【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体
,特别是涉及一种晶圆键合设备。
技术介绍
晶圆键合是指两晶圆之间涂布胶材并紧密接触以牢固的结合在一起。现有的晶圆键合设备包括有腔室以及抽真空装置,腔室内具有基盘,将需要键合的两个晶圆对应好之后置于基盘之上,然后对腔室进行抽真空,达到预定压力值后再进行压合。然而,由于在抽真空前两晶圆的表面已全面接触,容易导致空气残留于两者之间无法抽出,造成键合后有区域性的气泡,尤其随着大尺寸技术的发展,当晶圆尺寸较大时,这种现象更为严重,影响了键合的效果,导致生产良率下降,效率低下。
技术实现思路
本技术提供了一种晶圆键合设备,其克服了现有技术所存在的不足之处。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶圆键合设备,包括一腔室及用于对该腔室抽真空的抽真空装置,所述腔室内设置有基盘以及压板;基盘上设有用于放置第一晶圆的容置区以及用于支撑第二晶圆的伸缩部件;所述伸缩部件凸设于容置区之外围以使第二晶圆与第一晶圆表面之间形成一间隙,并在压板向基盘下压时收缩至第二晶圆与第一晶圆相接触。优选的,所述基盘于容置区外围设有若干槽孔,所述伸缩部件一一对应的设置于槽孔之中。优选的,所述伸缩部件包括刚性柱以及连接于刚性柱底端的弹性体,弹性体设置于槽孔之内以实现伸缩。优选的,所述弹性体是弹簧。优选的,所述伸缩部件沿容置区外围等距离间隔设置并至少为2个。优选的,所述基盘上还凸设有若干定位块,该些定位块位于容置区外围所述伸缩部件之外侧以用于定位所述第二晶圆。优选的,所述定位块沿容置区外围等距离间隔设置并至少为3个。优选的,所述第二晶圆为衬底且圆径大于所述第一晶圆。相较于现有技术,本 ...
【技术保护点】
一种晶圆键合设备,包括一腔室及用于对该腔室抽真空的抽真空装置,所述腔室内设置有基盘以及压板,其特征在于:基盘上设有用于放置第一晶圆的容置区以及用于支撑第二晶圆的伸缩部件;所述伸缩部件凸设于容置区之外围以使第二晶圆与第一晶圆表面之间形成一间隙,并在压板向基盘下压时收缩至第二晶圆与第一晶圆相接触。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆键合设备,包括一腔室及用于对该腔室抽真空的抽真空装置,所述腔室内设置有基盘以及压板,其特征在于:基盘上设有用于放置第一晶圆的容置区以及用于支撑第二晶圆的伸缩部件;所述伸缩部件凸设于容置区之外围以使第二晶圆与第一晶圆表面之间形成一间隙,并在压板向基盘下压时收缩至第二晶圆与第一晶圆相接触。2.根据权利要求1所述的晶圆键合设备,其特征在于:所述基盘于容置区外围设有若干槽孔,所述伸缩部件一一对应的设置于槽孔之中。3.根据权利要求2所述的晶圆键合设备,其特征在于:所述伸缩部件包括刚性柱以及连接于刚性柱底端的弹性体,弹性体设...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈明俊,
申请(专利权)人:厦门市三安集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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