一种晶圆划片机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆划片机，包括设有基台的机架、安装在所述机架上的激光器、CCD机构以及安装在所述基台上的三维中空平台，所述三维中空平台包括沿X轴移动的X轴中空机构、沿Y轴移动的Y轴中空机构、绕Z轴旋转的θ轴中空旋转机构。晶圆划片机包括至少三根X轴直线导轨相比两根导轨的支撑刚度更高，运动更稳定；X轴直线导轨直接安装在基台上，这样减少X轴中空机构的底座；同时中空DD马达直接安装在Y轴中空机构上，避免通过中空的安装座进行安装，降低三维中空平台的高度和重心，减少三维中空平台的重量，提高了三维中空平台速度和稳定性；另外CCD机构安装在基台上，避免单臂悬空安装在中空的安装座上，提高CCD相机识别晶圆的精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光划片领域，具体涉及一种晶圆划片机。
技术介绍
二维直线电机平台已广泛的运用在LED晶圆划片机上。目前LED市场对LED晶圆划片机的划片精度和速度越来越高，而划片精度和速度主要体现在二维直线电机平台上。现有的二维直线电机平台以一台独立的部件安装在LED晶圆划片机底座上，其上再安装CCD(ChargeCoupledDevice)相机、DD(DirectDrivemotor)马达等部件。由于划片机有底座，二维直线电机平台也有底座，再加上DD马达通过一件中空的安装座安装在二维直线电机平台上，这增加了工作台高度和平台重心，影响了二维直线电机平台的速度和稳定性。同时，CCD相机单臂悬空的安装在中空的安装座上，影响了CCD相机识别晶圆的精度，从而影响了晶圆划片机的划片速度和精度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种结构紧凑，重量轻，精度高的晶圆划片机。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种晶圆划片机，包括设有基台的机架、安装在所述机架上的激光器、CCD机构以及安装在所述基台上的三维中空平台，所述三维中空平台包括沿X轴移动的X轴中空机构、沿Y轴移动的Y轴中空机构、绕Z轴旋转的θ轴中空旋转机构，所述θ轴中空旋转机构包括中空DD马达和安装在所述中空DD马达上的吸盘，所述CCD机构包括用于识别晶圆的CCD相机和可对所述CCD相机进行三维调节的调节组件；所述X轴中空机构包括至少三根X轴直线导轨、X轴动力部以及X轴中空移动板，所述X轴直线导轨直接安装在所述基台上，所述X轴中空移动板可滑动的安装在所述X轴直线导轨上，所述X轴动力部驱动所述X轴中空移动板沿所述X轴直线导轨往复移动；所述中空DD马达直接安装在所述Y轴中空机构上，所述调节组件安装在所述基台上，所述CCD相机位于所述三维中空平台的中空处。进一步地，所述调节组件包括调节底板、Y-Z二维精密滑台、立板、用于固定所述CCD相机的固定板以及用于固定所述CCD相机镜头的压盖，所述调节底板可移动的安装在所述基台上，所述立板安装在所述调节底板上，所述Y-Z二维精密滑台一侧安装在所述立板上，所述固定板安装在所述Y-Z二维精密滑台的另一侧，所述压盖固定安装在所述固定板上。进一步地，所述调节组件还包括调节块、拉簧和调节螺栓，所述调节块固定在所述基台上，所述拉簧的两端分别连接所述调节块和所述调节底板，所述调节螺栓穿过所述调节块顶紧在所述调节底板上。进一步地，所述基台上还开设有第一凹槽，所述调节底板设置在所述第一凹槽内。进一步地，所述X轴中空机构还包括X轴读数头和第一限位块，所述X轴读数头安装于所述X轴中空移动板上，所述第一限位块安装在所述基台上，并分别位于X轴直线导轨方向的两端。进一步地，所述Y轴中空机构包括Y轴底座、Y轴直线导轨、Y轴动力部以及Y轴中空移动板，所述Y轴底座安装在所述X轴中空移动板上，所述Y轴直线导轨安装在所述Y轴底座上，所述Y轴中空移动板可滑动的安装在所述Y轴直线导轨上，所述Y轴动力部驱动所述Y轴中空移动板沿所述Y轴直线导轨往复移动，所述中空DD马达安装在所述Y轴中空移动板上。进一步地，所述Y轴中空机构还包括为切割晶圆提供照明的轮廓光源，所述轮廓光源安装在所述Y轴底座上或所述基台上。进一步地，所述Y轴中空机构还包括Y轴读数头和第二限位块，所述Y轴读数头安装于所述Y轴中空移动板上，所述第二限位块安装在所述Y轴底座上，并分别位于Y轴直线导轨方向的两端。进一步地，所述X轴动力部和Y轴动力部均为直线电机。进一步地，所述X轴动力部和Y轴动力部均包括伺服旋转电机、联轴器和滚珠丝杠，通过所述滚珠丝杠驱动所述X轴中空移动板及所述Y轴移动板移动。与现有技术相比，本技术的晶圆划片机，包括至少三根X轴直线导轨相比两根导轨的支撑刚度更高，运动更稳定；X轴直线导轨直接安装在基台上，这样减少X轴中空机构的底座；同时中空DD马达直接安装在Y轴中空机构上，避免通过中空的安装座进行安装，降低三维中空平台的高度和重心，减少三维中空平台的重量，提高三维中空平台速度和稳定性；另外CCD机构安装在基台上，避免单臂悬空安装在中空的安装座上，提高CCD相机识别晶圆的精度。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术的晶圆划片机的结构示意图；图2是图1中基台和三维中空平台安装的立体示意图；图3是图2中基台和X轴中空机构安装示意图；图4是图1中Y轴中空机构的结构示意图；图5是图3中CCD机构的结构示意图。具体实施方式现结合附图，对本技术的较佳实施例作详细说明。