探针卡检测系统技术方案

本实用新型专利技术有关于一种探针卡检测系统，包括一机台、一载放座、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺及一控制器。机台设置有一上方三轴位移机构，载放座架设于机台。数据库存有一数据文件，数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据。影像撷取装置与三轴光学尺固定于上方三轴位移机构，控制器电性连接于数据库、影像撷取装置及三轴光学尺。由此，可达到非接触量测探针卡的探针变形位移及平坦度的目的。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种探针卡检测系统，尤指一种检测探针卡堪用度的系统。
技术介绍
当硅晶片上的集成电路元件完成制作后，在进行后续封装流程前，需经过硅晶片 测试流程，以淘汰不良的集成电路元件，使封装的良率提高。一般而言，硅晶片测试的方法 是利用多根探针相对应地接触集成电路元件上的电接点(Pad)，由此量测集成电路元件的 电性特性，以判别集成电路的良窳。当探针卡使用一段时间后会不可避免地发生探针变形、 磨损的问题，因此需进行探针检测以判别是否需修补。目前探针卡物理数据测量有人工/自动两种方式，人工检查仅能通过工具显微镜 对每根探针进行测量探针位置变化、探针先端长度(Tiplength)、平坦度(Planarity)等。 现有探针卡检测方式的缺点在于测量耗时长、测量值不能排除个人视觉误差。而目前自动 检测设备缺点在于不能测量探针先端长度，需以人工检查互补，形成多任务位转换，浪费人 力以及检查时间。尤其关于平坦度量测是采用接触式量测，亦即以探针在一检测治具平面上滑行， 会造成治具材料耗损，也导致形成的凹槽内堆积颗粒，因而所测得平坦度被低估。
技术实现思路
为了解决现有技术的问题，本技术的目的是提供一种探针卡检测系统。本技术的探针卡检测系统，用于检测一探针卡的堪用度，检测系统包括一机 台、一载放座、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺及一控制器。上述机台设置有一上方三轴位移机构，载放座架设于机台。上述数据库存有一数 据文件，数据文件包括有对应探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据。影像撷取装置与三轴光学尺固定于上方三轴位移机构，控制器电性连接于数据 库、影像撷取装置及三轴光学尺。上述载放座可以是枢设于机台。检测系统可还包括与控制器电性连接的一上方电 性量测头、一下方三轴位移机构及一下方电性量测头，其中上方电性量测头固定于上方三 轴位移机构，下方电性量测头固定于下方三轴位移机构。由此，可同时量测探针卡上接点组 的异常与否。检测系统可还包括一警示器，与控制器电性连接。警示器例如为一蜂鸣器或一发 光装置，以让工作人员实时得知探针卡量测异常结果。本技术的有益效果本技术通过此系统设计，可避免现有因接触式量测 探针平坦度所导致治具损耗以及测量结果不准确情形，也免除以人工操作显微镜进行测量 的费时且不可靠作业模式。本技术可达到非接触量测探针卡的探针变形位移及平坦度 的目的。附图说明图1是本技术一较佳实施例的探针卡检测系统立体图。图2是本技术一较佳实施例的探针卡检测系统元件电性连接示意图。图3是本技术一较佳实施例的探针卡检测方法流程图。图4是本技术一较佳实施例的探针卡区域划分示意图。图5是本技术一较佳实施例的探针卡检测系统量测探针先端长度示意图。图6是本技术一较佳实施例的探针卡检测系统量测探针卡接点组电性导通 示意图。主要元件符号说明机台10，控制器12，计算单元122，数据库13，三轴光学尺15，Y轴光学尺152，上方三轴位移机构16，Y 轴位移器 162，172，下方三轴位移机构17，下方电性量测头19，电路板面501，探针载放座11， 比对单元121，电性量测单元123， 影像撷取装置14， X轴光学尺151， Z轴光学尺153， X轴位移器161，171， Z轴位移器163，173， 上方电性量测头18， 探针卡50， 探针面502， 上方接点50 , 警示器51， 探针针尖点Pl， 503，下方接点504b，区域Al，A2，A3，A4，探针转折点P1,探针转折点P2。具体实施方式参考图1与图2，分别为探针卡检测系统立体图及其元件电性连接示意图。本实用 新型是利用一检测系统检测一探针卡的堪用度，图中示出检测系统包括一机台10、一载放 座11、一控制器12、一数据库13、一影像撷取装置14、一三轴光学尺15、一上方电性量测头 18与一下方电性量测头19。载放座11架设于机台10，本例中使用一种可受控翻转的载放 座11。机台10设置有一上方三轴位移机构16与一下方三轴位移机构17，分别位于载放座 11的相反侧。