探针装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第１部位，其朝下；以及第２部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第３部位，其朝上，并能够与上述第１部位抵接；以及第４部位，其朝后，并能够与上述第２部位抵接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探针装置，其用于对液晶显示面板这样的平板状被检查体进行电 测试。
技术介绍
通常，通过采用探针单元、探针组件这样的探针装置的检查装置、即测试装置对液 晶显示面板这样的平板状被检查体进行检查、即测试。作为这种探针装置之一，存在专利文 献1所记载的装置。专利文献1所记载的探针装置包括安装于测试装置的主架上的板状的探针座、安 装于探针座的连结组件、能够调整高度位置地悬架在连结组件上的支承组件、以及将多个 探针支承于探针支架上并组装于支承组件的探针组件(探针组装体)。探针支架在自该探针支架向上方突出的凸部插入在形成于滑动组件的凹部的状 态下利用一对螺纹构件安装于连结组件。由此，探针组件能够自支承组件解除地维持在该 支承组件上。各探针具有板状的针中央区域、自该针中央区域一体地向前方延伸的针前部区 域、自该针前部区域向下方延伸的顶端针尖、自针中央区域一体地向后方延伸的针后部区 域、以及自该针后部区域向上方延伸的后端针尖。这种探针以使针中央区域面对的状态配 置、支承在探针支架上。探针组装体除探针和探针支架之外还包括沿着探针厚度方向贯穿针中央区域地 延伸并在两端部支承于探针支架的导杆、为了接纳针前部区域而具有在左右方向上隔开间 隔的多个槽且支承于探针支架的前侧槽杆、以及为了接纳针后部区域而具有在左右方向上 隔开间隔的多个槽且支承于探针支架的后侧槽杆。在专利文献1所记载的探针装置中，探针被导杆支承于探针支架，而且使其顶端 针尖和后端针尖分别自对应的槽杆的槽向前方和后方突出。在这种探针装置中，一旦顶端 针尖和后端针尖分别被按压在被检查体的电极和载带自动键合带这样的配线片的连接部 上，各探针会受到过载驱动力(overdrive)的作用，探针相对于探针支架在前后方向和上 下方向上的位移量就根据存在于各探针与导杆之间的间隙的大小而不同。由于设计上和加工上的允许公差，无法避免在探针与导杆之间形成上述那样的间 隙。结果，顶端针尖与被检查体的电极之间的接触、及后端针尖与配线片的连接部之间的电 接触不稳定，无法进行正确的测试。为了解决上述课题，在专利文献2所记载的探针装置中，将上述导杆作为定位销， 而且在各探针的针中央区域的顶端部和后端部分别设置朝向前方敞开的二字形的第1及 第2凹部，在顶端侧槽杆和设置于组件片后端部的承载杆中分别设置向后方突出而与第1 及第2凹部嵌合的第1及第2凸部。在专利文献2所记载的探针装置中，将导杆作为定位销、第1凹部和第1凸部嵌 合、以及第2凹部和第2凸部嵌合，从而降低了过载驱动力作用于各探针时探针相对于组件片的位移量之差。可是，即使如上述那样进行设计，在设计上和加工上允许销构件与探针的嵌合部、 第1凹部和第1凸部的嵌合部、及第2凹部和第2凸部的嵌合部的间隙，而且在加工上及组 装作业上难以使这种间隙为零。鉴于上述结果，在专利文献2所记载的探针装置中，只是能够将过载驱动力作用 于各探针时探针相对于探针支架(特别是组件片)的位移量之差减小一定程度。因此，在 专利文献2所记载的探针装置中，顶端针尖与被检查体的电极之间的接触、及后端针尖与 配线片的连接部之间的接触不稳定，无法进行正确的测试。专利文献1 日本特开2004-191064号公报专利文献2 日本特开2009-115585号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行 正确的测试。本专利技术的探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针，该探针具有针 中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间 隔地配置有多个上述探针；上述探针支架和上述探针中的任一者包括第1部位，其朝下； 以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括第3部位，其朝上，并能 够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。