探针卡制造技术

本发明专利技术涉及一种探针卡，其包含具有相对的一第一表面与一第二表面的一电路板、固定于电路板的第一表面的多根探针以及至少一螺旋调整机构。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。本发明专利技术的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探针卡，特别是一种在固定探针的电路板上具有调整水平机构的 探针卡。
技术介绍
当晶片上的集成电路元件完成制作后，在进行后续封装流程前，需经过晶片测试 流程，以淘汰不良的集成电路元件，使封装的良率提高。一般而言，晶片测试的方法是利用 多根探针相对应地接触集成电路元件上的电接点(Pad)，藉此测量集成电路元件的电性特 性，以判别集成电路的良莠。在进行晶片测试时，各探针需施以一定的接触压力，使其尖端穿刺接点表面上的 氧化物，在碰触接点金属表面后，才可完成电性特性测试所需的连接。然而，多根探针同时 进行测试时，可能因其与待测集成电路元件间的倾斜，而导致部分探针无法和其相对应的 接点进行良好的接触，而影响到测试的精确度。传统上，探针的倾斜调整是通过承载探针的探针座上的调整机构。然则，这些常见 的调整机构通常过于复杂，而且使用上不甚方便。再者，这些调整机构固设于测试机台中， 在长期的重复使用下易产生磨耗，而将影响其调整的精准度。鉴于常见的调整机构的缺陷，因此有必要对其进行改良。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种探针卡，其调整机构简单，且使用方便。本专利技术一实施范例公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺旋 调整机构。电路板具有相对的一第一表面与一第二表面。多根探针固定于该电路板的该第 一表面。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中 该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该 螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相 对于该第一表面进退移动。本专利技术一实施范例另公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺 旋调整机构。电路板具一表面。多根探针固定于该电路板的该表面。至少一螺旋调整机构 包含一座体、一内斜楔、一外斜楔及一调整螺丝。座体包含一开口和一容置空间，座体设置 于该电路板的该表面上，其中该开口形成于该座体背向该电路板的该表面上，且连通该容 置空间。内斜楔收容于该容置空间。内斜楔具有一第一斜面，该第一斜面朝向该开口。内 斜楔被建构以于该容置空间内往该第一斜面的倾斜方向上移动。外斜楔具一第二斜面与一 端面。外斜楔以该第二斜面面向该第一斜面的方式与该内斜楔相叠设置，其中该第二斜面 与该端面位于该外斜楔的相反两侧。调整螺丝在该倾斜方向上以螺接的方式设于该座体且 与该内斜楔相连接。本专利技术的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。附图说明 图1显示本专利技术的一实施范例的探针卡与支撑件的立体示意图； 图2与图3显示图1内容的分解示意图； 图4显示图1的探针卡与支撑件的俯视示意图； 图5显示图4中沿A-A剖面线的剖视图； 图6显示图5中圆圈区域B的局部放大图；图7显示本专利技术的另一实施范例的探针卡与螺旋调整机构的立体示意图 图8显示图7的探针卡与螺旋调整机构的仰视图； 图9显示本专利技术的一实施范例的螺旋调整机构的立体图；图10显示本专利技术的-实施范例的螺旋调整机构的内斜楔的立体示意图； 图11显示本专利技术的-实施范例的内斜楔与外斜楔的组合示意图；图12显示本专利技术的- 实施范例的螺旋调整机构的侧视图；图13显示本专利技术的- 实施范例的螺旋调整机构的主视图；及图14显示本专利技术的- 实施范例的螺旋调整机构的固定方式的示意图。