【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆测试加热器,用以对一待测晶圆进行加热,其包含有一箱体与一贯通该箱体的管路,由该管路引导空气进入,并穿过该箱体及通过一加热器加热,而以热风形式吹于该晶圆上,其特征在于:该箱体更包含有一流量控制表与一温控表,由该流量控制表控制该 热风的流量,并由该温控表,控制该热风的温度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘瑞和,
申请(专利权)人:礼荣贸易有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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