上海华力微电子有限公司专利技术

上海华力微电子有限公司共有4775项专利

  • 本技术提供了一种更换上部电极的治具,包括固定单元、底座、升降单元、举托平台、可调单元和一字工作头;固定单元与底座连接,固定单元用于将底座固定在冷却盘上;升降单元安装在底座上,升降单元与举托平台连接,升降单元用于调节举托平台沿竖直方向上下...
  • 本技术提供了一种研磨保护装置及半导体工艺设备,所述研磨保护装置包括:保护罩,包括第一固定环和第二固定环,所述第一固定环设置于所述第二固定环的一端,且所述第一固定环向所述第二固定环的中心轴方向延伸,所述第一固定环的内径小于所述第二固定环的...
  • 本技术涉及半导体测试技术领域,尤其涉及一种清针砂纸粘贴辅助装置,包括:承载台,用于容置一光片;按压滚筒,位于所述光片的上方且能够相对所述光片转动,所述按压滚筒用于将一清针砂纸按压并粘贴在所述光片上;升降机构,用于安装所述按压滚筒并驱使所...
  • 本技术提供一种支撑架及收纳装置,包括第一环形座、第二环形座和第一支撑杆,所述第一支撑杆的一端与所述第一环形座的底面相连,所述第一支撑杆的另一端与所述第二环形座的顶面相连;所述第一环形座包括多个首尾相连且可拆卸式连接的第一连接部,所述第二...
  • 本发明提供一种自动检测晶背明场像异常的方法,通过直方图均衡化对晶背明场像进行处理,得到处理后的图像;对处理后的图像进行灰度直方图统计;计算每张图像的异常像素点的个数;提供阈值,将分值低于阈值的所述图像突出显示,本发明通过图像预处理和特定...
  • 本发明公开了一种光刻机晶圆承载台平坦度监控方法
  • 本实用新型涉及管道连接技术领域,且公开了一种冷却水管路连接装置,包括:水接头和固定件;所述水接头呈套筒状,所述水接头沿其轴向方向分为锥形部和圆柱部,所述锥形部的近端向远端,其内径逐渐变小,所述锥形部的近端与所述圆柱部的远端同轴连接,所述...
  • 本发明公开了一种有源区空气间隙的制造方法,包括:步骤一
  • 本发明公开了一种
  • 本发明公开了一种
  • 本发明公开了一种芯片产品制造工艺相似度评价方法,芯片制造企业具有
  • 本实用新型涉及半导体设备技术领域,且公开了一种手动取片机械爪,包括底座、限位件和承托件;所述底座具有横向杆和两个纵向杆,所述纵向杆设置于所述横向杆的两侧,所述限位件设置有四个,四个所述限位件可转动的设置于各所述纵向杆的两侧,且四个所述限...
  • 本实用新型提供了一种漏液检测报警装置及刻蚀机,该漏液检测报警装置包括设置电源、多组漏液检测单元和报警单元;每组漏液检测单元均包括漏液检测器、电器接入端口、控制电器和漏液控制器,漏液检测器和漏液控制器串联组成检测电路,电器接入端口和控制电...
  • 本实用新型公开了一种安装辅助支架,属于半导体集成电路制造技术领域,该安装辅助支架,包括连接件及安装组件,连接件枢接在承载台上,安装组件安装在连接件的侧壁上,安装组件用于安装待安装的部件,连接件用于带动安装组件自承载台的第一侧转动至第二侧...
  • 本实用新型提供了一种清洁治具及刻蚀机,该清洁治具包括治具本体,吹气组件,对待清洁设备内部的附着物进行清洁;其中,所述第一端口用于与待清洁设备连接,且所述待清洁设备与所述气体通道相通,所述第二端口用于与真空发生装置的真空吸气接口连通。本实...
  • 本实用新型提供了一种接头保护装置和液压快速接头,接头保护装置用于设置在公接头与母接头的连接处且部分地位于母接头的滑套外围;包括第一半夹块、第二半夹块、连接件和夹紧组件;第一半夹块的一端和第二半夹块的一端通过连接件固定连接,且第一半夹块和...
  • 本实用新型提供了一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置,紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于坦克链外壳之下的灯箱,吸尘装置包括:环形吸尘管、抽风管以及排气装置,环形吸尘管位于坦克链外壳与灯箱之间,环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞,环...
  • 本实用新型提供了一种阳极装置及电镀设备,所述阳极装置包括:多块阳极板材;阳极骨架,将所述多块阳极板材固定在一起,且所述阳极骨架具有中空的且能传输电镀液的空心管结构,所述空心管结构的管壁上还设有若干开孔,各个所述开孔连通所述空心管结构的管...
  • 本发明提供一种真空溅射镀膜机台的晶圆传送方法及传送装置、存储介质,晶圆传送方法应用于晶圆传送装置,晶圆传送装置包括机械手,机械手具有中心线;晶圆传送方法包括:控制机械手夹持第一晶圆和第二晶圆,并使第一晶圆和第二晶圆各自到机械手的中心线的...
  • 本实用新型提供了一种工艺腔清洁装置,包括气柜、等离子发生器及至少一个过滤器,所述气柜的出气口通过一供气管道与所述等离子发生器的进气口连通,所述等离子发生器的出气口与所述工艺腔连通,所述气柜用于供应电离气体,所述至少一个所述过滤器安装在所...
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