用于探针卡的互连组件制造技术

提供了一种互连组件，该互连组件用于提供探针卡组件的元件之间的电互连。该互连组件包括限定多个开口的框架以及耦接到该框架的多个导电触点。所述导电触点中的每一个包括（ａ）远离该框架的第一表面而延伸的第一弹性臂和（ｂ）远离该框架的第二表面而延伸的第二弹性臂。该第一弹性臂或该第二弹性臂中的至少一个贯穿所述多个开口中的一个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及互连组件，尤其涉及适用于用来测试集成电路器件(例如半导体晶片)的探针卡的互连组件。
技术介绍
探针卡通用于包括存储器芯片的集成电路器件的测试。探针卡的一个实例是来自Kulicke and Soffa Industries，Inc.的探针卡，该探针卡在一个侧面上具有金属探针的阵列，该金属探针的阵列被设置成与被测器件(DUT)(例如晶片上的管芯)上的通常为垫(pad)或隆起(bump)形式的外部电触点相接触。示范探针例如可以一端耦接到衬底(例如空间转换物(space transformer))或者安装在探针头内。典型的探针卡还包括印刷电路板(PCB)，该PCB具有可以连接到电子测试系统的迹线(trace)。空间转换物典型地被包括在其中该PCB上的迹线的间隔比待测试的集成电路器件上的垫的间隔更宽的应用中。在某些测试组件中，探针卡使用接口系统电连接到电子测试系统的测试头。例如，该接口系统可以包括安装在载体上的双头导电弹性针脚，也称为“pogo”针脚。每个pogo针脚的一端接触探针卡的导电垫。pogo针脚的另一端接触测试装置。转让给本申请的受让人的美国专利No.6,114,869描述了这种接口系统的一个实例。探针卡常常包括设置在PCB和空间转换物之间的内插物(interposer)。令人遗憾的是，许多传统探针卡的内插物(例如pogo针脚配置)机械上复杂并且昂贵，并且结构常常难以提供探针卡组件中所期望的紧密节距(pitch)。因此，期望提供一种克服了传统内插物的一个或多个缺点的用于探针卡的互连结构。
技术实现思路
根据本专利技术的示范实施例，提供了一种用于提供探针卡组件的元件之间的电互连的互连组件。该互连组件包括限定多个开口的框架和耦接到该框架的多个导电触点。每个导电触点包括(a)远离该框架的第一表面而延伸的第一弹性臂和(b)远离该框架的第二表面而延伸的第二弹性臂。该第一弹性臂或第二弹性臂中的至少一个贯穿多个开口中的一个。根据本专利技术的另一个示范实施例，提供了一种探针卡组件。该探针卡组件包括空间转换物，该空间转换物包括与该空间转换物的第一表面相邻的第一多个导电区；以及印刷电路板，该印刷电路板包括与该印刷电路板的第一表面相邻的第二多个导电区。该探针卡组件还包括提供该空间转换物和该印刷电路板之间的电互连的互连组件。该互连组件包括(a)限定多个开口的框架和(b)耦接到该框架的多个导电触点。每个导电触点包括(1)远离该框架的第一表面而延伸的第一弹性臂和(2)远离该框架的第二表面而延伸的第二弹性臂。该第一弹性臂或第二弹性臂中的至少一个贯穿多个开口中的一个。根据本专利技术的又一个示范实施例，提供了一种用于提供探针卡组件的元件之间的电互连的内插物。该内插物包括第一互连组件和第二互连组件。该第一互连组件包括(1)限定多个第一开口的第一框架和(2)耦接到该第一框架的多个第一导电触点。每个第一导电触点包括(a)远离该第一框架的第一表面而延伸的第一弹性臂和(b)远离该第一框架的第二表面而延伸的第二弹性臂。该第一导电触点的第一弹性臂或第二弹性臂中的至少一个贯穿多个第一开口中的一个。该第二互连组件包括(1)限定多个第二开口的第二框架和(2)耦接到该第二框架的多个第二导电触点。每个第二导电触点包括(a)远离该第二框架的第一表面而延伸的第一弹性臂和(b)远离该第二框架的第二表面而延伸的第二弹性臂。该第二导电触点的第一弹性臂或第二弹性臂中的至少一个贯穿多个第二开口中的一个。在第一互连组件的第一导电触点和第二互连组件的第二导电触点的对应对之间提供导电路径。附图说明为了说明本专利技术，附图中示出了本专利技术的目前为优选的形式。但是，应当理解，本专利技术并不限于所示出的精确装置和手段。图1是根据本专利技术示范实施例的包括内插物的探针卡组件的一部分的示意性视图。