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本实用新型涉及一种晶圆划片机，包括设有基台的机架、安装在所述机架上的激光器、CCD机构以及安装在所述基台上的三维中空平台，所述三维中空平台包括沿X轴移动的X轴中空机构、沿Y轴移动的Y轴中空机构、绕Z轴旋转的θ轴中空旋转机构。晶圆划片机包括至...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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