其中，附图标记说明如下 IaUb 探针卡2 支撑件IlaUlb 螺旋调整机构12电路板14 支撑物16 探针18 下表面19 上表面 21 端壁 22 开孔 23 内表面24 支撑表面 26 固定件 27 螺丝28 凹槽111 螺旋装置112 座体113 内斜楔114 外斜楔115 调整螺丝116 容置空间117 底面1121113111411142118119120121 IlllaUlllb孔体 穿S孔 口性孔贯MI螺 开弹螺 第一斜面 第二斜面 本体具体实施例方式图1显示本专利技术的一实施范例的一探针卡Ia与一支撑件2的立体组合示意图，而 图2与图3显示图1的分解示意图。参照图1至图3所示，本专利技术的一实施范例公开的探 针卡Ia可具一圆形形状，但本专利技术不限于此。探针卡Ia包含一电路板12、一支撑物14以 及多根探针16。电路板12具有一下表面18，支撑物14固设于电路板11的下表面18上， 探针16固定于支撑物14上。电路板12上可设有多个接点(未绘示)，多根探针16电性连 接至相对应的多个接点，使得通过电路板11可提供多根探针16测试信号。再参照图1至图3所示，探针卡Ia可收容于一呈盖状的支撑件2之内，该支撑件 2具有一端壁21，一凹陷的支撑表面M设置于端壁21的内表面23上，该支撑件2另具有 一开孔22，该开孔22形成于支撑表面M上。参照图5所示，电路板12以多根探针16朝向该开孔22的方式放置于支撑件2内。 当探针卡Ia安放于支撑件2上后，多根探针16可穿过该开孔22凸出于支撑件2的端壁21 外。而且，由于支撑表面M的径宽可略大于探针卡Ia的径宽，使得电路板12可完全放置 在支撑表面M上。参照图4至图5，探针卡Ia另包含多个螺旋调整机构11a，多个螺旋调整机构Ila 设置在电路板12上且位于可抵靠支撑表面M的部分，这些螺旋调整机构Ila可彼此等距 设置，但本专利技术不限于前述配置。参照图5与图6所示，多个贯穿孔121相对应于这些螺旋调整机构Ila设置于电 路板12上。各螺旋调整机构Ila包含一螺旋装置111及一固定装置112。螺旋装置111具 有一端面Illla及设置于其外表面上的外螺纹，其中各螺旋装置111穿设于相对应的贯穿 孔121内，而其端面Illla位于电路板12的下表面18侧，使螺旋装置111的端面Illla可 顶抵支撑件2的支撑表面M。固定装置112设置于电路板12的上表面19上，各固定装置 112包含一贯穿螺孔1121，其中该螺旋装置111上的外螺纹螺合于该螺孔1121。此外，在另 一实施例中，固定装置112可设置或固定于电路板12的下表面18。各固定装置112可固定于电路板12的上表面19，使得当旋转螺旋装置111时，端 面Illla可相对于下表面18做进退移动，而改变其凸出于电路板12的下表面18的高度， 从而调整电路板12与支撑表面M间的间距。若同时令环设于电路板12的多个螺旋装置 111的端面Illla凸出不同高度，即可调整电路板12的水平。本案实施例中，螺旋装置111 可为一调整螺丝，其可具0. 1至0.5厘米(millimeter)的节距，但本专利技术不以此为限。固定装置112的固定方式可为使用黏胶、焊锡或螺丝固定，但本专利技术不以此为限。参照图7至图9，在另一实施例中，探针卡Ib包含多个螺旋调整机构11b，这些螺 旋调整机构lib固定于电路板12的下表面18上，且相对于支撑件2的支撑表面M设置。 这些螺旋调整机构lib可彼此等距配置，然本专利技术不以此为限。参照图9所示，各螺旋调整机构lib包含一座体112、一内斜楔113、一外斜楔114 及一调整螺丝115。座体112包含一容置空间116，容置空间116为座体112的底面117下 凹而形成。内斜楔1本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种探针卡，包含：一电路板，具有相对的一第一表面与一第二表面；多根探针，固定于该电路板的该第一表面；以及至少一螺旋调整机构，被建构以调整该电路板的水平，该至少一螺旋调整机构包含：一固定装置，具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板；及一螺旋装置，包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位于该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊良，曾筱婷，王礼民，陈和也，
申请(专利权)人：思达科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]