一种针卡运输装置及探针台制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种针卡运输装置及探针台。一种针卡搬运装置，翻转部转动连接于第一连接部，使翻转部能够转动到第一平面；针卡连接部平面运动连接于翻转部，使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。一种包括所述针卡搬运装置的探针台。能够将针卡或针卡连接板搬运到针卡安装板对应的安装位置，相对于采用手工搬运针卡或针卡连接板使用安全方便。

A kind of transport device and probe table for needle card

【技术实现步骤摘要】
一种针卡运输装置及探针台
本专利技术涉及一种针卡运输装置及探针台。
技术介绍
探针台中的针卡使用一段时间后需要更换，需要将针卡运输到载物台与针卡安装板之间用于更换；为了提升针卡更换的安全性需要使用针卡搬运装置将针卡搬运至针卡安装板对应的位置。
技术实现思路
为了满足将针卡搬运到针卡安装板用于安装的要求，本专利技术提出一种针卡运输装置及探针台。本专利技术的技术方案为：一种针卡搬运装置，翻转部转动连接于第一连接部，使翻转部能够转动到第一平面；针卡连接部平面运动连接于翻转部，使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。进一步的，所述第一连接部沿垂直于第一平面的方向直线运动连接于基部。进一步的，所述翻转部枢接于第一连接部，转动控制部连接于翻转部和第一连接部之间，所述转动控制部用于驱动翻转部相对于第一连接部转动并位于第一平面。进一步的，所述转动控制部为直线伸缩气缸。进一步的，所述针卡搬运装置还包括安全保护装置；所述安全保护装置包括支撑部、抵挡块和安全气缸；所述支撑部一端枢接于翻转部，所述支撑部远离翻转部的一端通过滑槽连接于第一连接部；所述抵挡块连接于安全气缸，所述安全气缸安装于第一连接部且使抵挡块位于滑槽，通过所述安全气缸控制抵挡块离开所述滑槽，所述支撑部才能通过抵挡块所在滑槽的位置。进一步的，所述平面运动连接包括直线运动和/或旋转运动。进一步的，所述针卡连接部通过直线导轨连接于翻转部。进一步的，第一连接部设置有弹性挡块，所述翻转部能够沿转动方向止抵于所述弹性挡块。进一步的，所述第一连接部沿竖直方向连接于基部。一种探针台，所述探针台包括上述任意一项所述的针卡搬运装置。本专利技术的有益效果在于：能够将针卡或针卡连接板搬运到针卡安装板对应的安装位置，相对于采用手工搬运针卡或针卡连接板使用安全方便。附图说明图1为探针台针卡安装板和载物台位置示意图；图2为本专利技术针卡搬运装置处于折叠状态示意图；图3为本专利技术针卡搬运装置中翻转部相对于第一连接部翻转示意图；图4为本专利技术针卡搬运装置中针卡连接部在第一平面运动示意图；图5为本专利技术针卡搬运装置中将针卡连接板沿竖直方向靠近针卡安装板示意图；图6为安装有针卡搬运装置的探针台结构示意图。具体实施方式为便于本领域技术人员理解本专利技术的技术方案，下面将本专利技术的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，一种针卡搬运装置100，用于将针卡连接板搬运到探针台200上针卡安装板300，为了减小对针卡的损坏，针卡需要固定在针卡连接板101上，通过对针卡连接板101的更换实现对针卡的更换；翻转部20转动连接于第一连接部30，使翻转部20能够转动到第一平面S（图1和图2中沿水平面方向），所述翻转部20与第一连接部30占有的使用空间因能够相对转动而减小，从而便于实现减小所述针卡搬运装置100占用空间的目的；针卡连接部40平面运动连接于翻转部20，使针卡连接部40能够相对于翻转部20在第一平面S中运动，由于针卡安装板300位于载物台400（用于放置待测试的晶圆）上方，为了减小探针台100的体积，不需要增加载物台400的运动轨道，而是将针卡搬运到针卡安装板300与载物台400之间的空间即可完成对针卡的安装；针卡连接部40用于固定针卡连接板101，通过上述针卡搬运装置100将针卡连接板101搬运到针卡安装板300所在的能够用于安装针卡的空间。采用上述技术方案不需要改变探针台200自身的布局或体积，就能将针卡连接板101搬运到针卡安装板300或者将针卡安装板300的针卡取下；不会增大探针台200的体积；同时，由于针卡的更换并不需要一天一换，故属于低频率的操作（一般为一个月更换一次）；通过将翻转部20相对于第一连接部30转动折叠，能够在满足翻转部20使用要求的前提下，减小不需要更换针卡时翻转部20和第一连接部30占用的空间；相对于采用手工将针卡搬运到针卡安装板300，本专利技术搬运针卡连接板101的技术方案更加稳定可靠。