探针卡基板制造技术

本发明专利技术公开了一种探针卡基板，在主板和辅板之间配置有多个连接器。本发明专利技术探针卡基板可以连出更多的接线，实现增加同测数目，充分利用测试资源，减少测试时间，提高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种集成电路制造设备，尤其涉及一种探针卡基板。
技术介绍
中国专利技术专利申请公开说明书CN1779468A (公开日2006年5月31 曰)公开了一种导线连线式圆形探针卡基板，包括主板33和辅板22，其 使用辅板22上配置连接器1L，通过cable (电缆)线同测试仪连接(如 图1所示)。在辅板上配置连接器的连接cable线的方式，具有以下的缺点1、 在辅板上配置连接器，每个连接器都占有一定的面积，辅板面积 有限。增加同测数目时，需增加辅板上连接器的配置，辅板的面积限制了 连接器的配置。2、 增加连接器的配置后，每个连接器均要插拔cable线，插拔cable 线容易出错，而且在测试中会导致接触不良。3、 增加连接器的配置后。每个连接器均要插拔cable线，插拔cable 线时因为用力易使辅板发生变形。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种探针卡基板,可以连出更多的接 线，实现增加同测数目。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种探针卡基板，包括主板和辅板，在所述的辅板和主板之间配置有多个连接器。所述的连接器以条形状并排固定在背板上，从所述主板上的探针引出 的连线接到背板。所述的背板上设有呈长条形的连接器插头，每个连接器插头对应一个连接器，同连接器的通道一一对应的cable线从背板引出，其一端同测试 仪相连。和现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果本专利技术提出了一种新的探针卡测试通道接线方式设计方法:在主板和辅板之间配置连接器代替原来的在辅板上配置连接器，以达到连出更多的接线，充分利用测试资源， 不必增加连接器的数量就可实现增加同测数目，减少产品测试时间，提高了测试效率。此外，辅板充当固定连接器的作用，这样，在插拔cable 线时不会因为用力而使辅板发生变形。 附图说明图1是中国专利技术专利申请公开说明书CN1779468A公开的一种导线连 线式圆形探针卡基板的结构示意图2是本专利技术探针卡基板的结构示意图； 图3是本专利技术的背板的结构示意图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步详细的说明。 如图2所示，在主板3和辅板1之间的空间配置连接器2。 在辅板1和主板3之间的柱形空间之内，均能放置连接器2，连接器 2以条形状并排固定在背板6上，从主板3上的探针引出的同轴屏蔽线7接到背板6，实现从探针上引出的资源与连接器2相连，从连接器2上引 出的通道可以根据同测的需要增加，连接器2的长度可以根据需要加长。 这样，不必增加连接器的数量就可实现增加同测数目。如图3所示，背板6上设有呈长条形的连接器插头5，每个连接器插 头5对应一个连接器，该连接器插头5是特制的，以减少面积。同连接器 的通道一一对应的cable线4从背板6引出，其一端同测试仪相连。如图2和图3所示，把连接器插头5对准连接器2，把背板6慢慢压 合固定，实现测试仪测试资源对探针卡的连接。辅板1充当固定背板6 的作用，这样，在插拔cable线时不会因为用力而使辅板l发生变形。测试仪和探针之间的信号传输通过以下过程实现 测试仪--〉cable线4-〉连接器插头5->连接器2->主板3与连接器背板 6间的同轴屏蔽线7-〉主板1上的探针。权利要求1、 一种探针卡基板，包括主板和辅板，其特征在于在所述的辅板 和主板之间配置有多个连接器。2、 如权利要求1所述的探针卡基板，其特征在于，所述的连接器以 条形状并排固定在背板上，从所述主板上的探针引出的连线接到背板。3、 如权利要求1所述的探针卡基板，其特征在于所述的背板上设 有呈长条形的连接器插头，每个连接器插头对应一个连接器，同连接器的 通道一一对应的cable线从背板引出，其一端同测试仪相连。全文摘要本专利技术公开了一种探针卡基板，在主板和辅板之间配置有多个连接器。本专利技术探针卡基板可以连出更多的接线，实现增加同测数目，充分利用测试资源，减少测试时间，提高了测试效率。文档编号G01R1/067GK101144831SQ200610031090公开日2008年3月19日 申请日期2006年9月13日 优先权日2006年9月13日专利技术者桑浚之, 谢晋春, 辛吉升, 婷 陈, 陈凯华 申请人:上海华虹Nec电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡基板，包括主板和辅板，其特征在于：在所述的辅板和主板之间配置有多个连接器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢晋春，辛吉升，陈凯华，陈婷，桑浚之，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]