【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种晶圆的测试设备，具体地说是一种通过负压吸附的方式对晶圆在观B式时实现固定的测试台晶圆吸盘装置。技术背景目前，在晶圆测试领域，目前普遍采用的测试机与测试方法是手动测试 或半自动测试。手动测试为人工放置每一片晶圆，用光学显微镜对准每个管芯后手动测试，效率低下而且使得测试精度较低；半自动测试是人工把晶圆 放置在测试台上，再通过光学显微镜扫描，手动调整晶圆的角度和第一个管 芯的位置。调整好后再依次测试晶圆上的每个管芯。测试完每片晶圆后人工 把晶圆放回晶圆片盒内，再取出下一个晶圆重复上述测试过程。如此人工操 作大大增加了晶圆测试的时间，势必也增加了测试成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种晶圆的固定与拆 卸都很方便、可以大大縮短测试时间、提高测试效率并且可以降低测试成本 的测试台晶圆吸盘装置。按照本专利技术提供的技术方案，在负压吸盘与隔热盘之间设置有加热器， 在负压吸盘上表面设有若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的 负压气孔，在负压吸盘上设有负压气管接头，所述的负压气管接头与负压气 孔连通，在负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器与隔热盘的卸料孔。所述负压气槽为负压吸盘上表面开设的同心圆槽体。卸料孔为三个或者 三个以上，它们均匀地布置在相邻两负压气槽之间。在负压吸盘与加热器之 间设有热缓冲盘。所述热缓冲盘由热固性塑料DMC制成。在加热器与隔热 盘之间设有盖板。在负压吸盘的下表面设有向隔热盘伸出的下凸环，相应地 在隔热盘上表面设有向负压吸盘伸出的上凸环，下凸环的下端面与上凸环上 端面接触并将加热器、热缓冲...
【技术保护点】
一种测试台晶圆吸盘装置，包括设置在负压吸盘（１）与隔热盘（２）之间的加热器（３），其特征是：在负压吸盘（１）的上表面设有若干负压气槽（４），在负压吸盘（１）内设有与负压气槽（４）连通的负压气孔（５），在负压吸盘（１）上设有负压气管接头（６），所述的负压气管接头（６）与负压气孔（５）连通，在负压吸盘（１）上设有贯穿负压吸盘（１）、加热器（３）与隔热盘（２）的卸料孔（７）。
【技术特征摘要】
1、一种测试台晶圆吸盘装置，包括设置在负压吸盘(1)与隔热盘(2)之间的加热器(3)，其特征是在负压吸盘(1)的上表面设有若干负压气槽(4)，在负压吸盘(1)内设有与负压气槽(4)连通的负压气孔(5)，在负压吸盘(1)上设有负压气管接头(6)，所述的负压气管接头(6)与负压气孔(5)连通，在负压吸盘(1)上设有贯穿负压吸盘(1)、加热器(3)与隔热盘(2)的卸料孔(7)。2、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是所述负压气槽 (4)为负压吸盘(1)上表面开设的同心圆槽体。3、 如权利要求l所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是卸料孔(7) 为三个或者三个以上，它们均匀地布置在相邻两负压气槽(4)之间。4、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，孙盘泉，戴京东，陈仲宇，
申请(专利权)人：无锡市易控系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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