本发明专利技术提供一种电连接装置。其用于对被检查体进行电气性的测量，包括支承构件和平板状的探针基板。在探针基板的一面上设有与接受电气性检查的被检查体的电连接端子抵接的许多探针。另外，在探针基板的另一面上形成有固定部，该固定部设有顶部开放的螺纹孔。另外，该电连接装置设有贯穿上述支承构件地整体为筒状的隔离件、和贯穿该隔离件并且顶端与固定部的螺纹孔螺纹配合的螺纹构件。利用限制部件限制上述隔离件与支承构件相关联地沿轴线方向的移动。上述隔离件包括头部和主干部；上述头部的下表面载置在上述支承构件的另一面上；上述主干部的一端与该头部相连，该主干部插入在形成于上述支承构件上的贯穿孔中地配置，另一端与上述固定部的顶面抵接地配置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种为了对电路进行电气性检查而用于使作 为被检查体的例如集成电路的电路与进行该电气性检查的电路检验器(tester)的电路相连接的探针卡(probe card)那样 的电连接装置。
技术介绍
作为以往的该种电连接装置的一种，提出了具有设置许多 探针而成的探针基板、并可调整上述探针基板的平坦性的电连 接装置(参照专利文献l)。采用该电连接装置，可以使按压力 或拉伸力自用于支承探针基板的支承构件作用在探针基板的中 央部上。通过调整该作用力，即使探针基板发生弯曲也可以修 正探针基板的弯曲变形，保持该探针基板的平坦性。因而，在制造设有许多探针的探针基板时，即使该探针基 板发生弯曲变形，也可以通过将该探针基板安装在上述支承构 件上后的上述调整作业平坦地保持探针基板，因此可以将自该 探针基板伸长的许多探针的顶端保持在同一平面上。由此，可 以使所有上述探针的顶端可靠地与被检查体的电路上的对应于 上述各探针的电连接端子相接触，因此可以在该两者间获得良 好的电4妄触。但是，采用专利文献l所述的上述以往技术，必须在每次 向支承构件安装探针基板时、根据导入到各探针基板上的弯曲 变形使所有探针的顶端位于同 一 平面上地进行调整。在将探针 基板安装在支承构件上的状态下，使其所有探针的顶端适当地 与被检查体的上述所对应的各电连接端子相接触地进行调整的作业很繁杂，必须熟练。特别是，在检查形成在半导体晶圆上 的许多集成电路时，由于设在探针基板上的探针的数量明显增 加，因此难以使上述那样的许多探针适当地与半导体晶圆上的所对应的各焊盘(pad)相接触地进行调整。另外，若探针基板随着被检查体的大型化而大型化，则只调整该探针基板的中 央部并不能完全应对。另外，由于是可调整的，因此在稳定地 保持探针基板的平坦性方面存在问题，随着时间的推移，探针 基板的平坦性变得不稳定。因此，在之前的国际专利申i會(PCT/JP2005/009812 )中 申请人:提出了这样一种电连接装置无论探针基板如何变形都化调整作业，可以获得探针与被检查体的电路上的所对应的电 连接端子的可靠的电连接。在该电连接装置中，在以未承受负荷的自由状态产生了弯 曲变形的探针基板上、使顶端齐平于同一平面地形成有探针。 在支承构件的安装面与上述探针基板之间配置有容许安装螺栓 贯穿的隔离件，在紧固安装螺栓时，该隔离件起到保持探针基 板的上述变形的作用。因此，探针基板在保持了上述变形的状 态下被安装在上述支承构件的基准面上，所以所有探针的顶端 位于同一平面上。因而，在将探针基板安装在上述支承构件上之后，不用进 行上述那样的用于使探针基板平坦化的调整作业、就可将所有 探针的顶端基本均等地按压在被检查体即电路的各电连接端子 上。由此，无论探针基板是否大型化，每次更换设有许多探针 的探针基板时，都不用进行以往那样的上述繁杂的平坦化调整 作业，可以进行有效率的电气性检查。但是，上述隔离件配置成其一端抵接在支承构件的下表面上、其下端抵接在形成于探针基板上的固定部的上表面上。因 此，在通过组合支承板和布线基板等而组装电连接装置时，不 能将隔离件自支承板的上方插入该支承板中，而是必须自布线 基板的下方经过形成在该布线基板上的插入孔、使隔离件的上 端抵接在支承构件的下表面上地将隔离件自该支承构件的下方 插入布线基板中。在上述那样地配置了隔离件之后，必须将紧 固螺栓自支承构件的上表面侧贯穿该支承构件以及隔离件地插 入，使该紧固螺栓的顶端与形成在探针基板的固定部的顶部的 螺紋孔螺紋配合。这样，在不是将隔离件插入在支承构件的紧固螺栓的贯穿 孔中、而是将紧固螺栓通过支承构件的贯穿孔中时，必须使隔 离件贯穿布线基板的贯穿孔以及隔离件地在支承构件的与螺栓 插入侧相反的一侧保持隔离件。因此，例如在因为操作者误选 了隔离件而需要将该误选的隔离件更换成适当长度的隔离件的 情况下，需要花费时间重新作业。因而，强烈希望可以迅速进 行该隔离件的装入作业。专利文献l:曰本特表2003—528459号7>才艮