也可以是，上述第2部位和上述第4部位分别在上下方向上离开上述第1部位和 上述第3部位。也可以是，上述针中央区域具有沿上下方向和前后方向延伸的板状，上述探针还 包括针前部区域，其自上述针中央区域的前端部向前方延伸；顶端针尖，其自上述针前部 区域的前端部向下方延伸；针后部区域，其自上述针中央区域的后端部向后方延伸；以及 后端针尖，其自上述针后部区域的后端部向上方延伸。也可以是，上述第1部位和上述第2部位设置于上述探针支架，上述第3部位和上 述第4部位设置于上述探针的上述针中央区域的前端部，多个上述探针使上述针中央区域 相对。也可以是，上述探针支架和上述探针中的任一者还在自上述第1部位向上方隔开 间隔的部位包括第5部位，该第5部位朝后，上述探针支架和上述探针中的另一者还在自上 述第3部位向上方隔开间隔的部位包括第6部位，该第6部位朝前并能够与上述第5部位 抵接。也可以是，上述第5部位设置于上述探针支架，上述第6部位设置于上述探针的上 述针中央区域的前端部。也可以是，上述探针支架和上述探针中的任一者还包括凸部，该凸部向前方或后 方突出，上述探针支架和上述探针中的另一者还包括抵接部，该抵接部供上述凸部抵接。也可以是，上述探针的后端针尖自上述针后部区域向上方并与该针后部区域的延 伸方向成直角地延伸。也可以是，在左右方向上相邻的上述后端针尖使上述针后部区域一侧的部位相对，并且使上述探针的后部侧的针尖在前后方向上位移。也可以是，上述探针支架包括多个第1槽，该第1槽向下方和后方敞开且在左右 方向上隔开间隔地沿前后方向延伸，并接纳上述针前部区域的至少一部分；以及多个第2 槽，该第2槽处于自上述第1槽向后方隔开间隔的位置，并向前方和下方敞开且在左右方向 上隔开间隔地沿前后方向延伸，接纳上述针后部区域的至少一部分。也可以是，上述探针支架还包括多个第3槽，该第3槽向后方敞开且在左右方向上 隔开间隔地沿上下方向延伸，并接纳上述针中央区域的前端部的至少一部分。也可以是，上述探针支架还包括多个第4槽，该第4槽处于自上述第3槽向后方隔 开间隔的位置，并向前方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸，接纳上述针中 央区域的后端部的至少一部分。也可以是，上述探针组装体还包括至少1个杆构件，该杆构件贯穿上述探针的上 述针中央区域而沿左右方向延伸；以及板状的罩，该罩能够拆卸地组装在上述探针支架的 左右方向上的各侧部，并将上述杆构件的端部支承于上述探针支架。也可以是，上述探针装置还包括支承组件；结合组件，其配置在上述支承组件的 下侧，并在该结合组件的下侧组装有上述探针组装体；以及组装装置，其将上述结合组件组 装到上述支承组件的下侧；上述组装装置包括凹部，其形成于上述结合组件和上述支承 组件中的任一者；连结构件，其嵌合于上述凹部；第1螺纹构件，其将上述连结构件组装到 上述结合组件或者上述支承组件；以及第2螺纹构件，其在上下方向上贯穿上述连结构件 而螺纹接合于上述结合组件和上述支承组件中的另一者。也可以是，上述探针装置包括配线片，该配线片处于上述结合组件的下侧，并配置 在比上述探针组装体靠向后方的部位，该配线片在下表面具有在左右方向上隔开间隔的多 个连接部，上述探针组装体在上述结合组件的下侧组装成上述探针的后部侧针尖接触于上 述连接部的状态。探针组装体在各探针的后端针尖被按压于配线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针装置，包括探针组装体，该探针组装体包括：多个探针，该探针具有针中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔地配置有多个上述探针；上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第１部位，其朝下；以及第２部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第３部位，其朝上，并能够与上述第１部位抵接；以及第４部位，其朝后，并能够与上述第２部位抵接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：久我智昭，安田贵生，小笠原树理，清野洋二，中屋敷勇太，三浦一佳，赤平惠，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[]