一种探针卡研磨机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡研磨机，包括基座、探针卡固定机构和研磨机构；所述的研磨机构包括安装支架、传动机构、调节机构和研磨台；所述的调节机构包括刻度圆盘和升降丝杠，所述的传动机构为手动偏心轮传动机构。由于本实用新型专利技术采用刻度圆盘和升降精密丝杠作为调节机构，可以将探针研磨的平面度控制在±5μm规格内。由于本实用新型专利技术的传动机构中的偏心轮是可更换的，不同规格的偏心轮的中心轴到到偏心轴的距离是不同的，通过更换偏心轮的规格，可以方便地对直径在150μm以下的探针针尖进行研磨。由于本实用新型专利技术的调节机构和传动机构均为手动，使得结构更加简单，便于作业人员边研磨边调整，大大提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种研磨装置，特别涉及一种探针卡研磨机。
技术介绍
近年来半导体制程技术突飞猛进，现阶段已向16奈米以下挺进。目前产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶(FlipChip)方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。探针卡作为一种测试接口，已广泛应用于芯片在封装前的测试。测试时将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。探针卡一般包括与晶片上的电极接触的探针和向该探针发送检测信号的电路板，在探针与电极接触的状态下通过电路板向探针发送电信号进而检测晶圆上的集成电路。通过探针卡检测出不合格的产品之后再对合格产品进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡研磨机，其特征在于：包括基座、探针卡固定机构(1)和研磨机构；所述的基座包括底板(2)、面板(3)和四个支柱(4)，所述的面板(3)通过四个支柱(4)固定在底板(2)上，所述的面板(3)上有矩形通孔；所述的探针固定机构固定安装在基座的面板(3)上，用于固定待研磨的探针卡；所述的研磨机构包括安装支架(5)、传动机构、调节机构和研磨台(6)；所述的安装支架(5)包括两块立板、竖向导轨和门形框架，所述的两块立板安装在底板(2)上，所述的门形框架通过竖向导轨安装在两块立板之间、并与竖向导轨滑动连接；所述的调节机构包括刻度圆盘(7)和升降丝杠(8)，所述的刻度圆盘(7)安装在底板(2)上、通过...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡研磨机，其特征在于：包括基座、探针卡固定机构(1)和研磨机构；所述的基座包括底板(2)、面板(3)和四个支柱(4)，所述的面板(3)通过四个支柱(4)固定在底板(2)上，所述的面板(3)上有矩形通孔；所述的探针固定机构固定安装在基座的面板(3)上，用于固定待研磨的探针卡；所述的研磨机构包括安装支架(5)、传动机构、调节机构和研磨台(6)；所述的安装支架(5)包括两块立板、竖向导轨和门形框架，所述的两块立板安装在底板(2)上，所述的门形框架通过竖向导轨安装在两块立板之间、并与竖向导轨滑动连接；所述的调节机构包括刻度圆盘(7)和升降丝杠(8)，所述的刻度圆盘(7)安装在底板(2)上、通过升降丝杠(8)连接到门形框架上；所述的研磨台(6)位于面板(3)的矩形通孔中，研磨台(6)上放置金刚石砂纸，研磨台(6)底部通过XY滑台机构安装在安装支架(5)上；所述的传动机构为手动偏心轮(11)传动机构，固定在安装支架(5)上，通过转动连接杆(9)连接到研磨台(6)上。2.根据权利要求1所述的一种探针卡研磨机，其特征在于：所述的面板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张继，李祥峰，
申请(专利权)人：大连火蓝电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21