探针台MAP文件转换方法技术

本发明专利技术提供一种JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件的方法。JC6001是集成电路晶圆测试探针台的一种，UF200则是更通用的探针台机型，为了使两种机型能够相互识别各自的测试结果，本发明专利技术实现了两种格式MAP图的互相转换，尤其是解决了JC6001到UF200的MAP图转换的诸多难点。

Probe table MAP file conversion method

The present invention provides a method for converting an JC6001 probe station MAP file to an MAP file of a UF200 probe. JC6001 is an integrated circuit wafer test probe station, UF200 is more general probe models, in order to make the two kinds of models to their mutual recognition of test results, the invention realizes the mutual conversion of two kinds of MAP format map, especially to solve many difficult problems for MAP conversion of JC6001 to UF200 of the map.

【技术实现步骤摘要】
探针台MAP文件转换方法
本专利技术涉及一种JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件的方法，属于集成电路测试

技术介绍
晶圆测试和打点是两道最关键的工序，Map图不仅记录着管芯的好与坏还记载着被测管芯的其它测试状态信息；由于国际上还没有制定探针台的Map图格式文件通用标准，所以不同类型的探针台生成的Map图格式及信息存在差异，探针台之间也不能相互读取。BIN值通常作为管芯的测试结果分类属性，例如，BIN1为PASS管芯、BIN2为漏电流失效、BIN3为功能失效等。JC6001晶圆探针台是国内自主研发的，UF200探针台是日本东京精密公司制造的，为业内主流的探针台；两种类型探针台同时运行在测试生产线上，鉴于测试生产项目的需求，一款产品经常需要两种探针台参与测试，会生成不同格式的两种Map图，不能相互读出，一款被测产品自始至终只能选择同一类型探针台进行测试，常常出现设备调度难题，严重影响着生产线的产量。一种机型测试后，可以到另外一种机型进行打点，这样可以合理利用不同机型的优势，极大提高了设备利用率和效率，所以两探针台的MAP格式转换是当务之需。JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件是本领域技术人员亟待解决的关键技术问题之一。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件的方法；本专利技术的技术解决方案包括如下步骤：JC6001探针台格式的MAP文件只含有各测试管芯的坐标信息及其BIN值，因此转换为UF200探针台格式的MAP图最大的难点是缺失UF200机台所需的诸多信息。考虑到本专利技术实现JC6001到UF200格式转换的目的主要是把JC6001的测试结果转换为UF200可以识别的格式，以便快速打点，因此本专利技术可以直接基于一个UF200的基础模板进行转换，UF200基础模板含有待打点晶圆的完整信息，只需更新MAP文件中管芯的坐标位置与测试BIN值、及测试结果统计有关的信息到基础模板，便可以形成所需的UF200测试文件。转换步骤如下：步骤一：复制UF200探针台MAP基础模板(注：MAP文件)步骤二：通过转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；步骤三：依次将JC6001各管芯信息转换到复制模板文件；步骤四：更新模板文件中统计信息，如总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量等；进一步地，完成步骤三转换完所有管芯信息后，更新程序结构中变量wTotalTestedDie(总管芯数)，wTotalPassDie(良品数)，wTotalFailDie(失效管芯数)等；进一步地，由于JC6001与UF200坐标设定的不同，因此需要在转换前指定两型号探针台各自特征点的坐标，转换时输入两个探针台MAP文件坐标的特征点；特征点一般为晶圆光板处。进一步地，JC6001探针台与UF200探针台的MAP文件BIN值定义有所不同，在界面上输入Pass的BIN值。附图说明下面结合附图和具体实施方案对本专利技术做进一步说明：图1流程图图2操作界面具体实施方式下面就本专利技术将结合附图作进一步详述：在此，本专利技术的示意性实施实例及其说明仅限于用于解释，但并不作为对本专利技术的限定。JC6001格式的MAP文件只含有各测试管芯的坐标信息及其BIN值，因此转换为UF200格式的MAP图最大的难点是缺失UF200机台所需的诸多信息。考虑到本专利技术实现JC6001到UF200格式转换的目的主要是把JC6001的测试结果转换为UF200可以识别的格式，以便快速打点，因此本专利技术可以直接基于一个UF200的基础模板进行转换，基础模板含有待打点晶圆的完整信息，更新的管芯的坐标位置与测试BIN值、及测试结果统计有关的信息到基础模板，便可以形成所需的UF200测试文件。实施流程图见图1。步骤一是复制UF200探针台基础模板：UF200探针台MAP基础模板文件开头结构关键变量如下：步骤二是由转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；界面选择如图2；步骤三是依次将JC6001各管芯信息转换到复制模板文件；步骤四是更新模板文件中统计信息，如总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量等；转换完所有管芯后，更新程序结构中变量wTotalTestedDie，wTotalPassDie，wTotalFailDie等。(注：本结构是2.0版本，更高版本含有扩展信息)；由于JC6001与UF200坐标设定的不同，因此需要在转换前指定两个型号探针台各自特征点的坐标，转换时需进行坐标转换，特征点一般为晶圆光板处。JC6001与UF200的MAP文件BIN值定义有所不同，在界面上输入Pass的BIN值，以使转换后的文件正确，标准是各管芯的测试结果不变。以上所述实施例仅表达了本专利技术的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利技术专利范围的限制。因此，本专利技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
探针台MAP文件转换方法其特征在于；包括以下步骤：步骤一：复制UF200探针台MAP基础模板步骤二：通过转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；步骤三：依次将JC6001探针台MAP文件中各管芯信息转换到复制模板文件中步骤四：运行转换文件程序，获得模板文件中统计信息，如总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量等。

【技术特征摘要】
1.探针台MAP文件转换方法其特征在于；包括以下步骤：步骤一：复制UF200探针台MAP基础模板步骤二：通过转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；步骤三：依次将JC6001探针台MAP文件中各管芯信息转换到复制模板文件中步骤四：运行转换文件程序，获得模板文件中统计信息，如总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量等。2.根据权利要求1所述的探针台MAP文件转换方法其特征在于：完成步骤三转换完所有...

【专利技术属性】
技术研发人员：周乃新，石志刚，孙昕，
申请(专利权)人：北京确安科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11