探针台制造技术

本实用新型专利技术属于探针台领域，尤其涉及一种探针台。在样品参数测试时，通过驱动组件带动支撑件作上下移动，实现支撑件上的探针与安装台两者相对位置的调节，以使探针与样品的测试点快速分离或接触，该操作过程方便，效率高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于探针台领域，尤其涉及一种探针台。
技术介绍
在半导体芯片的生产和研制过程中，需要对芯片样品的各项参数进行过程测试和终端测试，完成测试所需的测试对准设备是探针台。探针台能方便、准确、快速地找到放置在安装台上的样品上所需要测试点，比如三极管的基区、发射区等，将探针台上的探针和测试点可靠接触，将配套测试仪器上设置的测试条件通过探针加到被测试管芯上，实现对管芯参数测试的目的。在现有技术中，探针台中的安装台与探针两者是相对固定的，在样品参数测试时，通过调节探针座的位置，以调节探针相对于安装台的位置，让探针与样品的测试点分离或接触，该操作过程麻烦，效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种探针台，旨在解决现有探针台在调节探针相对于安装台的位置时操作过程麻烦且效率低的技术问题。本技术是这样实现的，一种探针台，包括底座、探针座、设置于所述探针座上的探针夹具、安装在所述探针夹具上的探针及设置于所述底座上且用于安装样品的安装台，还包括用于安装所述探针座的支撑件及用于驱动所述支撑件相对于所述底座上下移动的驱动组件。进一步地，所述驱动组件包括枢接于所述底座上的凸轮及固定安装于所述底座上的限位件，所述限位件具有一沿所述样品的厚度方向延伸的贯通孔，所述凸轮与所述底座之间的枢接轴线与所述限位件的贯通孔的轴线相互垂直，所述驱动组件还包括穿设于所述限位件的贯通孔的升降轴，所述升降轴的其中一端连接于所述支撑件，所述升降轴的另外一端抵接在所述凸轮的外壁上。进一步地，所述驱动组件还包括枢接于所述底座上的转轴及设置在所述底座上且用于支承所述转轴的轴承，所述凸轮安装于所述转轴上且所述凸轮与所述转轴同步转动。进一步地，所述转轴的数量为二，两个所述转轴平行设置在所述底座上，所述驱动组件还包括枢接于其中一个所述转轴上的第一曲柄、枢接于另外一个所述转轴上的第二曲柄及相对两端分别枢接于所述第一曲柄与所述第二曲柄上的连杆，所述转轴的轴线、所述第一曲柄与所述连杆之间的枢接轴线及所述第二曲柄与所述连杆之间的枢接轴线相互平行。进一步地，所述凸轮的数量、所述限位件的数量、所述升降轴的数量均为四，其中两个所述凸轮安装于其中一个所述转轴上，另外两个所述凸轮安装于另外一个所述转轴上，四个所述限位件一一对应四个所述凸轮固定安装于所述底座上，四个所述升降轴一一对应穿设于四个所述限位件的贯通孔。进一步地，所述驱动组件还包括固定安装在其中一个所述转轴上的转动件。进一步地，所述驱动组件还包括设置在所述底座上且与所述凸轮的外壁相抵接的缓冲件，所述升降轴抵接于所述凸轮的外壁的一端与所述缓冲件相对设置。进一步地，所述限位件为直线轴承，所述直线轴承固定安装于所述底座上。进一步地，所述支撑件上开设有安装孔，所述升降轴的其中一端与所述支撑件的安装孔过盈配合连接。进一步地，所述底座上设置有用于调节所述样品相对于所述底座的水平角度的角度调节机构。本技术相对于现有技术的技术效果是:在样品参数测试时，通过驱动组件带动支撑件作上下移动，实现支撑件上的探针与安装台两者相对位置的调节，以使探针与样品的测试点快速分离或接触，该操作过程方便，效率高。【附图说明】图1是本技术实施例提供的探针台的立体装配图；图2是图1的探针台的立体装配图，其中安装台与顶板未示；图3是图1的探针台中应用的凸轮的立体结构图。【具体实施方式】为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1至图3，本技术实施例提供的探针台，包括底座10、探针座(图未示)、设置于探针座上的探针夹具(图未示)、安装在探针夹具上的探针(图未示)及设置于底座10上且用于安装样品(图未示)的安装台20，还包括用于安装探针座的支撑件30及用于驱动支撑件30相对于底座10上下移动的驱动组件40。