【技术实现步骤摘要】
具有一探针装置的测试系统及转位机构本申请是申请日为2012年7月6日,申请号为201280041706.1的专利技术专利申请的分案申请,在此通过引用将原母案申请全部内容结合到本申请中。本申请要求2011年7月6日递交的申请名称为“具有探针卡和连接器机构的测试设备”的美国临时申请61/504907的权益,该美国临时申请案的全部内容以引用的方式包括到本申请中。本申请还要求于2012年1月31日提出申请名称为“具有探测设备和转位机构的测试设备”的美国临时申请61/592760的权益,该美国临时申请的全部内容以引用的方式包括到本申请中。
通常地,本专利技术涉及测试设备及系统,具体地,用于测试半导体器件的测试设备及系统。更具体地,本申请揭示的内容涉及具有探针卡的系统及装置,该探针卡可与其他测试设备一起用于电探测半导体器件,例如半导体晶圆或微机电系统(MEMS)器件。
技术介绍
在半导体工业中例如使用使晶圆探测及测试可能会更高效、准确。随着半导体工业发展且器件变得越来越小,测试晶圆所需的设备变得更加复杂、昂贵。为了使投资回报最大化,必须高效地利用复杂、昂贵的设备。测试要求的复杂性意味着该设备还必须高效地执行诊断测试。由于电以及机械使用,当探针磨损以及探针吸附微粒时,用于探测晶圆的探针卡也会磨损劣化。目前为了在探针卡磨损时对其进行替换,在替换探针卡时必须将探测器及测试器停止。替换探针卡需要花费数分钟,该时间可用于测试晶圆。替换晶圆的动作还可以改变晶圆/探针卡/探测器/测试头系统的机械配合,从而导致不同的电结果。主板诊断卡改变的验证则可以超过两倍于前述的停机时间。专利技术 ...
【技术保护点】
一种用于测试一受测试器件的系统,包括:一电路板,所述电路板具有一信号接触结构及一防护接触结构,所述电路板被配置为一板片,所述板片具有一顶部侧、一底部侧以及通过所述顶部侧和底部侧的一开口;多个探针卡,每个所述多个探针卡包括一导线导引器、与该导线导引器连接的一探针块、由所述导线导引器及探针块支撑的多个探针导线,所述探针导线通过所述导线导引器以及所述探针块被定位,所述探针导线包括延伸通过所述探针块的一探针尖端,所述探针尖端形成一阵列以探测所述受测试器件,所述探针导线包括自所述导线导引器暴露的一信号传输部分以及一防护部分,所述信号传输部分以及所述防护部分形成一接触结构,并通过所述阵列被安置于每个所述多个探针卡的一侧上;以及一托架机构,所述托架机构被配置用于将所述多个探针卡定位到所述电路板上,并通过一气动操作以及一自动化控制自所述多个探针卡的第一探针卡切换到所述多个探针卡的另一个探针卡;其中,任何所述多个探针卡的所述探针块可插入到所述电路板的所述开口中以允许所述阵列探测所述受测试器件,所述探针卡的所述接触结构可与所述电路板上的所述信号接触结构以及防护接触结构接触,所述电路板上所述接触结构与所述信 ...
【技术特征摘要】
2011.07.06 US 61/504,907;2012.01.31 US 61/592,7601.一种用于测试一受测试器件的系统,包括:一电路板,所述电路板具有一信号接触结构及一防护接触结构,所述电路板被配置为一板片,所述板片具有一顶部侧、一底部侧以及通过所述顶部侧和底部侧的一开口;多个探针卡,每个所述多个探针卡包括一导线导引器、与该导线导引器连接的一探针块、由所述导线导引器及探针块支撑的多个探针导线,所述探针导线通过所述导线导引器以及所述探针块被定位,所述探针导线包括延伸通过所述探针块的一探针尖端,所述探针尖端形成一阵列以探测所述受测试器件,所述探针导线包括自所述导线导引器暴露的一信号传输部分以及一防护部分,所述信号传输部分以及所述防护部分形成一接触结构,并通过所述阵列被安置于每个所述多个探针卡的一侧上;以及一托架机构,所述托架机构被配置用于将所述多个探针卡定位到所述电路板上,并通过一气动操作以及一自动化控制自所述多个探针卡的第一探针卡切换到所述多个探针卡的另一个探针卡;其中,任何所述多个探针卡的所述探针块可插入到所述电路板的所述开口中以允许所述阵列探测所述受测试器件,所述探针卡的所述接触结构可与所述电路板上的所述信号接触结构以及防护接触结构接触,所述电路板上所述接触结构与所述信号接触结构和所述防护接触结构的接触允许信号通过所述探针导线以及电路板而被传送。2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,每个所述多个探针卡包括一安置于每个所述多个探针卡另一侧上的固位体部件,其中,所述固位体部件包括一插座,所述插座被配置用于接纳一球形架座。3.如权利要求2所述的系统,其特征在于,进一步包括:一固持器,所述固持器具有多个探针卡站,所述探针卡站具有一连接器结构,以连接到任何所述多个探针卡的所述固位体部件以及断开自任何所述多个探针卡的所述固位体部件的连接,并允许所述多个探针卡与所述电路板和所述受测试器件两者接触,其中,所述固持器包括至少五个位置,任何所述多个探针...
【专利技术属性】
技术研发人员:布莱恩·J·鲁特,威廉·A·芬克,约翰·L·戴克李,
申请(专利权)人:塞莱敦体系股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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