电连接装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制导电线中的信号干扰的电连接装置。电连接装置具有探针、保持探针的保持部、配置于保持部的第2方向侧的面的安装板、设于安装板的第2方向侧的面的印刷基板、第1导电线以及第2导电线。保持部具有与探针中的一个探针电连接的第1连接部、以及电连接于与连接于第1连接部的探针不同的探针中的一个探针的第2连接部。印刷基板具有形成于第1方向侧的面的第1布线图案、以及形成于第2方向侧的面的第2布线图案。第1导电线沿着安装板的第1方向侧的面延伸，将第1连接部与第1布线图案连接起来。第2导电线越过安装板的第2方向侧的面而延伸，将第2连接部与第2布线图案连接起来。接起来。接起来。

【技术实现步骤摘要】
电连接装置


[0001]本专利技术涉及一种用于被检体的特性的检查的电连接装置。

技术介绍

[0002]为了在不从晶圆分离的状态下检查半导体集成电路等被检体的电特性，使用对与被检体相接触的探针进行保持的电连接装置。在使用电连接装置的检查中，使探针的前端与被检体的信号焊盘相接触，使探针的基端部与IC测试器等检查装置电连接。电信号经由电连接装置在被检体与检查装置之间传输。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2016
‑
99337号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]由于传输电信号的导电线密集地并行，因此有可能产生导电线之间的信号干扰。信号干扰会导致在导电线中传输的电信号的波形品质劣化。本专利技术的目的在于提供一种能够抑制导电线中的信号干扰的电连接装置。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]根据本专利技术的一技术方案，提供一种具有探针、保持探针的保持部、配置于保持部的安装板、设于安装板的印刷基板、第1导电线以及第2导电线的电连接装置。保持部在使探针的前端暴露的状态下保持探针，且具有：第1连接部，其与探针中的一个探针电连接；以及第2连接部，其电连接于与连接于第1连接部的探针不同的其它的探针中的一个探针。安装板在与从保持部观察时探针的前端所处的第1方向侧相反的第2方向侧的面配置于保持部。印刷基板设于安装板的第2方向侧的面，且具有形成于第1方向侧的面的第1布线图案以及形成于第2方向侧的面的第2布线图案。第1导电线沿着安装板的第1方向侧的面延伸，将第1连接部与第1布线图案连接起来。第2导电线越过安装板的第2方向侧的面而延伸，将第2连接部与第2布线图案连接起来。
[0010]专利技术的效果
[0011]根据本专利技术，能够提供一种能够抑制导电线中的信号干扰的电连接装置。
附图说明
[0012]图1是表示第1实施方式的电连接装置的结构的示意图。
[0013]图2是图1的示意性的剖视图。
[0014]图3是表示第1导电线经过形成于第1实施方式的电连接装置的安装板的槽的内部的状态的将图2的区域A放大后的示意性的剖视图。
[0015]图4是表示第1导电线经过形成于第1实施方式的电连接装置的探针引导件的槽的
内部的状态的将图2的区域A放大后的示意性的剖视图。
[0016]图5是表示FPC的例子的示意性的俯视图。
[0017]图6A是表示将FPC沿上下方向重叠的例子的示意性的剖视图。
[0018]图6B是表示将FPC沿上下方向重叠的例子的示意性的俯视图。
[0019]图7是表示第1实施方式的电连接装置的探针引导件的结构的例子的示意图。
[0020]图8是表示比较例的电连接装置的结构的示意图。
[0021]图9是表示第1实施方式的电连接装置的结构的例子的示意性的俯视图。
[0022]图10是表示第2实施方式的电连接装置的结构的示意图。
[0023]附图标记说明
[0024]1、电连接装置；10、探针；20、保持部；21、探针头；22、间隔变换器；30、安装板；40、印刷基板；41、第1面；42、第2面；51、第1导电线；52、第2导电线；201、第1连接部；202、第2连接部；220、上表面布线槽；300、下表面布线槽；401、第1布线图案；402、第2布线图案；500、FPC。
具体实施方式
[0025]接下来，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的附图的记载中，对于相同或类似的部分标注相同或类似的附图标记。不过，附图是示意性的，各部分的长度、厚度的比例等与现实不同。另外，在附图之间也包含彼此的尺寸的关系、比例不同的部分。
