探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针，还包括用于与信号源连接的探针，在测试时，所述用于与信号源连接的探针和所述直接连接到内部的两排探针相连接。本实用新型专利技术使以往所有需要在信号源与探针卡之间同时进行换线的工作简化为只需要在探针卡上进行换线，其制造成本低、使用方便，适用于任何产品。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针ａ排、ｂ排，ａ排位于探针卡左侧，ｂ排位于探针卡右侧，其特征在于，还包括用于与信号源连接的探针；在测试时，所述用于与信号源连接的探针和ａ排、ｂ排探针相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊杰，陈雷，陈荣堂，苏凤莲，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]