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种可以不用进行将探针组 装体安装在电连接装置上之后的探针基板的平坦化调整作业、 比较容易组装的电连接装置。本专利技术的电连接装置包括支承构件、探针基板、固定部、 隔离件、螺紋构件和用于限制与上述支承构件相关的上述隔离 件的沿轴线方向的运动的部件；上述探针基板空出间隔地配置 在该支承构件的一面上，是平板状，具有与该支承构件的上述 一面面对的一面以及与该一面相反的一侧的另 一面，并设有许多探针，该探针与电路检验器电连接且顶端与接受上述电路检验器的电气性检查的被检查体的电连接端子抵接；上述固定部 形成在该探针基板的上述一面上，设有顶部开放的螺紋孔；上 述隔离件整体形成为筒状，用于保持自上述支承构件的上述一 面到上述固定部的顶面为止的距离；上述螺紋构件以与该隔离 件的长度相对应的间隔紧固上述支承构件以及上述探针基板。 上述隔离件包括头部和主干部；上述头部的下表面载置在上述 支承构件的另一面上；上述主干部的一端与该头部相连，该主 干部配置成贯穿形成在上述支承构件上的贯穿孔、另 一端与上 述固定部的顶面抵接。上述螺紋构件自该隔离件的头部侧插入 以贯穿上述隔离件，由上述限制部件限制上述隔离件的沿轴线 方向的运动。自上述隔离件的上述另 一端突出的上述螺紋构件 的顶端与上述固定部的螺紋孔螺紋配合。在本专利技术中，可以将隔离件自其主千部插入在支承构件的 贯穿孔中而使其主干部的顶端抵接于固定部的顶面地配置，并 且可以将螺紋构件自隔离件的头部侧插入在该隔离件的导向孔 内，因此可以自支承构件的另 一面侧将该隔离件以及螺紋构件 以单独或预先组合两者的状态装入到支承板以及布线板等构成 构件上。因而，相比以往可以简化组装作业，从而通过简化制 造工序，可以谋求降低电连接装置的制作成本。上述隔离件能够适用具有要连同上述固定部一起地将上 述探针的针尖的高度位置齐平于同 一假想面所必须的长度尺 寸。上述限制部件可以由内螺紋槽和外螺紋槽构成；上述内螺 紋槽形成在上述支承构件的上述贯穿孔上；上述外螺紋槽形成 在上述隔离件上，以与该内螺紋槽螺紋配合。上述外螺紋槽可以形成在上述隔离件的上述主干部上。上述限制部件可以由金属固定件和螺紋构件构成；上述金 属固定件覆盖上述隔离件的头部地配置在上述支承构件的上述另 一 面上；上述螺紋构件将该金属固定件固定在上述支承构件 上。可以在上述支承构件的上述另 一面上围绕上述贯穿孔地 形成有用于收容上述隔离件的头部的凹部。在该情况下，以封 闭上述凹部的开放端的方式利用上述螺紋构件固定上述金属固 定件。上述固定部可以通过将螺母构件固定在上述探针基板上 而形成。上述螺紋构件可以卩吏用具有头部以及与该头部相连的轴 部的螺栓。另外，可以选择使用具有这样的长度的隔离件自其头部 的下表面到上述轴部的另 一端为止的距离适合将上述探针的上 述针尖保持在同 一 假想平面上。可以在上述支承基板与上述探针基板之间配置布线基板， 该布线基板具有与上述电路检验器相连接的电路且具有容许上 述螺纹构件贯穿的贯穿孔。另外，可以在上述布线基板与上述 探针基板之间配置连接器，该连接器具有容许上述螺紋构件贯 穿的贯穿本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电连接装置，其中， 该电连接装置包括支承构件、探针基板、固定部、隔离件、螺纹构件和用于限制与上述支承构件相关联的上述隔离件沿轴线方向的运动的部件；上述探针基板空出间隔地配置在该支承构件的一面上，是平板状，具有与该支承构件的上述一面面对的一面以及与该一面相反一侧的另一面，该探针基板设有许多探针，该探针与电路检验器电连接且顶端与接受上述电路检验器的电气性检查的被检查体的电连接端子抵接；上述固定部形成在该探针基板的上述一面上，设有顶部开放的螺纹孔；上述隔离件整体形成为筒状，用于保持自上述支承构件的上述一面到上述固定部的顶面为止的距离；上述螺纹构件以与该隔离件的长度相对应的间隔紧固上述支承构件以及上述探针基板，上述隔离件包括头部和主干部；上述头部的下表面载置在上述支承构件的另一面上；上述主干部的一端与该头部相连，该主干部插入在形成于上述支承构件上的贯穿孔中地配置，该主干部的另一端与上述固定部的顶面抵接地配置，上述螺纹构件自上述隔离件的头部侧插入以贯穿该隔离件，自该隔离件的上述主干部突出的上述螺纹构件的顶端与上述固定部的螺纹孔螺纹配合。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：三浦清敏，佐藤仁，赤平明久，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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