一种冷却水管路连接装置制造方法及图纸

技术编号:39789324 阅读:13 留言:0更新日期:2023-12-22 02:27
本实用新型专利技术涉及管道连接技术领域,且公开了一种冷却水管路连接装置,包括:水接头和固定件;所述水接头呈套筒状,所述水接头沿其轴向方向分为锥形部和圆柱部,所述锥形部的近端向远端,其内径逐渐变小,所述锥形部的近端与所述圆柱部的远端同轴连接,所述锥形部的内壁设置有内螺纹,所述水接头的外表面开设有夹槽,所述固定件外套并固定于所述水接头的远端

【技术实现步骤摘要】
一种冷却水管路连接装置


[0001]本技术涉及管道连接
,具体为一种冷却水管路连接装置


技术介绍

[0002]尾气处理是半导体制造过程中必不可少的工艺,该工艺中,常用的尾气处理设备通常是
MOCVD

CVD
,刻蚀机等设备配套,用于处理尾气中的如
PH3

NH3

HCL
等成分,经过处理后的气体排入厂务端的酸排或者碱排

在使用时,尾气处理设备传输冷却水需要依靠管路连接装置,管路连接装置通常包括尾气处理设备的水接头以及连接头,水接头与连接头连接,用于传输冷却水

[0003]现有的尾气处理设备的水接头在与连接头在装机施工时,需要采用热熔焊接的方式连接水接头和连接头,而由于水接头的材质为
PP
材质且长度较短,
PP
材质的水接头和连接头的焊接处会存在焊接不牢和假焊的情况,在传输冷却水时,容易受到应力的影响,造成焊接处开裂,导致漏水

[0004]因此,本技术需要一种冷却水管路连接装置,改善因焊接处开裂所导致的漏水现象


技术实现思路

[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:包括:水接头和固定件;
[0006]所述水接头呈套筒状,用于和连接头相互连接;
[0007]所述水接头沿其轴向方向分为锥形部和圆柱部;沿所述水接头的轴向,所述锥形部的近端向远端,其内径逐渐变小,所述锥形部的远端与所述圆柱部的近端同轴连接,所述锥形部的内壁设置有内螺纹;
[0008]所述水接头的外表面开设有夹槽,用于与安装工具配合;
[0009]所述固定件外套并固定于所述水接头的远端,用于所述水接头的安装固定

[0010]可选地,所述水接头的材质为不锈钢材质;和
/
或;所述固定件的材质为聚氯乙烯

聚对苯二甲酸乙二醇酯

聚苯乙烯和聚碳酸酯其中的一种

[0011]可选地,所述水接头的轴向长度至少为
15cm。
[0012]可选地,沿所述水接头的轴向,所述锥形部的轴向长度与所述水接头的轴向长度的比值为
60
%~
80


[0013]可选地,所述锥形部的锥度小于或等于1:
16。
[0014]可选地,所述冷却水管路连接装置还包括连接头,所述连接头近端的外轮廓与所述锥形部的内壁适形配合,所述连接头的远端的外壁设置有外螺纹,所述连接头的远端与所述锥形部适形螺纹连接

[0015]可选地,所述固定件的外壁间隔设置有加强件,所述加强件沿所述固定件的轴向延伸,所述加强件设置有多个并绕所述固定件的周向分布

[0016]可选地,所述水接头还包括限位件,所述限位件设置于所述水接头的外壁上,所述限位件用于使所述水接头与所述固定件轴向和
/
或径向定位

[0017]可选地,所述限位件呈环形并沿周向环绕于所述水接头的远端,所述固定件适形包裹于所述限位件上,以使得所述水接头与所述固定件轴向和
/
或径向定位

[0018]可选地,所述夹槽设置有两个并沿所述水接头的一径向方向相对设置

[0019]在本技术中,通过水接头和连接头的配合设置,连接头能够螺纹连接于水接头内壁设置的内螺纹,相较于原有的热熔焊接的方式,倾斜的螺纹面具有良好的密封性和安全性,且增加了水接头和连接头的接触面积,提高了连接结构的稳定性,同时,旋拧结构和夹槽的设置便于人员操作,具有良好的便捷性

此外,
SUS
材质的水接头相较于原有的
PP
材质,具有更好的韧性,在传输冷却水时,能够减少受到的应力影响,具有更长的使用寿命

附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图

[0021]图1为本技术冷却水管路连接装置的结构示意图;
[0022]图2为本技术冷却水管路连接装置的剖面结构示意图;
[0023]图3为本技术冷却水管路连接装置连接状态的剖面结构示意图;
[0024]图4为本技术冷却水管路连接装置的正视结构示意图;
[0025]图5为本技术冷却水管路连接装置的侧视结构示意图

[0026]图1和5中,1‑
水接头,
11

锥形部,
12

圆柱部,2‑
内螺纹,3‑
连接头,
31

外螺纹,4‑
夹槽,5‑
固定件,6‑
加强件,7‑
限位件

具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚

完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例

基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围

[0028]本技术中,“外径”和“内径”对于圆形结构而言,对应的是直径尺寸,对于非圆形结构而言,内径指的是其内接圆的直径,外径指的是其外接圆的直径;“轴向”对于圆柱形杆状结构而言,对应的是其中轴线所在的方向,对于非圆柱的通道时,则轴向对应的是杆状结构的长度方向;
[0029]在本技术中,术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“垂直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系

这些术语主要是为了更好地描述本技术及其实施例,并非用于限定所指示的装置

元件或组成部分必须具有特定方位,或以特定方位进行构造和操作

[0030]本技术中,“近端”和“远端”是从使用产品的操作者角度来看相对于彼此的元件或动作的相对方位

相对位置

方向,尽管“近端”和“远端”并非是限制性的,本实施例中,

近端”和“远端”是对应部件中沿水接头的轴向方向对应的两端

[0031]请参考图
1、
图2和图3所示,本实施例中提供了一种冷却水管路连接装置,包括:水接头1和固定件5,水接头1的内腔用于传输冷却水,所述水接头1件呈套筒状,所述本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种冷却水管路连接装置,其特征在于,包括:水接头和固定件;所述水接头呈套筒状,用于和连接头相互连接;所述水接头沿其轴向方向分为锥形部和圆柱部;沿所述水接头的轴向,所述锥形部的近端向远端,其内径逐渐变小,所述锥形部的远端与所述圆柱部的近端同轴连接,所述锥形部的内壁设置有内螺纹;所述水接头的外表面开设有夹槽,用于与安装工具配合;所述固定件外套并固定于所述水接头的远端,用于所述水接头的安装固定
。2.
根据权利要求1所述的一种冷却水管路连接装置,其特征在于:所述水接头的材质为不锈钢材质;和
/
或;所述固定件的材质为聚氯乙烯

聚对苯二甲酸乙二醇酯

聚苯乙烯和聚碳酸酯其中的一种
。3.
根据权利要求1所述的一种冷却水管路连接装置,其特征在于:所述水接头的轴向长度至少为
15cm。4.
根据权利要求1所述的一种冷却水管路连接装置,其特征在于:沿所述水接头的轴向,所述锥形部的轴向长度与所述水接头的轴向长度的比值为
60
%~
80

。5.
根据权利要求1所述的一种冷却水管路连接装置,其特征在于:...

【专利技术属性】
技术研发人员:张小坤
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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