具有定位模式和顺应模式的测试头执行系统技术方案

一种用于定位测试头的系统，用于使探测器、处理器或其它外围设备与测试头顺应性地对接，其包括多个可反向驱动的线性致动器。各致动器具有机械连接到测试头上的第一端，和机械连接到操纵器上的第二端。在第一模式中，控制系统向致动器施加输入，用于使致动器可变化地伸长，从而相对于支承体建立需要的测试头位置。在第二模式中，控制系统停止改变向致动器的输入，假如在两方向上对移动仅有很小的阻力，根据外力既可向前也可向后驱动致动器。所公开的用于定位测试头的系统尤其适用于向非常笨重的测试头提供顺应性对接。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及重物的精确定位，更具体地是涉及将电子自动测试系统的测试头精确定位，使测试头与探测器、处理器或其它外围设备相对接以用于测试电子装置。
技术介绍
半导体晶片和组件的制造商在将装置运送给客户之前采用自动测试设备(“ATE”)测试装置的性能。ATE系统通常包括“测试头”和“测试本体”。测试头盖住测试系统中优选定位在与受测装置尽可能接近的一部分，并且测试头通过一条或多条电缆连接到测试本体上。为测试电子装置，将外围设备连接到或对接到测试头上。外围设备向ATE系统送入用于测试的一系列装置，ATE系统测试这些装置。影响半导体测试过程的约束经常不能使外围设备移动到测试头。因此，在大多数生产设备中，送入晶片的外围设备保持不动，将测试头移动到与外围设备对接的位置。一种叫做“操纵器”的装置将测试头移动到外围设备。图1示出用于支承测试头110的操纵器100的例子。这种类型的操纵器在申请号为No.09/615,292、名称为“具有在测试头内部支撑的自动测试操作器”的美国专利中公开，在此引用该专利作为参考。该操纵器预期与TigerTM测试系统一起使用，这种系统目前由马萨诸塞州波士顿的Ter本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于定位测试头的系统，将测试头与外围设备对接以测试电子装置，包括： 用于相对于一个支承体移动测试头的多个线性致动器，该多个线性致动器中的每个都具有机械连接到测试头上的第一端，和机械连接到所述支承体上的第二端；和 用于控制多个线性致动器定位的控制系统，该控制系统至少采用两种模式； 第一模式，其中控制系统改变向多个线性致动器的输入，从而建立起测试头需要位置，和 第二模式，其中控制系统保持基本上恒定的向多个线性致动器的输入， 其中响应于施加到测试头上的外力，线性致动器在第二模式中既可向前驱动也可向后驱动，从而相对于支承体提供测试头的顺应性运动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：布赖恩J博瑟，
申请(专利权)人：泰拉丁公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]