电连接装置和电连接装置的制造方法制造方法及图纸

电连接装置具备：第1引导板，其具有供探针贯通的第1引导孔；第2引导板，其具有供探针贯通的第2引导孔；以及导入薄膜，其配置于第1引导板与第2引导板之间，具有供探针贯通的导入引导孔。导入薄膜由通过不会溶解第1引导板、第2引导板以及探针的特定的溶剂溶解的材料构成。成。成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电连接装置和电连接装置的制造方法


[0001]本专利技术涉及用于被测量体的特性的测量的电连接装置和电连接装置的制造方法。

技术介绍

[0002]为了在不从晶圆分离的状态下测量集成电路等被测量体，使用具有探针的电连接装置。在使用电连接装置的测量中，使探针的一端部与被测量体的信号端子相接触，使探针的另一端部与配置于印刷基板等的电极端子(以下也称为“焊盘”)相接触。焊盘与IC测试器等测量装置电连接。电信号经由电连接装置在被测量体与测量装置之间传输。
[0003]电连接装置为了保持探针，使用沿着探针的轴线方向配置有多个引导板的探针头。探针头以探针在形成于各引导板的贯通孔(以下称作“引导孔”)中贯通的状态保持探针。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2010
‑
281583号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]在具有引导板的电连接装置的制造中，将探针连续地插入到彼此分开地层叠的多个引导板的引导孔中。此时，存在难以将探针插入到全部的引导板的引导孔中的情况。例如，存在因探针的变形等导致已在最初的引导板的引导孔中贯通的探针与第2张以后的引导板碰撞的问题。
[0009]鉴于上述问题点，本专利技术的目的在于提供能够将探针容易地插入到形成于引导板的引导孔中的电连接装置和电连接装置的制造方法。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本专利技术的一技术方案的电连接装置具备：第1引导板，其具有供探针贯通的第1引导孔；第2引导板，其具有供探针贯通的第2引导孔；以及导入薄膜，其配置于第1引导板与第2引导板之间，具有供探针贯通的导入引导孔。导入薄膜由通过不会溶解第1引导板、第2引导板以及探针的特定的溶剂溶解的材料构成。
[0012]专利技术的效果
[0013]根据本专利技术，能够提供能够将探针容易地插入到形成于引导板的引导孔中的电连接装置和电连接装置的制造方法。
附图说明
[0014]图1是表示本专利技术的实施方式的电连接装置的结构的示意图。
[0015]图2是用于说明本专利技术的实施方式的电连接装置的制造方法的示意性的工序图(其1)。
[0016]图3是用于说明本专利技术的实施方式的电连接装置的制造方法的示意性的工序图(其2)。
[0017]图4是用于说明本专利技术的实施方式的电连接装置的制造方法的示意性的工序图(其3)。
[0018]图5是用于说明本专利技术的实施方式的电连接装置的制造方法的示意性的工序图(其4)。
[0019]图6是用于说明偏移配置的示意图。
[0020]图7是表示比较例的电连接装置的示意图。
[0021]图8是用于说明比较例的电连接装置的制造方法的示意图。
[0022]图9是表示使用了本专利技术的实施方式的电连接装置的探针卡的例子的示意图。
具体实施方式
[0023]接着，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的附图的记载中，对相同或类似的部分标注相同或类似的附图标记。不过，应当留意附图是示意性的，各部的厚度的比例等与现实不同。另外，在附图彼此之间也包含彼此的尺寸的关系、比例不同的部分。以下所示的实施方式例示了用于使本专利技术的技术思想具体化的装置、方法，在本专利技术的实施方式中，构成部件的材质、形状、构造、配置等并不限于下述内容。
[0024]图1表示本专利技术的实施方式的电连接装置1的结构。电连接装置1具有探针头2，探针头2具有保持探针10的功能。探针头2具备第1引导板21、第2引导板22以及第3引导板23。探针头2是第2引导板22和第3引导板23一体化而成的结构。另外，探针头2具备在第1引导板21与第2引导板22之间彼此分开地配置的第1导入薄膜31和第2导入薄膜32。
[0025]如图1所示，探针头2是沿着Z轴方向依次配置第1引导板21、第1导入薄膜31、第2导入薄膜32、第2引导板22以及第3引导板23而成的结构。在此，Z轴方向为保持于探针头2的探针10的轴线方向。将垂直于Z轴方向的平面设为XY平面。
