一种半导体测试探针清洗装置及方法制造方法及图纸

技术编号:9190452 阅读:267 留言:0更新日期:2013-09-25 18:39
本发明专利技术公开了一种半导体测试探针清洗装置及方法,该装置包括第一液体容器,所述第一液体容器具有第一容器开口和第一容器底部,从所述第一容器底部至第一容器开口所述第一液体容器的横截面逐渐收窄。本发明专利技术中折弯型的半导体测试探针更容易伸入第一液体容器中完成清洗;另外,采用的第二液体容器可以收集从第一液体容器中外溢的液体,防止其对其他机构造成损害。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体测试探针清洗装置,包括第一液体容器,其特征是:所述第一液体容器具有第一容器开口和第一容器底部,从所述第一容器底部至第一容器开口所述第一液体容器的横截面逐渐收窄。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨波杨应俊韦日文刘振辉沈杰梁贵王业文柯权珍高小伟
申请(专利权)人:深圳市矽电半导体设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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