【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种大规模集成电路测试中使用的。
技术介绍
现有的垂直探针卡结构如图1所示，事先按产品PAD(用于芯片输入/输出引线或测试时扎针用的做在芯片上的金属垫片)的坐标在定位板B3上打孔，将探针通过PCB(印刷电路板)板8放入定位板B3，然后从探针的下面将打好孔的定位板A1安装上去，将探针弯折部分放在定位板A1与定位板B3之间，最后用树脂将各个探针固定。这种垂直探针卡的缺点是不能进行单针交换，缺乏灵活性。在现有的代加工工厂中，产品多样、随机多变；同时在大规模集成电路的开发中，会多次改版。如果采用现有的垂直探针卡，则每开发出一种产品需要制作一块探针卡，每一次PAD的变更都需要重新制作一块探针卡。这样，就产生了一些问题一方面，每次制作探针卡需要花费不少费用，增加了产品开发的投资，也提高了产品生产的成本。另一方面，每次制作探针卡都需要几周的制作时间，这样又减缓了产品开发的进度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种，它可以根据不同产品的测试需要，对探针随意进行上针、退针的设定，灵活地换针、设定针位。为解决上述技术问题，本专利技术，首先，根据垂直探针卡中探针之间最小的间距和芯片的大小，在做版图时进行网格式的划分，每一个新产品的各个PAD都放在网格的中心。然后，在垂直探针卡上按网格的大小进行排针形成一个点阵式的探针卡，通过选择探针卡点阵上的针来适用于不同的产品。采用本专利技术的可以明显缩短探针卡开发的周期。例如，为了适应产品开发测试的需要，制作一个探针卡至少需要两周的时间，而采用本专利技术后可以立即更改探针的排针，无需重新开发制作。而且，可以节省...
【技术保护点】
一种垂直探针卡制作方法，其特征在于：首先，根据垂直探针卡中探针之间最小的间距和芯片的大小，在做版图时进行网格式的划分，每一个新产品的各个ＰＡＤ都放在网格的中心；然后，在垂直探针卡上按网格的大小进行排针形成一个点阵式的探针卡，通过选择探针卡点阵上的针来适用于不同的产品。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：武建宏，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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