每一个三轴位移机构16，17是由一 X轴位移器161，171、一 Y轴位移器162，172、 一 Z轴位移器163，173所构成，分别负责X轴、Y轴、Z轴三方向的位移任务。而三轴光学 尺15是由一 X轴光学尺151、一 Y轴光学尺152、一 Z轴光学尺153所构成，分别负责X轴、 Y轴、Z轴三方向的位移量测任务。影像撷取装置14、三轴光学尺15及上方电性量测头18固定于上方三轴位移机构 16。下方电性量测头19固定在下方三轴位移机构17。控制器12电性连接于数据库13、影 像撷取装置14、三轴光学尺15、两电性量测头18，19、两三轴位移机构16，17。实施例中，控制器12与数据库13是整合成一人机接口即计算机型态。控制器12包括有一比对单元121、一计算单元122及电性量测单元123。数据库 13存有数据文件，数据文件内容包括有对应探针卡50上多个区域的多根探针XY坐标信息 的多组基准数据，其表示完好堪用的探针卡状态下所测得作为参考基准的三轴坐标信息。参考图1 3，欲检测探针卡堪用度可依下列步骤流程进行。在步骤A中，先将待 测探针卡50置放在载放座11而定位，且探针卡50是以具有探针503 —面(称探针面502) 朝上摆置。步骤B中，复归影像撷取装置14至一坐标原点，也就是透过基本预设程序来做系 统坐标归零的动作。此处同时另外参考图4，步骤C中，利用上方三轴位移机构16于XY平 面移动影像撷取装置14至第一个区域Al，以撷取区域内的多根探针针尖影像。因为探针卡 50的区域划分是预先做好的，例如划分为N个区域，则将各区域依序标记为Al AN(图中 仅示出四个区域Al，A2，A3，A4做为代表)，故影像撷取装置14移往各区域的定位动作是可 以很容易透过设计程序于控制器12来达到。步骤D中，透过上方三轴位移机构17于Z轴方向移动影像撷取装置14至获得第 一个清晰探针针尖影像(对准探针针尖点Pi操作，见图幻，接着沿XY平面移动至对应清晰 探针针尖影像的探针(以影像撷取装置镜头的标线对准探针针尖)，于此时记录三轴光学 尺显示的一组实测坐标数据，即包括X轴坐标值、Y轴坐标值、Z轴坐标值。在此步骤中也 于ζ轴方向移动该影像撷取装置14至获得第一个清晰探针转折点影像以及记录一探针转 折点Z坐标值，对准探针转折点P2操作，如图5所示。在步骤E中，对第一区域Al的其余探针影像重复步骤D，以得到单一区域所有组实 测坐标数据。在步骤F中，对其余区域A2 AN的所有探针重复步骤C E，得到所有区域 Al AN所有组实测坐标数据。在步骤G中，一旦得到探针卡50所有探针的实测坐标信息，便可透过控制器12的 计算单元122计算所有实测坐标数据与对应的基准数据关于X坐标值的差值与Y坐标值的 差值，并计算所有组实测坐标数据的中位Z坐标值与其它Z坐标值的差值。X坐标值的差值 与Y坐标值的差值即代表探针在X坐标与在Y坐标方向的变化量。在步骤H中，当所有探针的X坐标与Y坐标变化量都已得知，也表示掌握了探针卡 50上探针整体位移分布概况，此时便可透过比对单元121依据数据库13所设定本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种探针卡检测系统，其特征在于，用于检测一探针卡的堪用度，该检测系统包括：一机台，设置有一上方三轴位移机构；一载放座，架设于该机台；一数据库，存有一数据文件，该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针ＸＹ坐标信息的多组基准数据；一影像撷取装置，固定于该上方三轴位移机构；一三轴光学尺，固定于该上方三轴位移机构；以及一控制器，电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺。

【技术特征摘要】
1.一种探针卡检测系统，其特征在于，用于检测一探针卡的堪用度，该检测系统包括 一机台，设置有一上方三轴位移机构；一载放座，架设于该机台；一数据库，存有一数据文件，该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针 XY坐标信息的多组基准数据；一影像撷取装置，固定于该上方三轴位移机构；一三轴光学尺，固定于该上方三轴位移机构；以及一控制器，电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺。2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，该载放座...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝亚慧，
申请(专利权)人：京隆科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32