The invention discloses a wafer acceptable automatic replacement method, the test probe card, step one: school hours automatic dispatching system WAT test probe of the test required by card type Recipe query; step two: automatic dispatching system query probe machine need to send on the card type if required; type and probe card type agreement, without changing the card card probe on the machine, if the type required and the probe card type or need to replace the card machine card probe; step three: the machine will automatically replace the probe card in the machine system are changed, at the same time, the machine automatic replacement system selection required type of probe card and the probe card into the machine; step four: the required type of probe card in Lot after the start of the test. Automatic replacement of the invention through the probe card, Stoker probe card handling system and automatic replacement system to achieve the balanced use of the probe card, frequency probe card, effectively avoid the wrong card problem manual change card.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法
本专利技术涉及一种半导体测试领域,尤其涉及一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法。
技术介绍
现有的晶圆可接受性测试(WaferAcceptanceTest,简称:WAT)探针卡都是由操作人员根据制程方法(Recipe)需要的探针卡类型进行手动更换,这种更换方式效率低下,而且容易出现放错探针卡的情况。同时,人工更换探针卡不能保证相同类型的探针卡的使用率保持一致,容易出现某几张探针卡过度使用,而其它探针卡闲置不用的状况。而且探针卡的人工更换成为了WAT机台实现全自动化测试的障碍。
技术实现思路
鉴于上述问题,本专利技术提供一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案为:一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法,其中,步骤一:自动派工系统进行晶圆可接受性测试的派工时通过制程方法查询本次测试所需的探针卡类型;步骤二:自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型;如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡,如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡;步骤三:机台自动更换系统将机台内的探针卡换出,同时,机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台;步骤四:所需类型的探针卡换入后晶圆批次测试开始。上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法,其中,包括探针卡搬运系统,步骤三中,探针卡搬运系统将机台内换出的探针卡搬运到探针卡排。上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法,其中,探针卡搬运系统将所需类型的探针卡搬运到机台。上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自 ...
【技术保护点】
一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法,其特征在于,步骤一:自动派工系统进行晶圆可接受性测试的派工时通过制程方法查询本次测试所需的探针卡类型;步骤二:自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型;如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡,如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡;步骤三:机台自动更换系统将机台内的探针卡换出,同时,机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台;步骤四:所需类型的探针卡换入后晶圆批次测试开始;包括探针卡搬运系统,步骤三中,探针卡搬运系统将机台内换出的探针卡搬运到探针卡排。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法,其特征在于,步骤一:自动派工系统进行晶圆可接受性测试的派工时通过制程方法查询本次测试所需的探针卡类型;步骤二:自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型;如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡,如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡;步骤三:机台自动更换系统将机台内的探针卡换出,同时,机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台;步骤四:所需类型的探针卡换入后晶圆批次测试开始;包括探针卡搬运系统,步骤三中,探针卡搬运系统将机台内换出的探针卡搬运到探针卡排。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:周波,莫保章,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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