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探针卡检测系统技术方案
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文档序号:6735582
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本实用新型有关于一种探针卡检测系统,包括一机台、一载放座、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺及一控制器。机台设置有一上方三轴位移机构,载放座架设于机台。数据库存有一数据文件,数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多...
该专利属于京隆科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京隆科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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