[0026](第1实施方式)
[0027]图1所示的本专利技术的第1实施方式的电连接装置1用于被检体的特性的检查。电连接装置1具有多个探针10、保持探针10的保持部20、配置于保持部20的安装板30以及设于安装板30的印刷基板40。保持部20在使探针10的前端暴露的状态下保持探针10。在被检体的检查中，探针10的前端与被检体相接触。安装板30在与从保持部20观察时朝向探针10的前端所处的第1方向的一侧(以下也称为“第1方向侧”)相反的、朝向第2方向的一侧(以下也称为“第2方向侧”)的面配置于保持部20。印刷基板40设于安装板30的第2方向侧的面。
[0028]保持部20具有分别电连接于至少一个探针10的至少一个第1连接部201。保持部20还具有至少一个第2连接部202，该至少一个第2连接部202分别电连接于与连接于第1连接部201的探针10不同的其它探针10的至少一者。在图1中示出了第1连接部201配置于第2连接部202的外侧的构造，但第1连接部201也可以配置于第2连接部202的内侧。
[0029]印刷基板40具有形成于第1方向侧的面的第1布线图案401和形成于第2方向侧的面的第2布线图案402。印刷基板40的第1方向侧的面也记载为第1面41，第2方向侧的面也记载为第2面42。即，在第1面41配置有第1布线图案401，在第2面42配置有第2布线图案402。
[0030]电连接装置1还具有第1导电线51和第2导电线52。第1导电线51沿着安装板30的第1方向侧的面延伸，将第1连接部201和第1布线图案401连接起来。第2导电线52越过安装板30的第2方向侧的面而延伸，将第2连接部202和第2布线图案402连接起来。
[0031]在不分别对第1连接部201和第2连接部202进行限定的情况下，记载为连接部200。另外，在不分别对第1布线图案401和第2布线图案402进行限定的情况下，记载为布线图案400。第1导电线51和第2导电线52将印刷基板40的布线图案400和保持部20的连接部200电连接。以下，在不分别对第1导电线51和第2导电线52进行限定的情况下，记载为导电线50。
导电线50为将探针10和印刷基板40的布线图案400连接起来的间隔变换器线(ST
‑
Wire)。ST
‑
Wire的与布线图案400相连接的间隔比ST
‑
Wire的与探针10相连接的间隔宽。
[0032]在实施方式的说明中，将保持部20、安装板30、印刷基板40层叠的方向定义为“上下方向”，将与上下方向垂直的方向定义为“平面方向”。例如，印刷基板40的第2面42的面法线方向为上下方向，第2面42扩展的方向为平面方向。另外，在上下方向上，将从保持部20观察时探针10的前端所处的侧设为下侧，将从保持部20观察时印刷基板40所处的侧设为上侧。即，第1方向侧的面为朝向上下方向的下侧的面。第2方向侧的面为朝向上下方向的上侧的面。以下将“第1方向侧的面”也称为“下表面”，将“第2方向侧的面”也成为“上表面”。
[0033]在俯视时，在设于印刷基板40的中央部分的开口部的内侧配置有安装板3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电连接装置，其用于被检体的特性的检查，其中，该电连接装置具有：多个探针；保持部，该保持部在使所述探针的前端暴露的状态下保持所述探针，且具有：第1连接部，其与所述探针中的一个所述探针电连接；以及第2连接部，其电连接于与连接于所述第1连接部的所述探针不同的其它的所述探针中的一个所述探针；安装板，该安装板在与从所述保持部观察时所述探针的所述前端所处的第1方向侧相反的第2方向侧的面配置于所述保持部；印刷基板，该印刷基板设于所述安装板的所述第2方向侧的面，且具有形成于所述第1方向侧的面的第1布线图案、以及形成于所述第2方向侧的面的第2布线图案；第1导电线，该第1导电线沿着所述安装板的所述第1方向侧的面延伸，将所述第1连接部和所述第1布线图案连接起来；以及第2导电线，该第2导电线越过所述安装板的所述第2方向侧的面而延伸，将所述第2连接部与所述第2布线图案连接起来。2.根据权利要求1所述的电连接装置，其中，所述第1导电线经过形成于所述安装板的所述第1方向侧的面的槽的内部、形成于所述保持部的所述第2方向侧的面的槽的内部、以及在所述安装板与所述印刷基板的交界延伸的槽中的至少任一者。3.根据权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭顺宝，小笠原崇，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：