[0026]第1引导板21、第2引导板22、第3引导板23、第1导入薄膜31以及第2导入薄膜32分别具有供探针10贯通的引导孔。将第1引导板21的引导孔称作第1引导孔210，将第2引导板22的引导孔称作第2引导孔220，将第3引导板23的引导孔称作第3引导孔230。另外，将第1导入薄膜31的引导孔称作第1导入引导孔310，将第2导入薄膜32的引导孔称作第2导入引导孔320。
[0027]以下，也将第1引导板21～第3引导板23等探针头2所具有的引导板称作“引导板20”。也将分别形成于引导板20的引导孔称作“引导孔200”。另外，也将第1导入薄膜31和第2导入薄膜32等探针头2所具有的导入薄膜称作“导入薄膜30”。也将分别形成于导入薄膜30的引导孔称作“导入引导孔300”。
[0028]图1所示的探针头2以探针10呈直线状的方式保持探针10。即，以引导板20的引导孔200和导入薄膜30的导入引导孔300各自的中心轴线一致的方式配置有引导板20和导入薄膜30。
[0029]探针头2具有配置于第1引导板21的外缘区域与第2引导板22的外缘区域之间的分隔件40。通过分隔件40，在第1引导板21与第2引导板22之间构成中空区域25。在中空区域25配置有第1导入薄膜31和第2导入薄膜32。如后述那样，在测量被测量体时，探针头2以使探
针10在中空区域25弯曲的状态保持该探针10。
[0030]图1所示的分隔件40是将多个部分分隔件沿着Z轴方向层叠而成的结构。具体而言，分隔件40是将第1分隔件41、第2分隔件42、第3分隔件43这三个部分分隔件沿着Z轴方向在第1引导板21与第2引导板22之间层叠地配置的结构。而且，导入薄膜30的外缘部夹持在部分分隔件彼此之间。即，在第1分隔件41与第2分隔件42之间夹持有第1导入薄膜31的外缘部。在第2分隔件42与第3分隔件43之间夹持有第2导入薄膜32的外缘部。
[0031]此外，在图1中，为了易于理解结构，示出了探针头2保持3根探针10的例子。探针头2所保持的探针10的根数能够根据被测量体的信号端子的个数等任意地设定。
[0032]导入薄膜30由通过特定的溶剂溶解的材料构成，该特定的溶剂不会溶解探针头2的除导入薄膜30以外的其他构成物以及探针10。即，第1导入薄膜31和第2导入薄膜32由不会溶解探针头2的引导板20、分隔件40以及探针10的特定的溶剂溶解。
[0033]例如，导入薄膜30的材料也可以是聚乙烯醇、淀粉、明胶中的任一者。而且，探针头2的除导入薄膜30以外的构成物、即引导板20和分隔件40的材料例如使用陶瓷。另外，探针10的材料使用钯(Pd)、镍(Ni)。在该情况下，也可以使用水来作为不会溶解引导板20、分隔件40以及探针10而是溶解导入薄膜30的特定的溶剂。
[0034]以下，参照图2～图5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电连接装置，其中，该电连接装置具有保持探针的功能，该电连接装置具备：第1引导板，其具有供所述探针贯通的第1引导孔；第2引导板，其具有供所述探针贯通的第2引导孔；以及导入薄膜，其配置于所述第1引导板与所述第2引导板之间，具有供所述探针贯通的导入引导孔，所述导入薄膜由通过特定的溶剂溶解的材料构成，该特定的溶剂不会溶解所述第1引导板、所述第2引导板以及所述探针。2.根据权利要求1所述的电连接装置，其中，以所述第1引导孔、所述第2引导孔以及所述导入引导孔的中心轴线一致的方式配置有所述第1引导板、所述第2引导板以及所述导入薄膜。3.根据权利要求1或2所述的电连接装置，其中，该电连接装置构成为，使所述第2引导孔相对于所述第1引导孔的相对位置沿着与所述探针的延伸方向垂直的方向移动自如。4.根据权利要求1～3中任一项所述的电连接装置，其中，该电连接装置具有分隔件，该分隔件配置于所述第1引导板的外缘部与所述第2引导板的外缘部之间，不会由所述特定的溶剂溶解，在利用所述分隔件构成于所述第1引导板与所述第2引导板之间的中空区域中配置有所述导入薄膜。5.根据权利要求4所述的电连接装置，其中，所述导入薄膜的外缘部被夹持在构成所述分隔件的多个部分分隔件彼此之间。6.根据权利要求1～5中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：成田聪，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：