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本实用新型公开了一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针，还包括用于与信号源连接的探针，在测试时，所述用于与信号源连接的探针和所述直接连接到内部的两排探针相连接。本实用新型使以往所有需要在信号源与探针卡之间同时进行换线的工作简化为只需要在探...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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