【技术实现步骤摘要】
一种针卡运输装置及探针台
本专利技术涉及一种针卡运输装置及探针台。
技术介绍
探针台中的针卡使用一段时间后需要更换,需要将针卡运输到载物台与针卡安装板之间用于更换;为了提升针卡更换的安全性需要使用针卡搬运装置将针卡搬运至针卡安装板对应的位置。
技术实现思路
为了满足将针卡搬运到针卡安装板用于安装的要求,本专利技术提出一种针卡运输装置及探针台。本专利技术的技术方案为:一种针卡搬运装置,翻转部转动连接于第一连接部,使翻转部能够转动到第一平面;针卡连接部平面运动连接于翻转部,使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。进一步的,所述第一连接部沿垂直于第一平面的方向直线运动连接于基部。进一步的,所述翻转部枢接于第一连接部,转动控制部连接于翻转部和第一连接部之间,所述转动控制部用于驱动翻转部相对于第一连接部转动并位于第一平面。进一步的,所述转动控制部为直线伸缩气缸。进一步的,所述针卡搬运装置还包括安全保护装置;所述安全保护装置包括支撑部、抵挡块和安全气缸;所 ...
【技术保护点】
1.一种针卡搬运装置,其特征在于:/n翻转部转动连接于第一连接部,使翻转部能够转动到第一平面;针卡连接部平面运动连接于翻转部,使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。/n
【技术特征摘要】
1.一种针卡搬运装置,其特征在于:
翻转部转动连接于第一连接部,使翻转部能够转动到第一平面;针卡连接部平面运动连接于翻转部,使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。
2.根据权利要求1所述的针卡搬运装置,其特征在于:
所述第一连接部沿垂直于第一平面的方向直线运动连接于基部。
3.根据权利要求1所述的的针卡搬运装置,其特征在于:
所述翻转部枢接于第一连接部,转动控制部连接于翻转部和第一连接部之间,所述转动控制部用于驱动翻转部相对于第一连接部转动并位于第一平面。
4.根据权利要求3所述的针卡搬运装置,其特征在于:
所述转动控制部为直线伸缩气缸。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的针卡搬运装置,其特征在于:所述针卡搬运装置还包括安全保护装置;
所述安全保护装置包括支撑部、抵挡块和安全气缸;所述支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员:韦日文,雷迪,
申请(专利权)人:深圳市矽电半导体设备有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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