【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路工艺领域，尤其是一种集成电路测试领域中的探 针卡。
技术介绍
探针卡是集成电路工艺领域重要器件，探针卡应用在集成电路尚未封 装之前，针对晶圆以探针做功能测试，选出不合格产品再进行后续的封装 工程，避免不良产品继续加工而造成浪费。探针卡的性能对集成电路制造 过程中的成本有很大的影响。在测试中，印刷电路板上分布有通道和电源线，探针和印刷电路板连 接对信号进行测试，探针卡和探针连接。如图1所示，普通探针卡包括印刷电路板3、开口槽1、探针卡固定件2。开口槽1固定在探针卡固定件2 上，印刷电路板3通过固定装置和开口槽1固定连接。在利用探针卡对晶 圆进行测试时，高频数字信号会对测试信号产生干扰，影响测试结果。而 所需要测试的晶圆上的电源就是通过探针卡给的。为了减少干扰，增加测 试结果的准确程度，在电源加到晶圆上之前要对电源进行滤波。如图2所 示，现有改进方法是在探针卡电源出口 Vll和地之间增加去耦电容C1、 C2， 使高频噪声短路掉。但是单用去耦电容会引起高频谐振，造成新的干扰， 影响测试结果。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种探针...
【技术保护点】
一种探针卡，包括探针卡固定件，固定在探针卡固定件上的开口槽，通过固定装置与开口槽固定连接的印刷电路板，印刷电路板表面的去耦电容，其特征在于，还包括串联在探针和印刷电路板底部之间的铁氧磁体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄海华，惠力荪，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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