图2是根据本专利技术示范实施例的包括互连组件的探针卡组件的一部分的示意性侧视图。图3A是根据本专利技术示范实施例的互连组件的导电触点的透视图。图3B是根据本专利技术示范实施例的包括多个导电触点的互连组件的一部分的透视图。图3C是图3B的互连组件的所述部分的顶视图。图3D是图3B的互连组件的所述部分的侧视图。图4A是根据本专利技术示范实施例的互连组件的导电触点的透视图。图4B是根据本专利技术示范实施例的包括多个导电触点的互连组件的一部分的透视图。图5A是根据本专利技术示范实施例的两个互连组件的一部分的透视图。图5B是图5A的侧视图。具体实施例方式美国专利No.5,629,837、6,042,387和6,890,185以及美国专利申请公开号No.2005/0159025以及美国临时专利申请No.60/645,895和60/646,927涉及电连接技术，并且它们每个都通过引用整体结合于此。在本专利技术的某些示范实施例中，提供了一种用于提供竖直探针卡组件中的衬底(例如MLO或MLC空间转换物)和印刷电路板(PCB)之间的电互连的内插物。示范内插物包括位于两个互连组件之间的绝缘片(例如间隔物(spacer)衬底)。该绝缘片具有从绝缘片的一个侧面延伸到另一侧面的导体(例如被镀的通路)。每个互连组件包括一层绝缘材料和多个导电触点。每个互连组件的导电触点被设置成以便从互连组件的两侧弹性地突出。导电触点被放置成从互连组件的一个侧面延伸并且与绝缘片上的导体接触。导电触点被放置成从互连组件的另一侧面延伸并且与相邻的导电垫、如PCB或衬底上的导电垫接触。在本专利技术的示范实施例中，绝缘片是位于所述两个互连组件之间的印刷电路板(PCB)。PCB中的导体是提供从PCB的一个侧面到另一侧面的导电连接的阵列的通孔或通路。本专利技术的基本方面可以以若干形式相组合。各种构造的优选方面可以彼此相结合使用或者单独使用。各种特征提供某些优于现有技术的优点。在阅读了说明书和附图后，本领域技术人员将理解这里所描述的这些优点。参考附图，其中同样的标号标识各附图中同样的元件，图1示出了根据本专利技术的探针卡组件的一部分的示意性视图，总体上用标号10表示。探针卡组件10包括印刷电路板(PCB)12、内插物14、衬底(例如空间转换物)16和探针头18。探针头18包括大量的探针针脚20，在使用探针卡10时，这些探针针脚20意图与待测试的集成电路器件(未示出)上的外部垫、隆起、或其他电触点接合。内插物14和空间转换物16可以通过止动环22、使用安装螺钉或其他合适的紧固件24来保持在一起并固定到PCB 12。由诸如销钉26的导向装置来提供对准。还图示了间隔物28。应当理解，本专利技术就应用而言并不局限于具有与探针头接合的探针针脚的探针卡。探针卡的探针针脚例如可以耦接到没有探针头的衬底(例如空间转换物)。可以使用为本领域技术人员所公知的任何适当的探针设置，并因此无需进行进一步的描述。再次参考图1所示的示范配置，在使用中，探针针脚20的后端(如图1所示的上端)被设置成以便与空间转换物16的探针侧面上的探针垫(图1中未示出)接合。探针针脚20的配置和定位被设计成提供待测试的集成电路器件上的触点和空间转换物16的探针垫之间的必要电连接。与探针针脚20相对的空间转换物16的侧面(图1中的顶面)有时还称为“PCB面”，其具有被设计成电连接到PCB 12上的触点(PCB 12上的触点未在图1的示意性表示中示出)的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于提供探针卡组件的元件之间的电互连的互连组件，该互连组件包括：限定多个开口的框架；以及耦接到所述框架的多个导电触点，每个导电触点包括（ａ）远离所述框架的第一表面而延伸的第一弹性臂和（ｂ）远离所述框架的第二表面而延伸的第 二弹性臂，所述第一弹性臂或所述第二弹性臂中的至少一个贯穿所述多个开口中的一个。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉姆杰凯特，吉恩托克拉克斯，史蒂夫法尔纳，
申请(专利权)人：安拓锐高新测试技术有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]