一种基于MES的晶圆测试方法及系统技术方案

本发明专利技术实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取对应的测试信息，并将批次信息及测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；测试机UI模块通过读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用测试程序对待测晶圆进行测试。本发明专利技术实施例提供的基于MES的晶圆测试方法及系统，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MES的晶圆测试方法及系统
本专利技术实施例涉及集成电路测试
，具体涉及一种基于MES的晶圆测试方法及系统。
技术介绍
Teradyne与Advantest是目前全球最大的两家半导体自动测试设备供应商，为广泛的半导体电路提供测试解决方案。Teradyne公司的J750自动测试机是一种高度集成化的数字信号测试机，是为了满足半导体生产厂商低成本数字信号测试需要而开发的，由于它的集成度非常高，所以在测试功能上与其他测试机相比有性价比高的优点，全球装机量已达5000台左右，成为装机量最大的一款全自动测试机。IG-XL是Teradyne为J750系列测试机开发的，专门用于编写和调试测试程序的软件。该软件集成了测试机硬件接口指令，可以使测试机与电脑、测试机与探针台之间进行实时数据通讯。J750UI(J750ProductionUserInterface)是使用J750测试机进行批量化生产的人机交互界面，J750UI模块主要实现如下功能：1)方便快捷从后台调取测试程序；2)建立测试机与探针台之间的通讯；<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于MES的晶圆测试方法，其特征在于，包括：/n根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；/n所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于MES的晶圆测试方法，其特征在于，包括：
根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；
所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试信息还包括探针台程序名信息；
所述方法还包括：所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述探针台程序名信息；根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，具体包括：
根据待测晶圆的批次信息，获取与所述待测晶圆的批次信息对应的产品代码，根据所述产品代码获取与所述待测晶圆对应的测试信息。


4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，具体包括：自动弹窗显示所述测试程序的信息，在弹窗上的确认按钮被点击后，实现所述调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序；
所述根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接，具体包括：自动弹窗显示所述探针台程序名信息，在弹窗上的确认按钮被点击后，实现所述根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试之前，所述方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：金兰，
申请(专利权)人：北京确安科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11