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，所述第一连接部30沿垂直于第一平面方向S的直线运动连接于基部50；从而通过驱动所述第一连接部30相对于基部50的直线运动，实现对针卡连接板101靠近/远离针卡安装板300的运动调节，从而便于对位于针卡安装板300和载物台400之间的针卡连接板101空间位置的控制，从而便于使针卡连接板101的位置满足更换要求；以及将所述技术方案于针卡安装板300上的用于固定针卡连接板101的机构配合，便于实现对针卡更换的全自动化操作。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，所述翻转部20枢接于第一连接部30，使翻转部20能够相对于第一连接部30旋转；转动控制部21连接于翻转部20和第一连接部30之间，便于实现对翻转部20相对于第一连接部30转动的自动化控制；所述转动控制部21用于驱动翻转部20相对于第一连接部30转动并位于第一平面S；采用上述技术方案使翻转部20能够相对于第一连接部30旋转到第一平面S，使针卡连接板101位于第一平面S，简化将针卡连接板101搬运到针卡安装板300的过程；提升更换针卡的效率。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，所述转动控制部21为直线伸缩气缸；此为驱动翻转部20转动的一种方式，本领域技术人员还能够采用其它等同的方案实现对翻转部20转动控制。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，所述针卡搬运装置100还包括安全保护装置60；所述安全保护装置60包括支撑部61、抵挡块62和安全气缸63；所述支撑部61一端枢接于翻转部20，所述支撑部61远离翻转部20的一端通过滑槽连接于第一连接部30；所述抵挡块62连接于安全气缸63，所述安全气缸63安装于第一连接部30且使抵挡块62位于滑槽，通过所述安全气缸63控制抵挡块62离开所述滑槽，所述支撑部61才能通过抵挡块62所在滑槽的位置；当用于驱动翻转部20的装置出现故障（或断电/断气），所述翻转部20位置不稳定可能沿第一连接部30自由转动从而造成安全隐患；此时需要控制安全气缸63使抵挡块62运动才能让翻转部20翻转复位；通过所述安全保护装置60增强对翻转部20的控制；当翻转部20的翻转驱动机构为气缸（包括但不限于直线伸缩气缸）与所述安全气缸63同时采用气压驱动，当气压故障时，由于安全气缸63也不能工作，故在抵挡块62的作用下，所述翻转部20处于不能自由翻转的位置，保证了安全性。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，所述平面运动连接包括直线运动和/或旋转运动；只要满足能够将针卡连接板101运输到针卡安装板300对应的位置即可。如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，所述针卡连接部40通过直线导轨连接于翻转部20；所述针卡连接部40能够相对于翻转部20在第一平面S中直线运动，从而将针卡连接板101运输到针卡安装板300对应的位置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种针卡搬运装置，其特征在于：/n翻转部转动连接于第一连接部，使翻转部能够转动到第一平面；针卡连接部平面运动连接于翻转部，使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种针卡搬运装置，其特征在于：
翻转部转动连接于第一连接部，使翻转部能够转动到第一平面；针卡连接部平面运动连接于翻转部，使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。


2.根据权利要求1所述的针卡搬运装置，其特征在于：
所述第一连接部沿垂直于第一平面的方向直线运动连接于基部。


3.根据权利要求1所述的的针卡搬运装置，其特征在于：
所述翻转部枢接于第一连接部，转动控制部连接于翻转部和第一连接部之间，所述转动控制部用于驱动翻转部相对于第一连接部转动并位于第一平面。


4.根据权利要求3所述的针卡搬运装置，其特征在于：
所述转动控制部为直线伸缩气缸。


5.根据权利要求1-4任意一项所述的针卡搬运装置，其特征在于：所述针卡搬运装置还包括安全保护装置；
所述安全保护装置包括支撑部、抵挡块和安全气缸；所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦日文，雷迪，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44