如图1至4所示，本实施例的一种晶圆划片机，包括设有基台100的机架1、安装在机架1上的激光器2、CCD机构200以及安装在基台100上的三维中空平台300。三维中空平台300包括沿X轴移动的X轴中空机构310、沿Y轴移动的Y轴中空机构320、绕Z轴旋转的θ轴中空旋转机构330，θ轴中空旋转机构330包括中空DD马达331和安装在中空DD马达331上的吸盘332，吸盘332通过真空吸附待切割的晶圆。CCD机构200包括用于识别晶圆的CCD相机210和可对CCD相机210进行三维调节的调节组件220。X轴中空机构310包括至少三根X轴直线导轨311、X轴动力部312以及X轴中空移动板313。X轴直线导轨311直接安装在基台100上，X轴中空移动板313可滑动的安装在X轴直线导轨311上，X轴动力部312驱动X轴中空移动板313沿X轴直线导轨311往复移动；中空DD马达331直接安装在Y轴中空机构320上，调节组件220安装在基台100上，CCD相机210位于三维中空平台300的中空处。通过中空的设计，使得三维中空平台300在运行过程中，不会碰撞到CCD相机210，CCD相机210可从下向上识别晶圆。在本实施例中，X轴动力部为直线电机，直线电机外部罩设有防尘罩400。X轴中空机构310包括四根X轴直线导轨，相比两根导轨的支撑刚度更高，运动更稳定。X轴直线导轨311直接安装在基台100上，这样减少X轴中空机构310的底座；同时中空DD马达331直接安装在Y轴中空机构320上，避免通过中空的安装座进行安装，降低了三维中空平台的高度和重心，减小了重量，提高了三维中空平台300速度和稳定性。具体地，X轴中空机构310还包括X轴读数头314和第一限位块315。X轴读数头314安装于X轴中空移动板313上，第一限位块315安装在基台100上，并分别位于X轴直线导轨311方向的两端。X轴动力部312通过X轴读数头314的反馈信号驱动X轴中空移动板313沿X轴直线导轨311移动。第一限位块315能够限制X轴中空移动板313移动的两个极限位置，防止X轴中空移动板313脱落。具体地，Y轴中空机构320包括Y轴底座321、Y轴直线导轨322、Y轴动力部323以及Y轴中空移动板324。Y轴底座321安装在X轴中空移动板313上，Y轴直线导轨322安装在Y轴底座321上，Y轴中空移动板324可滑动的安装在Y轴直线导轨322上，Y轴动力部323驱动Y轴中空移动板324沿Y轴直线导轨322往复移动，中空DD马达331安装在Y轴中空移动板324上。在本实施例中，Y轴动力部均为直线电机，Y轴中空机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆划片机，包括设有基台的机架、安装在所述机架上的激光器、CCD机构以及安装在所述基台上的三维中空平台，所述三维中空平台包括沿X轴移动的X轴中空机构、沿Y轴移动的Y轴中空机构、绕Z轴旋转的θ轴中空旋转机构，所述θ轴中空旋转机构包括中空DD马达和安装在所述中空DD马达上的吸盘，所述CCD机构包括用于识别晶圆的CCD相机和可对所述CCD相机进行三维调节的调节组件，其特征在于：所述X轴中空机构包括至少三根X轴直线导轨、X轴动力部以及X轴中空移动板，所述X轴直线导轨直接安装在所述基台上，所述X轴中空移动板可滑动的安装在所述X轴直线导轨上，所述X轴动力部驱动所述X轴中空移动板沿所述X轴直线导轨往复移动；所述中空DD马达直接安装在所述Y轴中空机构上，所述调节组件安装在所述基台上，所述CCD相机位于所述三维中空平台的中空处。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆划片机，包括设有基台的机架、安装在所述机架上的激光器、CCD机构以及安装在所述基台上的三维中空平台，所述三维中空平台包括沿X轴移动的X轴中空机构、沿Y轴移动的Y轴中空机构、绕Z轴旋转的θ轴中空旋转机构，所述θ轴中空旋转机构包括中空DD马达和安装在所述中空DD马达上的吸盘，所述CCD机构包括用于识别晶圆的CCD相机和可对所述CCD相机进行三维调节的调节组件，其特征在于：所述X轴中空机构包括至少三根X轴直线导轨、X轴动力部以及X轴中空移动板，所述X轴直线导轨直接安装在所述基台上，所述X轴中空移动板可滑动的安装在所述X轴直线导轨上，所述X轴动力部驱动所述X轴中空移动板沿所述X轴直线导轨往复移动；所述中空DD马达直接安装在所述Y轴中空机构上，所述调节组件安装在所述基台上，所述CCD相机位于所述三维中空平台的中空处。2.据权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述调节组件包括调节底板、Y-Z二维精密滑台、立板、用于固定所述CCD相机的固定板以及用于固定所述CCD相机镜头的压盖，所述调节底板可移动的安装在所述基台上，所述立板安装在所述调节底板上，所述Y-Z二维精密滑台一侧安装在所述立板上，所述固定板安装在所述Y-Z二维精密滑台的另一侧，所述压盖固定安装在所述固定板上。3.据权利要求2所述的晶圆划片机，其特征在于，所述调节组件还包括调节块、拉簧和调节螺栓，所述调节块固定在所述基台上，所述拉簧的两端分别连接所述调节块和所述调节底板，所述调节螺栓穿过所述调节块顶紧在所述调节底...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄政，周志伟，张红江，马国东，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44