...
【技术保护点】
一种晶圆测试系统,其特征在于,包括:探针台,用于得到当前位置坐标,并将测试结果进行显示;工作站,用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机,并接收测试机的测试结果;测试机,用于根据当前位置坐标开始测试;探针台接收器,用于接收测试结果;探针台发送器,用于向工作站发送位置坐标;工作站接收器,用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果;工作站发送器,用于向测试机发送位置坐标,向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果;测试机发送器,用于向工作站发送测试结果;测试机接收器,用于接收位置坐标和测试开始指令。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试系统,其特征在于,包括:探针台,用于得到当前位置坐标,并将测试结果进行显示;工作站,用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机,并接收测试机的测试结果;测试机,用于根据当前位置坐标开始测试;探针台接收器,用于接收测试结果;探针台发送器,用于向工作站发送位置坐标;工作站接收器,用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果;工作站发送器,用于向测试机发送位置坐标,向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果;测试机发送器,用于向工作站发送测试结果;测试机接收器,用于接收位置坐标和测试开始指令。2.根据权利要求1所述的晶圆测试系统,其特征在于,所工作站发送器、探针台发送器和测试机发送器为无线发送器。3.根据权利要求2所述的晶圆测试系统,其特征在于,所工作站发送器、探针台发...
【专利技术属性】
技术研发人员:王玉龙,张志勇,祁建华,方华,牛勇,
申请(专利权)人:上海华岭集成电路技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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