集成电路直流测试探针装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种集成电路直流测试探针装置，其包括探针台和探针基座，探针基座的一端设有探针，探针台上设有呈矩阵排列的多个固定孔，探针基座的底面设有与多个固定孔一一对应的安装孔，每一安装孔内设有与固定孔相适配的电磁铁柱，探针基座内设有电磁控件，当电磁控件通电时，电磁控件驱动电磁铁柱从安装孔伸出并伸入固定孔中，当电磁控件断电时，电磁控件驱动电磁铁柱缩回安装孔内。通过上述方式，本实用新型专利技术能够根据测试需要固定或移动探针基座。

Integrated circuit DC test probe device

The utility model provides an integrated circuit device includes a DC test probe, probe and probe base, one end of the probe base is provided with a probe, a probe station is provided with a plurality of fixing holes arranged in a matrix, the probe of the bottom surface of the base is provided with a mounting hole corresponding to a plurality of fixing holes, each mounting hole is the electromagnetic iron and matched with the fixing holes, the probe base is arranged in the electromagnetic control, electromagnetic control when energized, the electromagnetic driving control electric magnet from the mounting hole extending and extends into the fixed hole, when the electromagnetic control power, electromagnetic drive control electromagnetic iron retracted in the mounting hole. By the method, the utility model can fix or move the probe base according to the test requirement.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电流测试装置
，特别是涉及一种集成电路直流测试探针装置。
技术介绍
当前，集成电路的体积越来越小、功能越来越多，更高的集成度导致芯片面积越来越小，所需的测试要求探针越来越细，各个探针间距越来越近，对集成电路测试，尤其是研发阶段大量应用的手动测试、在片测试提出新的挑战。与全自动测试相比，手动测试无需购买探针卡，无需进行测试编程，成本更低，测试更换方便，但测试时间较长，所以手动测试适合应用于产品研发阶段。在实际的手动探针测试过程中存在以下缺陷：由于探针越来越细，一旦操作不慎引起轻微碰撞即会损伤针尖，造成测试误差；手动测试一般用于研发阶段，所研发的产品尺寸不定，而探针针头伸缩量程一般较小，需移动探针基座，而现有的测试装置探针基座通常都是固定不动的。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种集成电路直流测试探针装置，能够根据测试需要固定或移动探针基座。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种集成电路直流测试探针装置，包括探针台和探针基座，所述探针基座的一端设有探针，所述探针台上设有呈矩阵排列的多个固定孔，所述探针基座的底面设有与所述多个固定孔一一对应的安装孔，每一所述安装孔内设有与所述固定孔相适配的电磁铁柱，所述探针基座内设有电磁控件，当所述电磁控件通电时，所述电磁控件驱动所述电磁铁柱从所述安装孔伸出并伸入所述固定孔中，当所述电磁控件断电时，所述电磁控件驱动所述电磁铁柱缩回所述安装孔内。优选地，所述探针基座内设有手动驱动单元，所述手动驱动单元用于驱动所述探针前后、左右或上下移动。优选地，相邻两个固定孔之间的间距为0.5～5cm，所述固定孔的深度为20～50mm。优选地，所述固定孔的形状为正方形，所述固定孔的边长为0.5～5cm。优选地，所述固定孔的形状为圆形，所述固定孔的直径为0.5～5cm。区别于现有技术的情况，本技术的有益效果是：通过在探针台设置呈矩阵排列的多个固定孔，探针基座置于探针台上，探针基座的底面具有与固定孔相适配的电磁铁柱，电磁铁柱能够在电磁特性作用下伸缩，当通电时，电磁铁柱伸入固定孔中，探针基座被固定，当断电时，电磁铁柱缩回，探针基座可在探针台上移动，从而能够根据测试需要固定或移动探针基座，可以便于探针的移动，探针不易损坏。附图说明图1是本技术实施例集成电路直流测试探针装置的结构示意图。图2是本技术实施例集成电路直流测试探针装置的探针台的俯视示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。一并参见图1和图2，本实施例的集成电路直流测试探针装置包括探针台1和探针基座2，探针基座2的一端设有探针21，探针台1上设有呈矩阵排列的多个固定孔11，探针基座2的底面设有与多个固定孔11一一对应的安装孔22，每一安装孔22内设有与固定孔11相适配的电磁铁柱23，探针基座2内设有电磁控件3，当电磁控件3通电时，电磁控件3驱动电磁铁柱23从安装孔22伸出并伸入固定孔11中，当电磁控件3断电时，电磁控件3驱动电磁铁柱23缩回安装孔22内。在本实施例中，探针基座2内设有手动驱动单元4，手动驱动单元3用于驱动探针21前后、左右或上下移动。固定孔11主要用于固定电磁铁柱23，在一个具体应用中，相邻两个固定孔11之间的间距为0.5～5cm，固定孔11的深度为20～50mm。固定孔11的形状可以为正方形或圆形，相应地，电磁铁柱23也为正方形或圆形，固定孔11的形状为正方形时，固定孔11的边长为0.5～5cm，固定孔11的形状为圆形时，固定孔11的直径为0.5～5cm。为了保证可靠性，探针基座2除了电磁铁柱23外均不具有电磁铁特性。探针台1可以采用软磁材料，例如铁、钴、镍等及其合金等。为了手动操作的方便，可以在探针基座2上设置电源开关按钮和探针操作面板，当需要固定探针基座2时，可打开电源开关按钮，电磁控件3通电，电磁控件3将电磁铁柱23伸出安装孔22并伸入固定孔11中，使探针基座2固定在探针台1上，利于测试顺利进行。当需要移动探针基座2时，可关闭电源开关按钮，电磁控件3断电，电磁铁柱23缩回安装孔22内，使得探针基座2可以在探针台1上自由移动。探针21采用针扎的方式进行直流测试，可以在探针操作面板上控制探针21在小范围内前后、左右、上下移动。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路直流测试探针装置，其特征在于，包括探针台和探针基座，所述探针基座的一端设有探针，所述探针台上设有呈矩阵排列的多个固定孔，所述探针基座的底面设有与所述多个固定孔一一对应的安装孔，每一所述安装孔内设有与所述固定孔相适配的电磁铁柱，所述探针基座内设有电磁控件，当所述电磁控件通电时，所述电磁控件驱动所述电磁铁柱从所述安装孔伸出并伸入所述固定孔中，当所述电磁控件断电时，所述电磁控件驱动所述电磁铁柱缩回所述安装孔内。

【技术特征摘要】
1.一种集成电路直流测试探针装置，其特征在于，包括探针台和探针基座，所述探针基座的一端设有探针，所述探针台上设有呈矩阵排列的多个固定孔，所述探针基座的底面设有与所述多个固定孔一一对应的安装孔，每一所述安装孔内设有与所述固定孔相适配的电磁铁柱，所述探针基座内设有电磁控件，当所述电磁控件通电时，所述电磁控件驱动所述电磁铁柱从所述安装孔伸出并伸入所述固定孔中，当所述电磁控件断电时，所述电磁控件驱动所述电磁铁柱缩回所述安装孔内。2.根据权利要求1所述的集成电路直流测试探针装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈一峰，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51