深圳市矽电半导体设备有限公司专利技术

深圳市矽电半导体设备有限公司共有136项专利

  • 本发明公开了一种芯粒对准分选膜的方法及芯粒分选方法。一种芯粒对准分选膜的方法,芯粒和视觉系统分布于分选膜两侧,所述分选膜设置有位置标记,视觉系统识别位置标记与芯粒沿第一方向满足设定的位置关系,从而使芯粒与分选膜对准。用视觉系统观察芯粒与...
  • 本发明公开了一种将光刻板与硅片贴合的方法及光刻机。一种将光刻板与硅片贴合的方法,用于实现光刻板与硅片贴合,所述光刻板和/或硅片浮动,光刻板与硅片之间通有真空而吸附贴合;一种光刻机,包括,浮动连接于机架的光刻板,载物部能够相对于光刻板运动...
  • 本发明公开了一种针卡运输装置及探针台。一种针卡搬运装置,翻转部转动连接于第一连接部,使翻转部能够转动到第一平面;针卡连接部平面运动连接于翻转部,使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。一种包括所述针卡搬运装置的探针台。能够将针卡或...
  • 本发明公开了一种老化板测试方法、电接头及老化板测试设备。一种老化板测试方法,电连接部沿第一方向运动因止抵于止抵部而旋转,电连接部的导电电极沿旋转方向止抵于老化板的端口;一种电接头,用于电连接老化板,导电电极转动连接于基体,所述导电电极能...
  • 本实用新型公开了一种激光二极管芯粒测试承载部及应用其的激光二极管芯粒测试设备。所述测试承载部包括运动载料部和第一调节部,所述运动载料部与第一调节部连接;所述运动载料部设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将激光二极管芯粒吸附;所述第一调节...
  • 本实用新型公开了一种调温承片台。一种调温承片台包括,导热载料部,能够导热,使放置在导热载料部上的待测物料能够满足测试温度要求;调温部,连接于导热载料部;调温部产生的热量能够传递至导热载料部;绝热部,设置有第一贯通孔;所述绝热部连接于调温...
  • 本实用新型提出芯粒分选结构。所述芯粒分选结构包括,第一光源;第一掩膜部,能够调整透光位置,使第一光源照射的光能够穿过;第二光源;第二掩膜部,位于第一掩膜部背离第一光源的一侧,且第一掩膜部与第二掩膜部之间设置有置膜空间;第二掩膜部能够调整...
  • 本实用新型提出一种吸气清洁装置及激光二极管芯片测试设备。一种吸气清洁装置包括,第一本体;承载部,用于放置晶粒;所述承载部连接于第一本体;吸附部,包括吸嘴部和旋转臂,所述旋转臂枢接于第一本体,所述吸嘴部连接于旋转臂,所述旋转臂能够相对于第...
  • 本实用新型公开了一种半导体探针台。所述半导体探针台包括安装部,所述安装部用于安装针座,所述针座用于对半导体芯粒电连接,所述半导体探针台还包括转接部,所述转接部与安装部连接,所述针座安装于转接部;所述转接部能够根据不同的针座设置相应的用于...
  • 本发明涉及LED测试技术领域,尤其涉及一种MCD的测试装置及其测试方法。其技术方案要点:包括开设有进光孔的底座和安装于所述底座上的分光镜座A和分光镜座B;分光镜座B开设有与进光孔连通的连通孔和设置于连通孔远离进光孔一端的波长测试孔,波长...
  • 本发明公开了一种发光器件测试一体机,包括机座和安装座,所述安装座沿其长度方向依次设有用于检验发光件束腰半径的近场测试组件、用于测试发光件发散角的远场测试组件和用于测试发光件波长亮度的积分球,所述机座上设有用于承载发光件的载片台、用于与发...
  • 本发明公开了一种物料传输自动线,包括供料装置、滑轨、取送料装置和检测装置,所述取送料装置与滑轨滑动连接,所述取送料装置包括滑动台、机械手臂、中转料箱以及辨识组件,通过上述设置,机械手臂将供料装置内的待测物取出,放入中转料箱,在将待测物放...
  • 本发明公开了一种取送料装置,包括滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂和中转料箱,所述机械手臂用于将待测物装入中转料箱,以及将待测物从中转料箱中取出并送入检测装置,通过上述设置,机械手臂将供料装置内的待测物取出,放入中转料箱,在将待测物放入检...
  • 本实用新型提出一种用于放置晶圆片的料盒。所述料盒包括,置片部,用于放置晶圆片;延伸部;安装部,用于连接于设备,实现对料盒的安装;所述延伸部连接于置片部,延伸部连接于安装部,使所述安装部和置片部之间具有延伸部产生的取片空间,延伸部产生的取...
  • 本发明公开了一种晶圆中心对准方法。所述晶圆中心对准方法使晶圆中心与载片部中心沿竖直方向对准,晶圆在重力作用下位于导向部沿竖直方向设置的导向内斜通孔中,校正气流沿导向内斜通孔中轴线从晶圆下方作用于晶圆,断开校正气流使晶圆在重力作用下重新止...
  • 本发明公开了一种芯粒分选方法。所述芯粒分选方法用于将吸附于吸嘴的芯粒转移到蓝膜,蓝膜抵靠吸附于吸嘴的芯粒;芯粒与蓝膜粘附后,吸嘴与芯粒分离;减小蓝膜局部变形,增强蓝膜吸附芯粒的稳定性和位置准确性。
  • 本实用新型公开了一种双面探针台。所述双面探针台包括,机架;承片台,连接于机架,所述承片台能够相对于机架运动;安装部,固定于机架;夹片夹具,包括第一挡部;所述第一挡部设置有第一测试孔,沿所述第一测试孔设置有定位凹环;导向部,安装于安装部;...
  • 本实用新型公开了一种双面探针结构。所述双面探针结构包括,机架;第一探针架,通过导向滑轨连接于机架;第二探针架,通过导向滑轨连接于机架;调节螺杆,包括正旋螺纹段和反向螺纹段;所述正旋螺纹段螺接于第一探针架,所述反向螺纹段螺接于第二探针架;...
  • 本实用新型公开了一种料架装置。所述料架装置包括,机架;第一调位部,通过丝杆导轨连接于机架,所述第一调位部能够在机架上沿竖直方向升降;料盒放置于第一调位部;挡料部,包括支撑部、旋转部、第一驱动部和档杆,所述支撑部连接于机架,所述旋转部活动...
  • 本实用新型提出一种激光二极管测试设备。所述激光二极管测试设备包括,机架;上料部,安装于机架;所述上料部用于放置待测激光二极管芯粒;传料部,安装于机架;所述传料部用于将激光二极管芯粒传输到预定的位置;第一测试部,安装于机架;所述传料部能够...
1 2 3 4 5 6 7 尾页