十字型探针卡制造技术

一种十字型探针卡，包括：探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚与所述待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在所述探针卡盘之中间部位。本发明专利技术所述十字型探针卡可同时完成对所述测试单元的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转，极大的缩短了WAT测试时间，提高了测试效率。同时，本发明专利技术所述十字型探针卡可保证所述探针引脚位于同一平面，避免探针引脚异面导致的WAT测试异常。

【技术实现步骤摘要】
十字型探针卡
本专利技术涉及半导体器件测试
，尤其涉及一种十字型探针卡。
技术介绍
随着半导体技术的发展，集成电路（IntegratedCircuit,IC）集成度越来越高，并在所述芯片（Chip）的周围设计探针垫（Pad），使其周围具有若干十字型探针垫，所述芯片便包括横向测试模组和纵向测试模组。在晶圆可接受测试（WaferAcceptedTest,WAT）过程中，所述探针卡是所述测试机台与所述待测器件之间的纽带，用于电连接所述测试机台与所述待测器件。请参阅图4（a）、图4（b），图4（a）～图4（b）所示为现有探针卡之结构示意图。但是，现有的探针卡3之探针31通常为单排或者双排结构设计。在晶圆可接受测试过程中，需要建立两个方向的探针菜单，即横向探针菜单和纵向探针菜单。作为本领域技术人员，容易理解地，在所述横向探针菜单下，仅能进行横向模组测试；在纵向探针菜单下，仅能进行纵向模组测试。故，在完成所述芯片之横向模组测试后，需要将所述芯片旋转90°，并再次扎针，以完成所述纵向模组测试。显然地，所述芯片的多次旋转，以及重复扎针势必影响所述晶圆可接受性测试效率。故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本专利技术一种十字型探针卡。
技术实现思路
本专利技术是针对现有技术中，在所述传统的晶圆可接受性测试测试时，所述芯片需要多次旋转，以及重复扎针导致的晶圆可接受性测试效率低下等缺陷提供一种十字型探针卡。为实现本专利技术之目的，本专利技术提供一种十字型探针卡，所述十字型探针卡包括：探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚与所述待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在所述探针卡盘之中间部位。可选地，所述分布设置在所述探针卡板之圆周边沿的测试端子的数量为48个。可选地，所述呈十字型排布，并设置在所述探针卡板之中间部位的探针引脚的数量为24个。可选地，所述探针引脚呈对称分布设置在所述探针卡板之中间部位。可选地，所述探针引脚在任一方向上所述探针引脚呈并行交叉排列，所述探针引脚不相互交叉。可选地，所述十字型探针卡可同时完成对所述测试单元的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转。综上所述，本专利技术所述十字型探针卡可同时完成对所述测试单元的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转，极大的缩短了WAT测试时间，提高了测试效率。同时，本专利技术所述十字型探针卡可保证所述探针引脚位于同一平面，避免探针引脚异面导致的WAT测试异常。附图说明图1所示为本专利技术十字型探针卡的结构示意图；图2（a）所示为本专利技术十字型探针卡之探针引脚的俯视图；图2（b）所示为本专利技术十字型探针卡之探针引脚的仰视图；图3所示为本专利技术十字型探针卡的测试结构示意图；图4（a）～图4（b）所示为现有探针卡之结构示意图。具体实施方式为详细说明本专利技术创造的
技术实现思路
、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。请参阅图1，图1所示为本专利技术十字型探针卡之结构示意图。所述十字型探针卡1包括：探针卡板（ProberCardBoard,PCB）11，所述探针卡板11用于承载所述功能测试端子；测试端子12，所述测试端子12分布设置在所述探针卡板11的圆周边沿；探针引脚13，所述探针引脚13与所述待测器件之探针垫（未图示）对应，呈十字型排布，并设置在所述探针卡盘11之中间部位。作为具体实施方式，非限制性的列举，在本专利技术中，所述分布设置在所述探针卡板11之圆周边沿的测试端子12的数量为48个；所述呈十字型排布，并设置在所述探针卡板11之中间部位的探针引脚13的数量为24个。更具体地，所述探针引脚13呈对称分布设置在所述探针卡板11之中间部位。请参阅图2（a）、图2（b），并结合参阅图1，图2（a）所示为本专利技术十字型探针卡之探针引脚的俯视图。图2（b）所示为本专利技术十字型探针卡之探针引脚的仰视图。为便于所述十字型探针卡1的制造，即所述探针引脚13在所述十字型探针卡1上的排列，优选地，在任一方向上所述探针引脚呈并行交叉排列，所述探针引脚13不相互交叉。请参阅图3，并继续参阅图1，图3所示为本专利技术十字型探针卡的测试结构示意图。为了直观的揭露本专利技术之技术方案，凸显本专利技术之有益效果，非限制性地，以所述十字型探针卡1对由所述第一芯片21、第二芯片22、第三芯片23，以及第四芯片24组成的测试单元2进行WAT测试为例进行阐述。所述测试单元2的芯片数量不应视为对本专利技术技术方案的限制。明显地，在对所述测试单元2进行WAT测试时，仅需扎针一次，便可完成对所述测试单元2的横向模组测试和纵向模组测试，且在所述芯片传输至所述测试机台后无需进行芯片角度旋转，极大的缩短了WAT测试时间，改善了测试效率。另一方面，本专利技术所述十字型探针卡1可保证所述探针引脚13位于同一平面，避免探针引脚13异面导致的WAT测试异常。综上所述，本专利技术所述十字型探针卡可同时完成对所述测试单元的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转，极大的缩短了WAT测试时间，提高了测试效率。同时，本专利技术所述十字型探针卡可保证所述探针引脚位于同一平面，避免探针引脚异面导致的WAT测试异常。本领域技术人员均应了解，在不脱离本专利技术的精神或范围的情况下，可对本专利技术进行各种修改和变形。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本专利技术涵盖这些修改和变形。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种十字型探针卡，其特征在于，所述十字型探针卡包括：探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚与所述待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在所述探针卡盘之中间部位。

【技术特征摘要】
1.一种十字型探针卡，其特征在于，所述十字型探针卡包括：探针卡板，所述探针卡板用于承载测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚与待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在探针卡盘之中间部位，在任一方向上所述探针引脚呈并行交叉排列，所述探针引脚不相互交叉，所述十字型探针卡可同时完成对待测器件的横向模组测试和纵向模...

【专利技术属性】
技术研发人员：代瑞娟，莫保章，席与凌，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：