在样品参数测试时，通过驱动组件40带动支撑件30作上下移动，实现支撑件30上的探针与安装台20两者相对位置的调节，以使探针与样品的测试点快速分离或接触，该操作过程方便，效率高。在本实施例中，样品的厚度方向即上下方向。具体地，探针座用于调整探针的位置以及固定探针和探针夹具。探针座根据功能可以分为直流探针座及射频探针座。探针座根据精度不同可分为高精度、中精度、低精度探针座。高精度针座移动精度lum以下，中精度针座移动精度在1至5um，低精度针座移动精度5um以上。探针夹具用于固定探针、连接探针并传输电流、电压等信号。探针夹具根据精度分为三轴夹具、同轴夹具。三轴夹具漏电精度高，漏电精度在100fA级别，适合用于测试高精度的测试信号，测试结果精准。探针是直接和所测样品电极或线路接触的，用于连接芯片样品和夹具线缆。探针按功能主要分为高频探针和直流探针。高频探针用于测试一些射频器件，电流电压方向不断变化的器件。探针按材质主要有铍铜探针、钨钢探针、纯金探针。安装台20为吸盘结构，可对样品进行负压吸附，让样品固定安装在安装台20上。底座10上设置有用于控制吸盘工作的气阀17。按尺寸主要分为4英寸探针台及6英寸探针台，主要指最大能测试的样品尺寸。按工作温度可分为常温探针台及高温探针台。进一步地，驱动组件40包括枢接于底座10上的凸轮41及固定安装于底座10上的限位件42，限位件42具有一沿样品的厚度方向延伸的贯通孔(图未示)，凸轮41与底座10之间的枢接轴线与限位件42的贯通孔的轴线相互垂直，驱动组件40还包括穿设于限位件42的贯通孔的升降轴43，升降轴43的其中一端连接于支撑件30，升降轴43的另外一端抵接在凸轮41的外壁上。在样品参数测试时，通过转动枢接在底座10上的凸轮41，使得抵接在凸轮41的外壁上的升降轴43在限位件42的限位作用下作上下移动，升降轴43带动支撑件30作上下移动，实现支撑件30上的探针与安装台20两者相对位置的调节，以使探针与样品的测试点快速分离或接触，该操作过程方便，效率高。进一步地，凸轮41的截面为腰形，即矩形并在矩形的相对两端分别设置一个半圆形，凸轮41与底座10的枢接轴线设置在其中一个半圆的圆心处。凸轮41的一侧开设有一凹槽411，当升降轴43的一端抵接在凹槽411上时，升降轴43与支撑件30位于最低位，当转动凸轮41时，升降轴43与支撑件30可往上移动。在本实施例中，凸轮41可让升降轴43在10mm范围内快速升降。可以理解地，凸轮41的截面为其他形状，只要让凸轮41与升降轴43配合，使得升降轴43在竖直方向上移动即可。进一步地，驱动组件40还包括枢接于底座10上的转轴44及设置在底座10上且用于支承转轴44的轴承45，凸轮41安装于转轴44上且凸轮41与转轴44同步转动。转轴44便于凸轮41的装配。轴承45可让转轴44枢接在底座10上。具体地，轴承45为深沟球轴承45。轴承45安装在固定安装于底座10的轴承座451上。轴承45与凸轮41之间的转轴44套设有轴套452，对轴承45进行轴向限位。进一步地，转轴44的数量为二，两个转轴44平行设置在底座10上，驱动组件40还包括枢接于其中一个转轴44上的第一曲柄461、枢接于另外一个转轴44上的第二曲柄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针台，包括底座、探针座、设置于所述探针座上的探针夹具、安装在所述探针夹具上的探针及设置于所述底座上且用于安装样品的安装台，其特征在于：还包括用于安装所述探针座的支撑件及用于驱动所述支撑件相对于所述底座上下移动的驱动组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖体春，
申请(专利权)人：肖体春，
类型：新型
国别省市：广东;44